一种光束取样光栅的取样参数测量装置及方法

    公开(公告)号:CN118190355A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410081523.7

    申请日:2024-01-19

    Abstract: 本发明公开了一种光束取样光栅的取样参数测量装置及方法,属于光束取样光栅的取样参数的测量,其目的在于提供一种既具备通用性和经济性,又能实现取样效率、取样角度和取样距离的取样参数测量装置及方法,其激光器输出的激光经一级扩束镜入射至第一分光镜后分成反射激光、透射激光,反射激光依次通过光束提升器、二级扩束镜后入射至光束取样光栅,光束取样光栅生成的“一级”衍射光入射至CCD相机;透射激光经反射镜入射至第二分光镜后生成再反射激光、再透射激光,再反射激光入射至第一积分球功率计,再透射激光经二维扫描反射镜组入射至光束取样光栅并产生的“零级”衍射光、“一级”衍射光分别入射至第三积分球功率计、第二积分球功率计。

    一种光机组件面形在位检测装置及方法

    公开(公告)号:CN119468978B

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202510066424.6

    申请日:2025-01-16

    Abstract: 本发明公开了一种光机组件面形在位检测装置及方法,属于光学精密检测技术领域,其目的在于解决现有技术中缺乏对光机组件进行在位监控装调过程中进行面形畸变检测的问题。装置中激光器产生的激光依次经光束隔离器、分光棱镜、准直镜A后入射至待测光机组件并产生反射,待测光机组件的反射光经准直镜A后入射至分光棱镜并产生反射,分光棱镜的反射光经由带孔光屏、准直镜B、相位板后入射至CCD相机;CCD相机与计算机系统连接,CCD相机记录的光斑图将被输入计算机系统,用于面形在位检测。该方法通过相位板对待测样品的反射光进行调制,采用基于光场衍射迭代的相位重构算法实现样品面形重构。其具有测量精度高、不需要参考平面、抗振能力强等优点。

    基于最小二乘拟合迭代自动提取十字图形中心的方法

    公开(公告)号:CN106355613B

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201610786591.9

    申请日:2016-08-31

    Abstract: 本发明公开了一种基于最小二乘拟合迭代自动提取十字图形中心的方法,属于数字图像技术领域,解决现有技术中晶体锥光干涉图中的暗十字交叉区域较大,难以精确提取出十字图形中心位置的问题。本发明步骤如下:获取数字图像;将数字图像进行阈值分割或边缘提取,提取出暗十字区域;设置迭代的暗十字区域的初始坐标;以初始坐标为原点,将暗十字区域分割成横向和纵向两部分,对横向和纵向两部分进行加权最小二乘线性拟合,得到两者交点;求交点与初始坐标的距离,并将交点坐标赋值于初始坐标;将距离作为迭代收敛条件,若满足收敛条件则迭代终止,输出初始坐标作为中心坐标,否则重复迭代。本发明用于提取十字图形的中心。

    基于最小二乘拟合迭代自动提取十字图形中心的方法

    公开(公告)号:CN106355613A

    公开(公告)日:2017-01-25

    申请号:CN201610786591.9

    申请日:2016-08-31

    CPC classification number: G06T7/0002

    Abstract: 本发明公开了一种基于最小二乘拟合迭代自动提取十字图形中心的方法,属于数字图像技术领域,解决现有技术中晶体锥光干涉图中的暗十字交叉区域较大,难以精确提取出十字图形中心位置的问题。本发明步骤如下:获取数字图像;将数字图像进行阈值分割或边缘提取,提取出暗十字区域;设置迭代的暗十字区域的初始坐标;以初始坐标为原点,将暗十字区域分割成横向和纵向两部分,对横向和纵向两部分进行加权最小二乘线性拟合,得到两者交点;求交点与初始坐标的距离,并将交点坐标赋值于初始坐标;将距离作为迭代收敛条件,若满足收敛条件则迭代终止,输出初始坐标作为中心坐标,否则重复迭代。本发明用于提取十字图形的中心。

    电光晶体Z轴偏离角测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN105066910A

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201510515313.5

    申请日:2015-08-21

    Abstract: 本发明公开了一种电光晶体Z轴偏离角测量装置及测量方法,包括:按光路依次放置的激光器(101)、显微物镜(102)、针孔(103)、可调光阑(104)、准直透镜(105)、起偏器(106)、反射镜(107)、分束立方体(108)、光屏(109)、透镜一(110)、待测晶体(111)、透镜二(112)、检偏器(113)、成像透镜(114)、探测器(115)和计算机处理系统(116);其中,起偏器(106)和检偏器(113)偏振方向垂直,透镜一(110)和透镜二(112)严格共轭,分束立方体(108)、反射镜(107)、待测晶体(111)和光屏(109)组成迈克尔逊干涉系统。通过利用迈克尔逊干涉原理实现晶体精密定位,采用图像匹配算法实现光轴出露点中心计算,完成电光晶体Z轴偏离角精密测量。相对于其他装置和方法具有测量精度高、测量方法简单、测量系统误差小和测量重复性好等优点。

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