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公开(公告)号：CN102853825B
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201210223863.6
申请日：2012-06-28
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5712
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 一种角速度传感器（100）包括振动器（51）、支承基板（10）、锚段（30）、连接梁段、驱动段以及检测段。振动器（51）包括内部振动器（56）和外部振动器（57），它们在由驱动段驱动时在相反的圆周方向上振动。连接梁段将振动器（51）结合至锚段（30），并且在z方向上和圆周方向上是弹性的。连接梁段包括第一连接梁（80）和第二连接梁（81），每个第一连接梁（80）在一端处结合至外部振动器（57）并且在另一端处结合至内部振动器（56），每个第二连接梁（81）在一端处结合至相应第一连接梁（80）的振动节点（P2）并且在另一端处结合至锚段。
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公开(公告)号：CN103597854A8
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201280029347.8
申请日：2012-06-12
Applicant: 株式会社电装
Abstract: 一种超声波传感器装置具有衬底（31）、压电振动器（33）和Q因数调节器（70，71，110，200，210，220，230，240，250，260）。所述压电振动器（33）包括在衬底（31）厚度方向上彼此面对的一对检测电极（35，36）以及插置在电极（35，36）之间的压电体（37）。所述压电振动器（33）提供膜结构（34），该膜结构（34）形成于所述衬底（31）的表面（31a）上并具有比所述衬底（31）的其余部分低的刚性。由压电振动器（33）发射超声波，并由同一压电振动器（33）接收其反射波。所述Q因数调节器调节所述压电振动器（33）的Q因数，以使得在所述压电振动器（33）发射超声波的发射时段期间的Q因数可以大于在所述压电振动器（33）接收超声波的接收时段期间的Q因数。
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公开(公告)号：CN103597854B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201280029347.8
申请日：2012-06-12
Applicant: 株式会社电装
CPC classification number: G01S15/50 , B06B1/0666 , G01S7/521
Abstract: 一种超声波传感器装置具有衬底（31）、压电振动器（33）和Q因数调节器（70，71，110，200，210，220，230，240，250，260）。所述压电振动器（33）包括在衬底（31）厚度方向上彼此面对的一对检测电极（35，36）以及插置在电极（35，36）之间的压电体（37）。所述压电振动器（33）提供膜结构（34），该膜结构（34）形成于所述衬底（31）的表面（31a）上并具有比所述衬底（31）的其余部分低的刚性。由压电振动器（33）发射超声波，并由同一压电振动器（33）接收其反射波。所述Q因数调节器调节所述压电振动器（33）的Q因数，以使得在所述压电振动器（33）发射超声波的发射时段期间的Q因数可以大于在所述压电振动器（33）接收超声波的接收时段期间的Q因数。
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公开(公告)号：CN100498340C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200710084384.X
申请日：2007-02-28
Applicant: 株式会社电装 , 株式会社日本自动车部品综合研究所
IPC: G01P3/44 , G01P3/483 , G01P15/125 , H01L21/60
Abstract: 一种角速度传感器包括第一和第二振动子(3，4)，所述振动子具有可动部分(31，34，35，36，38，41，44，45，46，48)和固定部分(30，37，40，47)，所述可动部分具有驱动用和检测用可动电极(31，38，41，48)，所述固定部分具有第一侧和第二侧驱动用和检测用固定电极。施加到所述第一振动子(3)中的第一侧驱动用固定电极(30)的驱动电压是包括直流电压和交流电压的第一驱动电压。施加到所述第一振动子(3)中的第二侧驱动用固定电极(30)的驱动电压是包括直流电压和交流电压的第二驱动电压。第一和第二驱动电压中的至少一个直流电压、至少一个交流电压或者至少一个占空比被控制，以便使所述第一振动子(3)与第二振动子(4)相反地振动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103597854A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201280029347.8
申请日：2012-06-12
Applicant: 株式会社电装
CPC classification number: G01S15/50 , B06B1/0666 , G01S7/521
Abstract: 一种超声波传感器装置具有衬底（31）、压电振动器（33）和Q因数调节器（70，71，110，200，210，220，230，240，250，260）。所述压电振动器（33）包括在衬底（31）厚度方向上彼此面对的一对检测电极（35，36）以及插置在电极（35，36）之间的压电体（37）。所述压电振动器（33）提供膜结构（34），该膜结构（34）形成于所述衬底（31）的表面（31a）上并具有比所述衬底（31）的其余部分低的刚性。由压电振动器（33）发射超声波，并由同一压电振动器（33）接收其反射波。所述Q因数调节器调节所述压电振动器（33）的Q因数，以使得在所述压电振动器（33）发射超声波的发射时段期间的Q因数可以大于在所述压电振动器（33）接收超声波的接收时段期间的Q因数。
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公开(公告)号：CN1782713A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510120460.9
申请日：2005-11-10
Applicant: 株式会社电装
Inventor： 樋口祐史
IPC: G01P9/04
CPC classification number: G01C19/5719
Abstract: 一种角速度探测(100)包括通过驱动梁(40)支承在基体(10)上的盘状惯性质量块(30)和通过探测梁(50)连接在惯性质量块上的第二质量块(32)。惯性质量块(30)由静电力驱动沿其绕中心轴(z)的转动方向振荡。当惯性质量块(30)在振荡时，同时绕与中心轴(z)垂直的探测轴(x)的角速度(Ωx)施加在第二质量块(32)上时，第二质量块(32)沿平行于中心轴(z)的方向位移。第二质量块(32)与基体(10)之间的电容随着第二质量块的位移而变化。基于电容的变化而探测角速度(Ωx)。因为驱动梁(40)允许惯性质量块(30)仅沿其转动方向振荡，可以容易地设计和制造驱动梁(40)。
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公开(公告)号：CN102853825A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201210223863.6
申请日：2012-06-28
Applicant: 株式会社电装
IPC: G01C19/5712
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 一种角速度传感器（100）包括振动器（51）、支承基板（10）、锚段（30）、连接梁段、驱动段以及检测段。振动器（51）包括内部振动器（56）和外部振动器（57），它们在由驱动段驱动时在相反的圆周方向上振动。连接梁段将振动器（51）结合至锚段（30），并且在z方向上和圆周方向上是弹性的。连接梁段包括第一连接梁（80）和第二连接梁（81），每个第一连接梁（80）在一端处结合至外部振动器（57）并且在另一端处结合至内部振动器（56），每个第二连接梁（81）在一端处结合至相应第一连接梁（80）的振动节点（P2）并且在另一端处结合至锚段。
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公开(公告)号：CN1782713B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200510120460.9
申请日：2005-11-10
Applicant: 株式会社电装
Inventor： 樋口祐史
IPC: G01P9/04
CPC classification number: G01C19/5719
Abstract: 一种角速度探测器(100)包括通过驱动梁(40)支承在基体(10)上的盘状惯性质量块(30)和通过探测梁(50)连接在惯性质量块上的第二质量块(32)。惯性质量块(30)由静电力驱动沿其绕中心轴(z)的转动方向振荡。当惯性质量块(30)在振荡时，同时绕与中心轴(z)垂直的探测轴(x)的角速度(Ωx)施加在第二质量块(32)上时，第二质量块(32)沿平行于中心轴(z)的方向位移。第二质量块(32)与基体(10)之间的电容随着第二质量块的位移而变化。基于电容的变化而探测角速度(Ωx)。因为驱动梁(40)允许惯性质量块(30)仅沿其转动方向振荡，可以容易地设计和制造驱动梁(40)。
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公开(公告)号：CN101029899A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200710084384.X
申请日：2007-02-28
Applicant: 株式会社电装 , 株式会社日本自动车部品综合研究所
IPC: G01P3/44 , G01P3/483 , G01P15/125 , H01L21/60
Abstract: 一种角速度传感器包括第一和第二振动子(3，4)，所述振动子具有可动部分(31，34，35，36，38，41，44，45，46，48)和固定部分(30，37，40，47)，所述可动部分具有驱动用和检测用可动电极(31，38，41，48)，所述固定部分具有第一侧和第二侧驱动用和检测用固定电极。施加到所述第一振动子(3)中的第一侧驱动用固定电极(30)的驱动电压是包括直流电压和交流电压的第一驱动电压。施加到所述第一振动子(3)中的第二侧驱动用固定电极(30)的驱动电压是包括直流电压和交流电压的第二驱动电压。第一和第二驱动电压中的至少一个直流电压、至少一个交流电压或者至少一个占空比被控制，以便使所述第一振动子(3)与第二振动子(4)相反地振动。
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