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公开(公告)号：CN104532196A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410754282.4
申请日：2014-12-10
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种钽靶材的锻造方法。其特点是，包括如下步骤：首先取钽锭进行一次锻造，然后经过酸洗、热处理后再进行二次锻造，最后再次经过酸洗和热处理即可。本发明通过三向镦粗拔长锻造方法，采用合理的锻造道次压下量和后期热处理工艺，彻底破碎铸晶，解决常规锻造方法中钽靶材晶粒尺寸不均、铸晶残留、以及晶粒尺寸不够小的问题，得到细小均匀的微观组织。主要特点：第一，采用本发明的锻造方法，结合后期的热处理工艺，可以得到细小均匀的微观组织；第二，简化锻造流程，实现了大的锻造加工率，可彻底破碎铸晶，同时减少了锻造缺陷，提高了材料利用率。通过本发明的锻造方法，可以有效保证钽靶材在锻造结束后，获得细小、均匀的微观组织。
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公开(公告)号：CN102877019B
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201210334543.8
申请日：2012-09-12
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种钠灯导引管加工方法及产品，金属基材冲压前进行表面镀膜，在基材表面形成氧化薄膜，以解决冲压过程中金属材料粘膜和冲杆易断及冲压件不规整的问题。本发明使金属表面形成一种硬而有塑性的氧化薄膜，它既可以改善吸附冲压润滑剂的能力，又能使金属与模具不直接接触，防止粘结，因而大大改善冲压工艺性能。
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公开(公告)号：CN103866245A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210551195.X
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414
Abstract: 本发明提供了一种铌合金靶材的制备方法，首先将铌合金管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌合金管坯进行内孔的加工，从而得到铌合金靶材。本发明在制备铌合金靶材的过程中，首先在铌合金管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌合金管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在热挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌合金管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌合金管坯晶粒的细化与均匀化；最后将热挤压后的铌合金管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌合金管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀细小和表面粗糙度值较低的铌合金靶材。本发明还提供了一种铌合金靶材。
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公开(公告)号：CN103861982A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210551252.4
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B21J5/00
Abstract: 本发明提供了一种铌旋转靶材铸锭的锻造方法，包括以下步骤：将铌铸锭第一次预热，在预热后的铌铸锭表面涂覆第一抗氧化涂层；将涂覆第一抗氧化涂层后的铌铸锭进行第一次热锻，将第一次热锻后的铌铸锭进行第一次热处理；将第一次热处理后的铌铸锭进行第二次热锻，将第二次热锻后的铌铸锭进行第二次热处理。本发明主要采用锻造的方式对铌铸锭进行处理，使得铸锭中部及心部的柱状晶区得到充分破碎，从而改善铌铸锭的铸造态组织的不均匀程度；另一方面，通过两次锻造，消除了铌铸锭铸造态的枝晶、晶带、非等轴晶及粗晶等不良组织的存在，使铌铸锭的内部晶粒组织得到充分细化，最终得到了内部晶粒均匀的铌旋转靶材用铌坯。
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公开(公告)号：CN103009000A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210551253.9
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23P15/00
CPC classification number: C23C14/14 , C23C14/3414
Abstract: 本发明提供了一种铌靶材的制备方法，首先将铌管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌管坯进行内孔的加工，从而得到铌靶材。本发明在制备铌靶材的过程中，首先在铌管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌管坯晶粒的细化与均匀化；最后将挤压后的铌管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀和表面粗糙度值较低的铌靶材。本发明还提供了一种铌靶材。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101920438A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010258811.3
申请日：2010-08-20
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司 , 国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
IPC: B23P15/00
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，切割连接豁口，酸洗，卷圆，将连接豁口连接，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边滚花，去除连接豁口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
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公开(公告)号：CN101733544A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN201010046315.1
申请日：2010-01-15
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23K20/22 , B23K20/24 , B23K20/14 , B23K103/18
Abstract: 本发明是一种钽和铜、铝、钛异种金属的扩散焊接方法，其工艺过程依次为：焊接表面光洁处理、焊接表面清洗，被焊物包套抽真空，热等静压处理。本发明和现有钽材和其他金属材料的扩散焊接方法的优点有三点：第一：本发明提高了材料的利用率；第二：本发明简便了生产加工过程，提高了生产效率；第三：本发明也有利于靶材使用后的材料回收，包括回收钽材的利用率和回收方法简便。
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公开(公告)号：CN104532196B
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201410754282.4
申请日：2014-12-10
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种钽靶材的锻造方法。其特点是，包括如下步骤：首先取钽锭进行一次锻造，然后经过酸洗、热处理后再进行二次锻造，最后再次经过酸洗和热处理即可。本发明通过三向镦粗拔长锻造方法，采用合理的锻造道次压下量和后期热处理工艺，彻底破碎铸晶，解决常规锻造方法中钽靶材晶粒尺寸不均、铸晶残留、以及晶粒尺寸不够小的问题，得到细小均匀的微观组织。主要特点：第一，采用本发明的锻造方法，结合后期的热处理工艺，可以得到细小均匀的微观组织；第二，简化锻造流程，实现了大的锻造加工率，可彻底破碎铸晶，同时减少了锻造缺陷，提高了材料利用率。通过本发明的锻造方法，可以有效保证钽靶材在锻造结束后，获得细小、均匀的微观组织。
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公开(公告)号：CN102909299B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201210291657.9
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: B21J5/06
Abstract: 本发明涉及一种高性能钽靶材的热锻工艺，其工艺步骤为：首先将钽锭采用冷锻法进行一次锻造，随后酸洗、热处理后采用热锻法进行二次锻造，再次酸洗和热处理后采用热锻法进行三次锻造。本发明对应用于高性能钽靶材的大直径（直径大于等于160mm）钽锭通过冷锻结合热锻工艺进行锻造，并配以合适的热处理工艺，得到产品需要的晶粒尺寸和织构组分。利用本发明所生产的轧制坯料可获得靶材厚度方向（100）织构比例在50％以上，并且均匀一致，满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材，与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。
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公开(公告)号：CN103894442A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410116026.2
申请日：2014-03-26
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了钽管的制备方法，a）将钽铸锭进行线切割掏孔，得到空心铸锭；b）将步骤a）得到的空心铸锭进行预加热，在预加热后的空心铸锭表面涂覆抗氧化涂层；c）将步骤b）得到的空心铸锭进行再次加热，将再次加热后的空心铸锭进行挤压；d）将步骤c）得到的管坯进行真空热处理，将真空热处理后的管坯进行轧制；e）将步骤d）得到的管坯进行真空热处理，得到钽管。本申请在制备钽管的过程中，依次进行了线切割-预加热-涂覆抗氧化涂层-加热-挤压-真空热处理-轧制-真空热处理的加工工序，使钽管表面质量较好且力学性能较高。本发明还提供了一种由上述方案制备的钽管。
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