声波谐振器
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111211756B

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN201910931599.3

    申请日:2019-09-29

    Abstract: 本公开提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;绝缘层,设置在所述基板上;谐振部,设置在所述绝缘层上并且包括堆叠在所述绝缘层上的第一电极、压电层和第二电极;腔,设置在所述绝缘层和所述谐振部之间;突起部,包括设置在所述腔的下表面上的多个突起;以及疏水层,设置在所述腔的上表面和所述突起部的表面上。

    声波谐振器、包括其的声波谐振器滤波器及其制造方法

    公开(公告)号:CN110611493A

    公开(公告)日:2019-12-24

    申请号:CN201910122951.9

    申请日:2019-02-18

    Abstract: 本公开提供一种声波谐振器、包括其的声波谐振器滤波器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;以及谐振部,包括顺序地层叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极,并且被划分为中央部以及沿着所述中央部的外周设置的延伸部,其中,所述谐振部被构造为具有不对称的多边形平面,在所述延伸部中的所述压电层的下方设置有内置层,并且在所述延伸部中的所述压电层被构造为具有升高以符合所述内置层的形状的形状,并且所述内置层被构造为具有与所述延伸部的形状对应的不对称的多边形形状。

    声波谐振器封装件
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115800948A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202210572137.9

    申请日:2022-05-24

    Inventor: 李男贞 金泰润

    Abstract: 本公开提供一种声波谐振器封装件,所述声波谐振器封装件包括:基板;盖,包括朝向所述基板突出的突出部;声波谐振器,设置在所述基板与所述盖之间且包括第一电极、压电层和第二电极;金属层,连接到所述第一电极和所述第二电极中的一个;以及导电垫,至少部分地设置在所述突出部与所述金属层之间,并且在第一方向上延伸,所述第一方向与所述声波谐振器面向所述导电垫的第二方向不同。

    声波谐振器及声波谐振器滤波器

    公开(公告)号:CN111835310B

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN201911218963.8

    申请日:2019-12-03

    Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及声波谐振器滤波器,所述声波谐振器包括:上电极,包括设置在压电层的上部上的第一有效区和从所述第一有效区延伸的第一延伸区;下电极,包括设置在所述压电层的下部上的第二有效区和从所述第二有效区延伸的第二延伸区;第一金属层,包括设置在所述第一延伸区上的第一电阻减小区;以及第二金属层,包括设置在所述第二延伸区上的第二电阻减小区。所述第一金属层包括从所述第一电阻减小区延伸的第一导电连接区。所述第二金属层包括从所述第二电阻减小区延伸的第二导电连接区。所述第一导电连接区和所述第二导电连接区与所述第一有效区和所述第二有效区的侧边界的各个部分对应。

    声波谐振器及声波谐振器滤波器

    公开(公告)号:CN111835310A

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201911218963.8

    申请日:2019-12-03

    Abstract: 本发明提供一种声波谐振器及声波谐振器滤波器,所述声波谐振器包括:上电极,包括设置在压电层的上部上的第一有效区和从所述第一有效区延伸的第一延伸区;下电极,包括设置在所述压电层的下部上的第二有效区和从所述第二有效区延伸的第二延伸区;第一金属层,包括设置在所述第一延伸区上的第一电阻减小区;以及第二金属层,包括设置在所述第二延伸区上的第二电阻减小区。所述第一金属层包括从所述第一电阻减小区延伸的第一导电连接区。所述第二金属层包括从所述第二电阻减小区延伸的第二导电连接区。所述第一导电连接区和所述第二导电连接区与所述第一有效区和所述第二有效区的侧边界的各个部分对应。

    声波谐振器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111211756A

    公开(公告)日:2020-05-29

    申请号:CN201910931599.3

    申请日:2019-09-29

    Abstract: 本公开提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;绝缘层,设置在所述基板上;谐振部,设置在所述绝缘层上并且包括堆叠在所述绝缘层上的第一电极、压电层和第二电极;腔,设置在所述绝缘层和所述谐振部之间;突起部,包括设置在所述腔的下表面上的多个突起;以及疏水层,设置在所述腔的上表面和所述突起部的表面上。

    体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法

    公开(公告)号:CN110912528A

    公开(公告)日:2020-03-24

    申请号:CN201910593109.3

    申请日:2019-07-03

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法,所述体声波谐振器包括:基板、第一层、第二层、膜层和谐振部。所述基板包括基板保护层。所述第一层设置在所述基板保护层上。所述第二层设置在所述第一层的外部。所述膜层与所述基板保护层和所述第一层形成腔。所述谐振部设置在所述膜层上。所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者包括设置在所述腔中的突出部。

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