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公开(公告)号:CN119468978B
公开(公告)日:2025-04-11
申请号:CN202510066424.6
申请日:2025-01-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种光机组件面形在位检测装置及方法,属于光学精密检测技术领域,其目的在于解决现有技术中缺乏对光机组件进行在位监控装调过程中进行面形畸变检测的问题。装置中激光器产生的激光依次经光束隔离器、分光棱镜、准直镜A后入射至待测光机组件并产生反射,待测光机组件的反射光经准直镜A后入射至分光棱镜并产生反射,分光棱镜的反射光经由带孔光屏、准直镜B、相位板后入射至CCD相机;CCD相机与计算机系统连接,CCD相机记录的光斑图将被输入计算机系统,用于面形在位检测。该方法通过相位板对待测样品的反射光进行调制,采用基于光场衍射迭代的相位重构算法实现样品面形重构。其具有测量精度高、不需要参考平面、抗振能力强等优点。
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公开(公告)号:CN118190355A
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN202410081523.7
申请日:2024-01-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种光束取样光栅的取样参数测量装置及方法,属于光束取样光栅的取样参数的测量,其目的在于提供一种既具备通用性和经济性,又能实现取样效率、取样角度和取样距离的取样参数测量装置及方法,其激光器输出的激光经一级扩束镜入射至第一分光镜后分成反射激光、透射激光,反射激光依次通过光束提升器、二级扩束镜后入射至光束取样光栅,光束取样光栅生成的“一级”衍射光入射至CCD相机;透射激光经反射镜入射至第二分光镜后生成再反射激光、再透射激光,再反射激光入射至第一积分球功率计,再透射激光经二维扫描反射镜组入射至光束取样光栅并产生的“零级”衍射光、“一级”衍射光分别入射至第三积分球功率计、第二积分球功率计。
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公开(公告)号:CN105700321B
公开(公告)日:2018-02-16
申请号:CN201610242313.7
申请日:2016-04-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor: 姜宏振 , 刘勇 , 李东 , 刘旭 , 郑芳兰 , 周信达 , 杨一 , 陈竹 , 张霖 , 石振东 , 原泉 , 马骅 , 马玉荣 , 冯晓璇 , 马可 , 任寰 , 李文洪 , 于德强 , 巴荣声 , 郑垠波 , 袁静 , 丁磊 , 陈波 , 杨晓瑜
Abstract: 本发明公开了一种基于重建像强度方差的数字全息图在焦重建距离判断方法,属于光学精密测量技术领域中的数字全息图重建距离的自动化数值判断方法,其目的在于提供一种基于重建像强度方差的数字全息图在焦重建距离判断方法。本发明利用重建像强度的方差与重建像强度的平均值的比值对重建像的清晰程度进行判断、分析,并找到清晰的重建强度像及其所对应的数字全息图准确重建距离,该方法可实现对于数字全息图重建距离的自动化数值判断,提高对重建距离的测量精度及测量效率。
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公开(公告)号:CN105717774A
公开(公告)日:2016-06-29
申请号:CN201610244237.3
申请日:2016-04-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor: 姜宏振 , 刘勇 , 李东 , 刘旭 , 郑芳兰 , 郑垠波 , 杨一 , 陈竹 , 张霖 , 石振东 , 原泉 , 马骅 , 马玉荣 , 冯晓璇 , 马可 , 任寰 , 李文洪 , 于德强 , 巴荣声 , 周信达 , 袁静 , 丁磊 , 陈波 , 杨晓瑜
CPC classification number: G03H1/0005 , G03H1/0443 , G03H2001/0038
Abstract: 本发明公开了一种彩色数字全息像的实时记录装置及方法,属于彩色数字全息像技术领域,解决现有技术中所使用的光路系统无法同时完成红光、绿光及蓝光数字全息图的记录;现有技术中彩色数字全息像的数值重建算法较为繁琐复杂,不利于彩色数字全息像的高效快速数值重建,不能满足对于动态彩色物体的实时全息记录与再现问题。本发明包括按光路依次放置的红、绿、蓝三色激光器Laser1~Laser3,分光棱镜BS1~BS8,反射镜M1~M8,可调衰减器Filter1~Filter6,直角三棱镜Prism1~Prism4,消色差显微物镜MO1~MO4,针孔PH1~PH4,消色差透镜L1~L4,计算机Computer,CCD相机和待测物体Object。本发明用于得到彩色数字全息像。
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公开(公告)号:CN119468978A
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN202510066424.6
申请日:2025-01-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种光机组件面形在位检测装置及方法,属于光学精密检测技术领域,其目的在于解决现有技术中缺乏对光机组件进行在位监控装调过程中进行面形畸变检测的问题。装置中激光器产生的激光依次经光束隔离器、分光棱镜、准直镜A后入射至待测光机组件并产生反射,待测光机组件的反射光经准直镜A后入射至分光棱镜并产生反射,分光棱镜的反射光经由带孔光屏、准直镜B、相位板后入射至CCD相机;CCD相机与计算机系统连接,CCD相机记录的光斑图将被输入计算机系统,用于面形在位检测。该方法通过相位板对待测样品的反射光进行调制,采用基于光场衍射迭代的相位重构算法实现样品面形重构。其具有测量精度高、不需要参考平面、抗振能力强等优点。
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公开(公告)号:CN119223974A
公开(公告)日:2024-12-31
申请号:CN202411273149.7
申请日:2024-09-12
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 中国航发四川燃气涡轮研究院
Abstract: 本发明公开了一种激光剪切散斑干涉测量装置,以解决现有的复合材料内部缺陷检出能力不足的问题。装置包括照明成像模块、剪切干涉探测模块和控制采集处理模块;照明成像模块包括激光器、扩束器、照明探测合束器和成像组件;照明探测合束器由通光区域和反射区域构成,通光区域的半径不小于成像组件像面外接圆的半径;照明探测合束器安装在成像组件的像面位置;激光器发射的照明光束经扩束器扩束后被照明探测合束器的反射区域反射,再经过成像组件照射到待测件上;照明光束被待测件反射后形成探测光束,探测光束经成像组件成像后通过照明探测合束器的通光区域进入剪切干涉探测模块。本发明能够有效提高复合材料内部缺陷的检出能力。
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公开(公告)号:CN105700321A
公开(公告)日:2016-06-22
申请号:CN201610242313.7
申请日:2016-04-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor: 姜宏振 , 刘勇 , 李东 , 刘旭 , 郑芳兰 , 周信达 , 杨一 , 陈竹 , 张霖 , 石振东 , 原泉 , 马骅 , 马玉荣 , 冯晓璇 , 马可 , 任寰 , 李文洪 , 于德强 , 巴荣声 , 郑垠波 , 袁静 , 丁磊 , 陈波 , 杨晓瑜
CPC classification number: G03H1/2202 , G03H1/0866 , G03H2001/0883
Abstract: 本发明公开了一种基于重建像强度方差的数字全息图在焦重建距离判断方法,属于光学精密测量技术领域中的数字全息图重建距离的自动化数值判断方法,其目的在于提供一种基于重建像强度方差的数字全息图在焦重建距离判断方法。本发明利用重建像强度的方差与重建像强度的平均值的比值对重建像的清晰程度进行判断、分析,并找到清晰的重建强度像及其所对应的数字全息图准确重建距离,该方法可实现对于数字全息图重建距离的自动化数值判断,提高对重建距离的测量精度及测量效率。
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公开(公告)号:CN117308813A
公开(公告)日:2023-12-29
申请号:CN202310858668.9
申请日:2023-07-13
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于光场衍射迭代的球面元件面形重构系统及方法,涉及光学检测技术领域中的球面元件面形的检测,其目的在于解决现有技术中存在的球面元件面形重构时需要参考平面的面形测量方法,致使测量成本高、测量效率低的技术问题。激光经分光镜后分成两路,一路透射光被光陷吸收以避免形成杂散光,另一路反射光经待测球面镜后最终被CCD相机记录衍射光斑图,采用基于光场衍射迭代的相位重构算法实现球面类元件面形重构,得到含有待测球面镜误差的面型畸变、不含有待测球面镜误差的面型畸变,最终得到待测球面镜的面形误差,整个过程不需要参考平面的面形测量方法,测量成本较低、测量效率更高,具有很大应用前景。
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公开(公告)号:CN113091644B
公开(公告)日:2021-09-07
申请号:CN202110640411.7
申请日:2021-06-09
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于层叠相干衍射成像的大口径光学元件面形检测方法,涉及光学检测及数字图像处理技术领域,解决现有层叠相干衍射成像技术中测量视场小的技术问题,实现大口径光学元件的面形测量,包括如下步骤:将待测元件移至初始子孔径扫描位置并进行对准;用相机采集衍射光斑;将待测元件平移至下一子孔径扫描位置并采集衍射光斑,相邻子孔径扫描位置子孔径需有一定的重叠区域;直至扫描子孔径光斑覆盖光学元件待测区域;对采集到的系列衍射图像进行处理,采用层叠相干衍射成像迭代算法,恢复出待测元件面形分布;本发明用于大口径光学元件面形检测,具有测量口径大、光路简单、成本低廉的优点。
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公开(公告)号:CN113091644A
公开(公告)日:2021-07-09
申请号:CN202110640411.7
申请日:2021-06-09
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种基于层叠相干衍射成像的大口径光学元件面形检测方法,涉及光学检测及数字图像处理技术领域,解决现有层叠相干衍射成像技术中测量视场小的技术问题,实现大口径光学元件的面形测量,包括如下步骤:将待测元件移至初始子孔径扫描位置并进行对准;用相机采集衍射光斑;将待测元件平移至下一子孔径扫描位置并采集衍射光斑,相邻子孔径扫描位置子孔径需有一定的重叠区域;直至扫描子孔径光斑覆盖光学元件待测区域;对采集到的系列衍射图像进行处理,采用层叠相干衍射成像迭代算法,恢复出待测元件面形分布;本发明用于大口径光学元件面形检测,具有测量口径大、光路简单、成本低廉的优点。
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