电光晶体Z轴偏离角测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN105066910B

    公开(公告)日:2017-06-30

    申请号:CN201510515313.5

    申请日:2015-08-21

    Abstract: 本发明公开了一种电光晶体Z轴偏离角测量装置及测量方法,包括:按光路依次放置的激光器(101)、显微物镜(102)、针孔(103)、可调光阑(104)、准直透镜(105)、起偏器(106)、反射镜(107)、分束立方体(108)、光屏(109)、透镜一(110)、待测晶体(111)、透镜二(112)、检偏器(113)、成像透镜(114)、探测器(115)和计算机处理系统(116);其中,起偏器(106)和检偏器(113)偏振方向垂直,透镜一(110)和透镜二(112)严格共轭,分束立方体(108)、反射镜(107)、待测晶体(111)和光屏(109)组成迈克尔逊干涉系统。通过利用迈克尔逊干涉原理实现晶体精密定位,采用图像匹配算法实现光轴出露点中心计算,完成电光晶体Z轴偏离角精密测量。相对于其他装置和方法具有测量精度高、测量方法简单、测量系统误差小和测量重复性好等优点。

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