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公开(公告)号:CN112179909B
公开(公告)日:2024-09-20
申请号:CN202011118196.6
申请日:2020-10-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 一种用于光学元件亚表面缺陷检测的微型大视场超分辨显微成像装置,包括光纤激光器、单模保偏光纤、偏振控制器、1×4MEMS光开关、两个1×2光纤耦合器、5个光纤准直头、大视场显微物镜、成像透镜、科学相机、工作台和精密位移平台,本发明在实现超分辨显微成像的过程中,将极大地缩小装置的体积,且最大程度的提升超分辨检测系统的分辨率和检测效率,同时具备优良的可移植性,可方便地嵌入到被检系统中。
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公开(公告)号:CN111060516B
公开(公告)日:2022-03-08
申请号:CN201911259313.8
申请日:2019-12-10
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 合肥知常光电科技有限公司
Abstract: 一种光学元件亚表面缺陷的多通道原位检测装置及检测方法,用于玻璃等光学元件缺陷测试。该装置包括由荧光共聚焦成像系统、荧光寿命成像系统、光热吸收成像系统三个通道构成,可一次性实现光学元件亚表面微纳缺陷几何形态、光致荧光、光热吸收特性的原位测试。本发明具有装置结构紧凑、检测通用性强、稳定性高的特点,适用于亚表面缺陷的高灵敏度无损检测。
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公开(公告)号:CN112924024A
公开(公告)日:2021-06-08
申请号:CN202110268318.8
申请日:2021-03-12
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种新型高能激光光束质量测量装置,属于光电检测领域,包括待测激光光源,还包括高灵敏度线阵CCD、成像镜头、瑞利散射体、高精密电动转台、高精密电动转台运动控制器及计算机;本发明的高能激光光束质量测量装置,在实现高能激光光束质量测量的过程中,将降低现有检测装置的系统复杂度,且提升光束质量测量装置的测量量程,解决目前百千瓦级高能激光光束质量测量难题,同时具备实时在线测量特性,能够很方便的嵌入到工业高能激光加工系统及高能激光武器中。
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公开(公告)号:CN117268287A
公开(公告)日:2023-12-22
申请号:CN202311548902.4
申请日:2023-11-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开一种工件内部结构的轮廓测量装置,包括测量光源、聚光元件、反射元件和成像元件,采用锥面反射镜将入射的带角度光束转化为入射到被测工件内侧面的环形光束,由成像元件采集环形光束被被测工件反射后的光切图像,通过控制反射元件前的聚光元件沿光轴方向运动,记录下光切图像上环形光束每个位置聚焦时聚光元件的位置,通过聚光元件位置计算得到被测工件此处截面的轮廓,并控制整个工件内部结构的轮廓测量装置,沿被测工件中心轴运动,获取被测工件内侧面每个截面的轮廓,按运动的间距将各截面轮廓拼接为完整地被测工件内轮廓。与此同时,本发明还提供一种工件内部结构的轮廓测量方法,利用上述的工件内部结构的轮廓测量装置。
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公开(公告)号:CN112508791B
公开(公告)日:2022-11-04
申请号:CN202011513602.9
申请日:2020-12-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G06T3/40
Abstract: 本申请公开一种初始相位提取方法、装置、电子设备及存储介质,涉及图像处理的技术领域。该方法包括获取同一结构光调制的三幅初相位不同的图像;对三幅图像中的每幅图像分别进行频域变换,获取各自的峰值频谱值,得到第一频谱值、第二频谱值、第三频谱值;对第一频谱值、第二频谱值、第三频谱值两两进行差值运算,分别获得第一频谱差值、第二频谱差值、第三频谱差值;分别计算第一频谱差值、第二频谱差值、第三频谱差值的辐角,获得第一辐角、第二辐角、第三辐角;基于第一辐角、第二辐角、第三辐角得到所述三幅图像中的每幅图像各自的初始相位。解决了现有技术中低调制度结构光照明时,相位提取精度不准确的问题。
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公开(公告)号:CN114295075B
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN202210221254.0
申请日:2022-03-09
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法,包括:用于同时生成环形光和准直光的光生成模块,且环形光的传输方向垂直于被测样件的对称中心轴,准直光的传输方向平行于所述被测样件的对称中心轴;用于接收第一反射光并生成第一物像的第一反射光检测模块;用于接收第二反射光并生成第二物像的第二反射光检测模块,以及用于根据第一反射光集获取内凹空间侧面轮廓和根据第二反射光集获取内底面轮廓的控制处理模块。本发明的目的在于提供一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法,有效解决了原各种单探头角度适应性不足,系统结构复杂等问题。
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公开(公告)号:CN112858345A
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN202110090813.4
申请日:2021-01-22
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种随机移相的光学元件缺陷快速超分辨检测装置及检测方法,所述激光光源通过1×2光纤耦合器Ⅰ等比分为二束,一束经所述的挤压式偏振控制器进行激光偏振态调整,经过所述的1×2光纤耦合器Ⅱ等比分为二束,另一束经1×2光纤耦合器Ⅰ输出的激光经所述的1×2光纤耦合器Ⅲ等比分为二束;将四束照明激光经显微物镜入瞳对称打在样品表面进行干涉,形成二维余弦结构照明光;所述显微物镜用以接收所述结构照明光经样品表面调制后的反射、散射光,通过所述成像透镜在高速相机中完成最终返回成像信号收集。达到小型化、可移植、高效率、随机移相及低成本的目的。
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公开(公告)号:CN112179909A
公开(公告)日:2021-01-05
申请号:CN202011118196.6
申请日:2020-10-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 一种用于光学元件亚表面缺陷检测的微型大视场超分辨显微成像装置,包括光纤激光器、单模保偏光纤、偏振控制器、1×4MEMS光开关、两个1×2光纤耦合器、5个光纤准直头、大视场显微物镜、成像透镜、科学相机、工作台和精密位移平台,本发明在实现超分辨显微成像的过程中,将极大地缩小装置的体积,且最大程度的提升超分辨检测系统的分辨率和检测效率,同时具备优良的可移植性,可方便地嵌入到被检系统中。
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公开(公告)号:CN108287061A
公开(公告)日:2018-07-17
申请号:CN201810052262.0
申请日:2018-01-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor: 巴荣声 , 李杰 , 丁磊 , 周信达 , 郑垠波 , 徐宏磊 , 陈波 , 李文洪 , 姜宏振 , 刘勇 , 李东 , 刘旭 , 张霖 , 杨一 , 郑芳兰 , 于德强 , 马可 , 石振东 , 马骅 , 任寰 , 张保汉 , 景峰
CPC classification number: G01M11/0207 , G01N17/004
Abstract: 本发明公开了一种激光光学元件寿命检测和寿命概率测试方法及系统,旨在解决现有技术中的大口径光学器件寿命测试由于套用现有寿命测试方法而引起的测试结果置信度低与适用性低的问题,解决传统大口径光学器件损伤特性评价参数无法直接应用于光学系统可靠性评价的问题;本发明使用激光连续辐照通大口径光学器件,直至光学器件发生不可逆损伤,记录累计发次或累计时间;统计不同发次或时间对应的寿命概率;以发次或时间为自变量,对应的寿命概率为因变量,使用威布尔分布对函数进行数据拟合,获得大口径光学器件在特定激光参数作用下的寿命概率函数;获得更可靠的大口径光学器件的使用寿命;本发明适用于测试大口径光学元件的寿命。
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公开(公告)号:CN105700321B
公开(公告)日:2018-02-16
申请号:CN201610242313.7
申请日:2016-04-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor: 姜宏振 , 刘勇 , 李东 , 刘旭 , 郑芳兰 , 周信达 , 杨一 , 陈竹 , 张霖 , 石振东 , 原泉 , 马骅 , 马玉荣 , 冯晓璇 , 马可 , 任寰 , 李文洪 , 于德强 , 巴荣声 , 郑垠波 , 袁静 , 丁磊 , 陈波 , 杨晓瑜
Abstract: 本发明公开了一种基于重建像强度方差的数字全息图在焦重建距离判断方法,属于光学精密测量技术领域中的数字全息图重建距离的自动化数值判断方法,其目的在于提供一种基于重建像强度方差的数字全息图在焦重建距离判断方法。本发明利用重建像强度的方差与重建像强度的平均值的比值对重建像的清晰程度进行判断、分析,并找到清晰的重建强度像及其所对应的数字全息图准确重建距离,该方法可实现对于数字全息图重建距离的自动化数值判断,提高对重建距离的测量精度及测量效率。
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