一种光机组件面形在位检测装置及方法

    公开(公告)号:CN119468978B

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202510066424.6

    申请日:2025-01-16

    Abstract: 本发明公开了一种光机组件面形在位检测装置及方法,属于光学精密检测技术领域,其目的在于解决现有技术中缺乏对光机组件进行在位监控装调过程中进行面形畸变检测的问题。装置中激光器产生的激光依次经光束隔离器、分光棱镜、准直镜A后入射至待测光机组件并产生反射,待测光机组件的反射光经准直镜A后入射至分光棱镜并产生反射,分光棱镜的反射光经由带孔光屏、准直镜B、相位板后入射至CCD相机;CCD相机与计算机系统连接,CCD相机记录的光斑图将被输入计算机系统,用于面形在位检测。该方法通过相位板对待测样品的反射光进行调制,采用基于光场衍射迭代的相位重构算法实现样品面形重构。其具有测量精度高、不需要参考平面、抗振能力强等优点。

    一种光束取样光栅的取样参数测量装置及方法

    公开(公告)号:CN118190355A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410081523.7

    申请日:2024-01-19

    Abstract: 本发明公开了一种光束取样光栅的取样参数测量装置及方法,属于光束取样光栅的取样参数的测量,其目的在于提供一种既具备通用性和经济性,又能实现取样效率、取样角度和取样距离的取样参数测量装置及方法,其激光器输出的激光经一级扩束镜入射至第一分光镜后分成反射激光、透射激光,反射激光依次通过光束提升器、二级扩束镜后入射至光束取样光栅,光束取样光栅生成的“一级”衍射光入射至CCD相机;透射激光经反射镜入射至第二分光镜后生成再反射激光、再透射激光,再反射激光入射至第一积分球功率计,再透射激光经二维扫描反射镜组入射至光束取样光栅并产生的“零级”衍射光、“一级”衍射光分别入射至第三积分球功率计、第二积分球功率计。

    一种光机组件面形在位检测装置及方法

    公开(公告)号:CN119468978A

    公开(公告)日:2025-02-18

    申请号:CN202510066424.6

    申请日:2025-01-16

    Abstract: 本发明公开了一种光机组件面形在位检测装置及方法,属于光学精密检测技术领域,其目的在于解决现有技术中缺乏对光机组件进行在位监控装调过程中进行面形畸变检测的问题。装置中激光器产生的激光依次经光束隔离器、分光棱镜、准直镜A后入射至待测光机组件并产生反射,待测光机组件的反射光经准直镜A后入射至分光棱镜并产生反射,分光棱镜的反射光经由带孔光屏、准直镜B、相位板后入射至CCD相机;CCD相机与计算机系统连接,CCD相机记录的光斑图将被输入计算机系统,用于面形在位检测。该方法通过相位板对待测样品的反射光进行调制,采用基于光场衍射迭代的相位重构算法实现样品面形重构。其具有测量精度高、不需要参考平面、抗振能力强等优点。

    一种基于光场衍射迭代的球面元件面形重构系统及方法

    公开(公告)号:CN117308813A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202310858668.9

    申请日:2023-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种基于光场衍射迭代的球面元件面形重构系统及方法,涉及光学检测技术领域中的球面元件面形的检测,其目的在于解决现有技术中存在的球面元件面形重构时需要参考平面的面形测量方法,致使测量成本高、测量效率低的技术问题。激光经分光镜后分成两路,一路透射光被光陷吸收以避免形成杂散光,另一路反射光经待测球面镜后最终被CCD相机记录衍射光斑图,采用基于光场衍射迭代的相位重构算法实现球面类元件面形重构,得到含有待测球面镜误差的面型畸变、不含有待测球面镜误差的面型畸变,最终得到待测球面镜的面形误差,整个过程不需要参考平面的面形测量方法,测量成本较低、测量效率更高,具有很大应用前景。

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