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公开(公告)号：CN116625246A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310491874.0
申请日：2023-05-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开的新型多模式轴向色差共焦传感器中，声光调制器与多通道LED光源连接，光纤耦合器与声光调制器连接，光纤输出头与光纤耦合器连接，光谱仪与光纤耦合器连接，上位机分别与光谱仪和透射式液晶空间光调制器连接。其中，本发明通过采用多通道LED光源和声光调制器代替现有的宽谱带激光光源，以根据实际需求高频选通相应波长范围内的LED光源，不但能够大大降低成本，同时基于声光调制器进行多波段LED光源分时复用的特点，能够在满足照明光谱范围的前提下较单一宽谱激光光源提高光谱平滑性。并且，通过采用透射式液晶空间光调制器代替现有的折射式或衍射式色散镜头，能够显著提高测量精度，降低加工成本及难度。
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公开(公告)号：CN112229847A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202011105230.6
申请日：2020-10-15
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 一种基于结构光照明频域拓展原理的光学元件表面缺陷高分辨自动检测装置，包括激光光源、准直透镜、声光调制器、空间滤波器、偏振控制模块、反射镜、光阑、空间光调制器、透镜、遮光板、全息衍射片、分光镜、显微物镜、面阵探测器以及可实现声光调制器、偏振方向控制器、空间光调制器、面阵探测器同步的控制系统。同时，本发明还公开了一种光学元件表面缺陷高分辨自动检测方法，解决了现有激光干涉结构光照明散斑噪声强、成像调制度各向异性的问题，能够自动进行照明光方向与相位同步切换、偏振态实时匹配，提高了系统稳定性，无需对样品特殊处理或添加荧光剂即可实现光学元器件表面缺陷或微结构的超衍射极限尺度快速测量。
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公开(公告)号：CN112179909B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202011118196.6
申请日：2020-10-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 一种用于光学元件亚表面缺陷检测的微型大视场超分辨显微成像装置，包括光纤激光器、单模保偏光纤、偏振控制器、1×4MEMS光开关、两个1×2光纤耦合器、5个光纤准直头、大视场显微物镜、成像透镜、科学相机、工作台和精密位移平台，本发明在实现超分辨显微成像的过程中，将极大地缩小装置的体积，且最大程度的提升超分辨检测系统的分辨率和检测效率，同时具备优良的可移植性，可方便地嵌入到被检系统中。
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公开(公告)号：CN112924024A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110268318.8
申请日：2021-03-12
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种新型高能激光光束质量测量装置，属于光电检测领域，包括待测激光光源，还包括高灵敏度线阵CCD、成像镜头、瑞利散射体、高精密电动转台、高精密电动转台运动控制器及计算机；本发明的高能激光光束质量测量装置，在实现高能激光光束质量测量的过程中，将降低现有检测装置的系统复杂度，且提升光束质量测量装置的测量量程，解决目前百千瓦级高能激光光束质量测量难题，同时具备实时在线测量特性，能够很方便的嵌入到工业高能激光加工系统及高能激光武器中。
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公开(公告)号：CN117268287A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311548902.4
申请日：2023-11-21
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开一种工件内部结构的轮廓测量装置，包括测量光源、聚光元件、反射元件和成像元件，采用锥面反射镜将入射的带角度光束转化为入射到被测工件内侧面的环形光束，由成像元件采集环形光束被被测工件反射后的光切图像，通过控制反射元件前的聚光元件沿光轴方向运动，记录下光切图像上环形光束每个位置聚焦时聚光元件的位置，通过聚光元件位置计算得到被测工件此处截面的轮廓，并控制整个工件内部结构的轮廓测量装置，沿被测工件中心轴运动，获取被测工件内侧面每个截面的轮廓，按运动的间距将各截面轮廓拼接为完整地被测工件内轮廓。与此同时，本发明还提供一种工件内部结构的轮廓测量方法，利用上述的工件内部结构的轮廓测量装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112508791B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202011513602.9
申请日：2020-12-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G06T3/40
Abstract: 本申请公开一种初始相位提取方法、装置、电子设备及存储介质，涉及图像处理的技术领域。该方法包括获取同一结构光调制的三幅初相位不同的图像；对三幅图像中的每幅图像分别进行频域变换，获取各自的峰值频谱值，得到第一频谱值、第二频谱值、第三频谱值；对第一频谱值、第二频谱值、第三频谱值两两进行差值运算，分别获得第一频谱差值、第二频谱差值、第三频谱差值；分别计算第一频谱差值、第二频谱差值、第三频谱差值的辐角，获得第一辐角、第二辐角、第三辐角；基于第一辐角、第二辐角、第三辐角得到所述三幅图像中的每幅图像各自的初始相位。解决了现有技术中低调制度结构光照明时，相位提取精度不准确的问题。
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公开(公告)号：CN114295075B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210221254.0
申请日：2022-03-09
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法，包括：用于同时生成环形光和准直光的光生成模块，且环形光的传输方向垂直于被测样件的对称中心轴，准直光的传输方向平行于所述被测样件的对称中心轴；用于接收第一反射光并生成第一物像的第一反射光检测模块；用于接收第二反射光并生成第二物像的第二反射光检测模块，以及用于根据第一反射光集获取内凹空间侧面轮廓和根据第二反射光集获取内底面轮廓的控制处理模块。本发明的目的在于提供一种内凹型工件的内表面整体三维轮廓测量装置及方法，有效解决了原各种单探头角度适应性不足，系统结构复杂等问题。
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公开(公告)号：CN112858345A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110090813.4
申请日：2021-01-22
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种随机移相的光学元件缺陷快速超分辨检测装置及检测方法，所述激光光源通过1×2光纤耦合器Ⅰ等比分为二束，一束经所述的挤压式偏振控制器进行激光偏振态调整，经过所述的1×2光纤耦合器Ⅱ等比分为二束，另一束经1×2光纤耦合器Ⅰ输出的激光经所述的1×2光纤耦合器Ⅲ等比分为二束；将四束照明激光经显微物镜入瞳对称打在样品表面进行干涉，形成二维余弦结构照明光；所述显微物镜用以接收所述结构照明光经样品表面调制后的反射、散射光，通过所述成像透镜在高速相机中完成最终返回成像信号收集。达到小型化、可移植、高效率、随机移相及低成本的目的。
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公开(公告)号：CN112179909A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202011118196.6
申请日：2020-10-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 一种用于光学元件亚表面缺陷检测的微型大视场超分辨显微成像装置，包括光纤激光器、单模保偏光纤、偏振控制器、1×4MEMS光开关、两个1×2光纤耦合器、5个光纤准直头、大视场显微物镜、成像透镜、科学相机、工作台和精密位移平台，本发明在实现超分辨显微成像的过程中，将极大地缩小装置的体积，且最大程度的提升超分辨检测系统的分辨率和检测效率，同时具备优良的可移植性，可方便地嵌入到被检系统中。
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公开(公告)号：CN115371969A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211052982.X
申请日：2022-08-31
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种便携式高能激光输出功率测量装置。本发明采用磁力基座和光反射台基于磁悬浮原理形成悬浮光反射构件，当激光发射在悬浮光反射构件上时，光反射台受激光的冲击产生转动，由于采用磁悬浮原理，使得光反射台在受到光冲击后，在无摩擦条件下进行转动，转速检测模块检测光反射台的转动速度后，由处理模块根据转动速度精确确定所发射激光的功率。采用转动反射测量和实时检测相结合的方式，不会使所测量的激光功率受到限制，可以实时放置在待测激光的激光发射通路上，能够显著提高激光功率测量的实时性和便捷性。并且，通过采用光反射台能够显著降低温度影响，提高便携式高能激光输出功率测量装置的使用寿命，进而降低激光功率测量成本。
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