一种具有高可靠性电极的红外发光二极管制作方法

    公开(公告)号:CN104201264A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201410457065.9

    申请日:2014-09-10

    CPC classification number: H01L33/10 H01L33/007 H01L33/22 H01L33/32

    Abstract: 本发明公开一种具有高可靠性电极的红外发光二极管制作方法:提供外延层,在外延层第二型导电层上蒸镀金属反射镜,将其键合在基板上;去除外延衬底,露出微粗化层;在微粗化层表面形成粗化形貌;去除部分微粗化层,微粗化层剩余区域制作焊盘电极,而微粗化层的去除区域露出欧姆接触层;在露出的欧姆接触层表面形成扩展电极图形;形成焊盘电极和扩展电极;逐层去除裸露的欧姆接触层、腐蚀截止层直至露出粗化层;在粗化层的裸露区域形成表面粗化形貌;在基板背面蒸镀背电极,裂片即得。本发明有效提高焊台电极的可靠性,解决焊台电极由于粘附性差而容易脱落的问题,也解决打金线时焊台电极下的外延层容易被打碎的封装难题。

    一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液及其制备方法

    公开(公告)号:CN104178172A

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201410408330.4

    申请日:2014-08-19

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 本发明公开一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液,由以下A、B、C、D、E五种组分组成:A组分为固体柠檬酸;B组分为双氧水;C组分为胺类化合物;D组分为氨基酸类化合物;E组分为去离子水;上述组分的加入量按质量计算为:A组分为5~150份,B组分为10~100份,C组分为1~20份,D组分为1~20份,E组分为100份;优选所述A组分纯度大于99.8%,所述B组分的质量浓度为30%;本发明还公开上述腐蚀液的制备方法;本发明能够较好控制腐蚀液的腐蚀速率,增强腐蚀的均匀性,彻底去除残留物,以获得侧面台阶平整的电池栅线结构。

    一种具有防扩层的发光二极管及其制造方法

    公开(公告)号:CN104112805A

    公开(公告)日:2014-10-22

    申请号:CN201410338035.6

    申请日:2014-07-16

    CPC classification number: H01L33/44 H01L33/0062 H01L33/10

    Abstract: 本发明公开一种具有防扩层的发光二极管的制造方法,采用前期增加外延生长防扩层,后期二极管制作工艺中在防扩层之上形成金属反射镜,并在防扩层嵌入金属导电通道,通过采用氧化工艺将防扩层变成氧化物介质层,且与金属反射镜、导电通道构成复合的全方位反射效果,通过叠加布拉格反射层而组成的两部分复合结构,获得较高的发光亮度。采用此方法解决了传统倒置芯片制作过程中,在外延层蒸镀氧化膜工艺,外延层与氧化膜、金属反射镜存在材料界面容易剥离的问题,提高发光二极管的稳定性及生产制造过程的成品率。本发明还公开所述方法制造的具有防扩层的发光二极管,使外量子效率较高,且内部层结构连接较为稳定。

Patent Agency Ranking