超声波传感器装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103597854A

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:CN201280029347.8

    申请日:2012-06-12

    CPC classification number: G01S15/50 B06B1/0666 G01S7/521

    Abstract: 一种超声波传感器装置具有衬底(31)、压电振动器(33)和Q因数调节器(70,71,110,200,210,220,230,240,250,260)。所述压电振动器(33)包括在衬底(31)厚度方向上彼此面对的一对检测电极(35,36)以及插置在电极(35,36)之间的压电体(37)。所述压电振动器(33)提供膜结构(34),该膜结构(34)形成于所述衬底(31)的表面(31a)上并具有比所述衬底(31)的其余部分低的刚性。由压电振动器(33)发射超声波,并由同一压电振动器(33)接收其反射波。所述Q因数调节器调节所述压电振动器(33)的Q因数,以使得在所述压电振动器(33)发射超声波的发射时段期间的Q因数可以大于在所述压电振动器(33)接收超声波的接收时段期间的Q因数。

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