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公开(公告)号：CN111049488B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910614244.1
申请日：2019-07-09
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；腔，形成在所述基板中；第一电极、压电层和第二电极，按顺序堆叠在所述基板上；谐振部，通过在所述腔的上部在竖直方向上叠置的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极定义；附加层，设置在布置于位于所述谐振部的外侧的布线区域中的所述第一电极的一个表面上；以及布线电极，连接至布置在所述布线区域中的所述第一电极。所述第一电极与所述附加层和所述布线电极形成接触界面表面。
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公开(公告)号：CN112468106A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202010759286.7
申请日：2020-07-31
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：谐振器，包括中央部和延伸部，在所述中央部中，第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上，所述延伸部沿着所述中央部的外周设置；以及插入层，在所述延伸部中设置在所述压电层的下方以使所述压电层升高。所述插入层可具有沿着面向所述中央部的侧表面形成的第一倾斜表面，所述第一电极可具有从所述插入层的所述第一倾斜表面的下端延伸的第二倾斜表面。
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公开(公告)号：CN111211756A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201910931599.3
申请日：2019-09-29
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种声波谐振器，所述声波谐振器包括：基板；绝缘层，设置在所述基板上；谐振部，设置在所述绝缘层上并且包括堆叠在所述绝缘层上的第一电极、压电层和第二电极；腔，设置在所述绝缘层和所述谐振部之间；突起部，包括设置在所述腔的下表面上的多个突起；以及疏水层，设置在所述腔的上表面和所述突起部的表面上。
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公开(公告)号：CN110912528A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201910593109.3
申请日：2019-07-03
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法，所述体声波谐振器包括：基板、第一层、第二层、膜层和谐振部。所述基板包括基板保护层。所述第一层设置在所述基板保护层上。所述第二层设置在所述第一层的外部。所述膜层与所述基板保护层和所述第一层形成腔。所述谐振部设置在所述膜层上。所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者包括设置在所述腔中的突出部。
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公开(公告)号：CN112468107A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN202010893238.7
申请日：2020-08-31
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器和滤波器装置，所述体声波谐振器包括：基板；第一电极，设置在所述基板上；压电层，设置为覆盖所述第一电极的至少一部分；第二电极，设置为覆盖所述压电层的至少一部分；以及插入层，设置在所述压电层的部分区域之下。所述第一电极在有效区中的厚度小于所述第一电极在所述有效区之外的区域中的厚度，在所述有效区中，所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此重叠。所述插入层的内侧表面的倾斜角度与所述插入层的外侧表面的倾斜角度不同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112468106B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202010759286.7
申请日：2020-07-31
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：谐振器，包括中央部和延伸部，在所述中央部中，第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上，所述延伸部沿着所述中央部的外周设置；以及插入层，在所述延伸部中设置在所述压电层的下方以使所述压电层升高。所述插入层可具有沿着面向所述中央部的侧表面形成的第一倾斜表面，所述第一电极可具有从所述插入层的所述第一倾斜表面的下端延伸的第二倾斜表面。
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公开(公告)号：CN111211756B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN201910931599.3
申请日：2019-09-29
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种声波谐振器，所述声波谐振器包括：基板；绝缘层，设置在所述基板上；谐振部，设置在所述绝缘层上并且包括堆叠在所述绝缘层上的第一电极、压电层和第二电极；腔，设置在所述绝缘层和所述谐振部之间；突起部，包括设置在所述腔的下表面上的多个突起；以及疏水层，设置在所述腔的上表面和所述突起部的表面上。
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公开(公告)号：CN111049488A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201910614244.1
申请日：2019-07-09
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；腔，形成在所述基板中；第一电极、压电层和第二电极，按顺序堆叠在所述基板上；谐振部，通过在所述腔的上部在竖直方向上叠置的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极定义；附加层，设置在布置于位于所述谐振部的外侧的布线区域中的所述第一电极的一个表面上；以及布线电极，连接至布置在所述布线区域中的所述第一电极。所述第一电极与所述附加层和所述布线电极形成接触界面表面。
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公开(公告)号：CN113676151A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110101206.3
申请日：2021-01-26
Applicant: 三星电机株式会社
Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法，所述体声波谐振器包括：谐振器，包括顺序地堆叠在基板上的第一电极、压电层和第二电极；以及插入层，设置在所述压电层下方，且被构造为以部分地升高所述压电层和所述第二电极，其中，所述插入层可利用包含硅(S)、氧(O)和氮(N)的材料形成。
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