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公开(公告)号：CN113794457A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202110148861.4
申请日：2021-02-03
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法，所述声波谐振器包括：基板；以及谐振器部，第一电极、压电层和第二电极在所述谐振器部中顺序堆叠在所述基板上。所述压电层利用包含钪(SC)的氮化铝(AlN)形成。所述声波谐振器满足以下表达式：漏电流密度×钪(SC)含量
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公开(公告)号：CN107317561B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201710032174.X
申请日：2017-01-13
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 提供一种体声波谐振器及其制造方法，所述体声波谐振器可包括：空气腔；蚀刻停止层和蚀刻停止部，限定空气腔的下边界表面和侧边界表面；谐振部，形成在通过空气腔的上边界表面和蚀刻停止部的顶表面形成的近似平坦的表面上。蚀刻停止部的顶表面的宽度可比蚀刻停止部的底表面的宽度大。将蚀刻停止部的顶表面和蚀刻停止部的底表面连接的蚀刻停止部的侧表面可以是倾斜的。
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公开(公告)号：CN108336982A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810039429.X
申请日：2018-01-16
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/02118 , H03H3/02 , H03H9/02015 , H03H9/02157 , H03H9/132 , H03H9/17 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H2003/021 , H03H2003/023
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器，包括：基板；膜层，与所述基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气，其中，所述压电层包括台阶部，所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。
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公开(公告)号：CN108075740A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201711143853.0
申请日：2017-11-17
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: H03H9/17 , H01L41/0477 , H01L41/081 , H01L41/18 , H01L41/29 , H01L41/35 , H03H3/02 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/13 , H03H9/173 , H03H2003/021
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器及制造该体声波谐振器的方法，所述体声波谐振器包括：基板，所述基板上设置有基板保护层；膜层，与所述基板一起形成腔；及谐振部，设置在所述膜层上。所述腔通过使用通过混合卤化物基气体和氧气而获得的混合气体去除牺牲层形成，并且在形成所述腔后，所述膜层和所述基板保护层中的至少一者具有170或更小的厚度差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1238758C
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN03148429.8
申请日：2003-06-27
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/353 , G02B6/266 , G02B6/35 , G02B6/3552 , G02B6/356 , G02B6/357 , G02B6/358 , G02B6/3582 , G02B6/3592 , G02B6/3594
Abstract: 公开了一种MEMS可变光衰减器，包括具有平面的衬底，安置在衬底的平面上的微电子激励器，一对分别具有接收和发射端的光波导，并且彼此同轴安置成一行并安置在平面上，光闸，可移向光波导的发射端和接收端间的预定位置，并由微电子激励器驱动来移动，以及形成在光闸上的表面层，具有低于80%的反射率以便部分透射其中的入射光束，并具有消光属性，从而根除其中的该部分透射光。
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公开(公告)号：CN1423141A
公开(公告)日：2003-06-11
申请号：CN02108425.4
申请日：2002-03-29
Applicant: 三星电机株式会社
CPC classification number: G02B6/358 , B81B3/0054 , B81B2201/045 , B81B2203/053 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B26/0841 , H02N1/006
Abstract: 本发明中所涉及的MEMS光学开关包括:静电驱动器和底座,静电驱动器包括:往复块；对称位于所述往复块左右侧的一对第1旋转轴；连接于所述第1旋转轴并可旋转的第1旋转块；支撑所述第1旋转块的第1旋转弹簧；连接于所述第1旋转块,并与所述第1旋转弹簧一起支撑所述第1旋转块的线形弹簧；连接于所述线形弹簧的第2旋转块；在左右侧两端连接并支撑所述第2旋转块的第2旋转弹簧；连接于所述第2旋转块并可旋转的第2旋转轴；与所述第2旋转轴的为一体设置于驱动器、驱动电极一侧的固定器；超微镜片；对所述往复块和左右侧的旋转块具有两个结构稳定点的静电传动装置。其发明目的在于提供最大限度降低传动装置耗电量的光学开关。
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公开(公告)号：CN111049488B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910614244.1
申请日：2019-07-09
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；腔，形成在所述基板中；第一电极、压电层和第二电极，按顺序堆叠在所述基板上；谐振部，通过在所述腔的上部在竖直方向上叠置的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极定义；附加层，设置在布置于位于所述谐振部的外侧的布线区域中的所述第一电极的一个表面上；以及布线电极，连接至布置在所述布线区域中的所述第一电极。所述第一电极与所述附加层和所述布线电极形成接触界面表面。
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公开(公告)号：CN114268295A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202110835700.2
申请日：2021-07-23
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；设置在所述基板上的第一电极；腔，所述腔设置在所述基板和所述第一电极之间；压电层，覆盖所述第一电极的至少一部分；第二电极，覆盖所述压电层的至少一部分；插入层，设置在所述第一电极与所述压电层之间；以及下框架，设置在所述腔中。所述下框架的至少一部分与所述插入层叠置。
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公开(公告)号：CN108631748B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN201711315132.3
申请日：2017-12-12
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器。所述声波谐振器包括：谐振部，设置在基板上并且通过腔与所述基板分开，所述谐振部包括顺序地堆叠的膜层、第一电极、压电层和第二电极。满足ΔMg为位于所述腔上方的所述膜层的最大厚度和最小厚度之差。
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