公开(公告)号：CN103846781B

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201310641959.9

申请日：2013-12-03

Applicant: 不二越机械工业株式会社 ,  独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 中村由夫 ,  大塚美雄 ,  大久保贵史 ,  澁谷和孝 ,  布施贵之 ,  原史朗 ,  耸嘛玩 ,  池田伸一

IPC: B24B37/10

CPC classification number: B24B7/228 ,  B24B37/105 ,  B24B37/16 ,  B24B37/26 ,  B24B37/30 ,  B24B37/345 ,  B24B53/017

Abstract: 晶圆研磨设备包括研磨板、能够保持晶圆的研磨头和研磨液供给部。该研磨板包括：多个同心的研磨区，各研磨区均具有用于研磨晶圆的规定宽度并且在各研磨区上均贴附研磨布；以及用于排出研磨液的槽，该槽形成在研磨区之间。用于清洁研磨头的头清洁部或用于清洁研磨后的晶圆的晶圆清洁部设置到研磨板的中心部分并且位于最内侧研磨区的内侧。

公开(公告)号：CN107073682A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580057427.8

申请日：2015-10-02

Applicant: 信越半导体股份有限公司 ,  不二越机械工业株式会社

Inventor： 佐藤三千登 ,  金井洋介

IPC: B24B37/34 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种平台搬运台车，其用以搬运从研磨装置卸除的平台、或要安装至前述研磨装置上的前述平台，所述平台搬运台车的特征在于，具备：平台保持部，用以保持前述平台；支持台，从下侧来支持该平台保持部；升降机构，实行前述平台保持部的升降；以及，倾斜机构，使保持有前述平台的前述平台保持部倾斜；并且，能够在利用前述倾斜机构来使保持有前述平台的前述平台保持部倾斜的状态下，搬运前述平台。由此，提供一种平台搬运台车，其能够缩小搬运平台时所需的宽度，因而能够缩小用以搬运平台的通路的宽度。

公开(公告)号：CN103144029B

公开(公告)日：2017-07-07

申请号：CN201210511482.8

申请日：2012-12-04

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 小布施敦史 ,  寺泽光子

IPC: B24B41/06 ,  H01L21/304 ,  H01L21/67

CPC classification number: B30B15/34 ,  B24B37/345 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6715 ,  Y10T156/10

Abstract: 用于粘附工件的方法和工件粘附装置。该用于粘附工件的方法能够将工件抛光成具有相同的厚度。该用于粘附工件的方法在工件粘附装置中实施，该工件粘附装置包括：加压台；和设置于加压台的上方并且能够彼此独立地靠近和远离加压台地移动的多个加压头。加压台和加压头将工件压到板上并利用粘合剂使工件粘附至板。每个加压头均以相同的压力将对应的一个工件压到板上。

公开(公告)号：CN103035557B

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201210370793.7

申请日：2012-09-28

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 大塚美雄 ,  大西进 ,  宫泽弘俊

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供向坯料粘接切削余量板及安装板的粘接方法及粘接装置。该粘接方法利用由主剂与固化剂构成的双组分粘接剂将用于将切削余量板（22）及坯料（23）安装在钢丝锯上的安装板（21）粘接在坯料的外表面上，其特征在于，在按照所需图案将双组分粘接剂涂敷在安装板与切削余量板之间的粘接面及切削余量板与坯料之间的粘接面上的工序中，在粘接面的各拐角部的所需部位上将混合后的双组分粘接剂涂敷成点状，并且，在粘接面的宽度方向中央部将混合后的双组分粘接剂涂敷成沿粘接面的长度方向延伸的带状，利用来自坯料侧的载荷使双组分粘接剂自点状部向粘接面的角部方向延展，自带状部向粘接面的宽度方向延展。

公开(公告)号：CN102131617B

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN200980132819.0

申请日：2009-08-07

Applicant: 信越半导体股份有限公司 ,  不二越机械工业株式会社

Inventor： 桝村寿 ,  桥本浩昌 ,  森田幸治 ,  岸田敬实 ,  荒川悟

IPC: B24B37/30

CPC classification number: B24B37/30

Abstract: 本发明是一种研磨头，至少具备：环状刚性环；橡胶膜，其被以均匀的张力粘接在该刚性环；中板，其与刚性环结合，并与橡胶膜和刚性环共同形成空间部；环状模板，其在橡胶膜的底面部的周边部配置成与刚性环同心状；压力调整机构，其使空间部的压力变化；其特征在于：空间部被与刚性环同心的至少1个环状墙隔开，而形成多个密闭空间，且被上述环状墙隔开的多个密闭空间之中的内侧的至少1个密闭空间的外径以成为上述工件的平坦度保证区域的直径以上的方式来形成，而且压力调整机构分别独立地调整多个密闭空间内的压力。

公开(公告)号：CN102672597B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201110412522.9

申请日：2011-12-12

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 宫下忠一 ,  小山翔悟

IPC: B24B37/08 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/28

Abstract: 在双面研磨装置中，研磨液供给孔的一端部具有内径朝向研磨板的研磨面逐渐增大的内锥形面。在研磨布的覆盖研磨液供给孔的部分形成有对应于研磨液供给孔的研磨布孔。研磨布孔的边缘位于研磨液供给孔中。在一端部形成面对内锥形面的凸缘部的固定管道被固定在研磨液供给孔中。研磨布孔的边缘被夹持在研磨液供给孔的内锥形面和固定管道的凸缘部之间。

公开(公告)号：CN102380820B

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201110262576.1

申请日：2011-08-30

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 守屋纪彦

IPC: B24B37/20

CPC classification number: B24B37/30

Abstract: 一种研磨设备，其能够使同心加压区之间的边界区域中的压力分布连续地变化并且均匀地研磨工件。研磨设备包括：研磨头，其用于保持工件；研磨板，其具有研磨面，研磨面附着有研磨布；以及驱动机构，其用于使研磨头相对于研磨板移动。研磨头包括：保持板，其具有环状侧壁；弹性片构件，其被固定到保持板的边缘，弹性片构件具有能够将工件压到研磨板的研磨布上的底面；压力室，规定压力的流体被供给到压力室以对弹性片构件加压，压力室形成于保持板的底面和弹性片构件的顶面之间；密封环，其将压力室同心地分隔为多个分室，密封环具有倾斜地接触弹性片构件的密封唇；及流体供给部，其用于将流体分别供给到多个分室。

公开(公告)号：CN102019581B

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201010287709.6

申请日：2010-09-17

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 竹内正博

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/005 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明提供一种不对输送中的晶圆的整周拍摄图像就能够进行该晶圆的破裂检测的晶圆研磨装置和晶圆的制造方法。本发明的晶圆研磨装置(1)包括平板(12、14)和设有能够保持晶圆(2)的通孔(21)的载置构件(20)，使保持在载置构件(20)的通孔(21)中的晶圆(2)与平板(12、14)相对移动来研磨该晶圆(2)，其中，具有用于检测在通孔(21)内残留的晶圆碎片的有无的、图像处理部件(6)和非接触检测部件(7)的至少一方。

公开(公告)号：CN101962798B

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201010234997.9

申请日：2010-07-21

Applicant: 国立大学法人信州大学 ,  不二越机械工业株式会社

Inventor： 干川圭吾 ,  宫川千宏 ,  中村太一

IPC: C30B11/00 ,  C30B29/20

CPC classification number: C30B29/20 ,  C30B11/002 ,  Y10T117/1024

Abstract: 本发明涉及用于生产蓝宝石单晶的方法和设备。一种方法，其能够生产蓝宝石单晶而不形成裂纹和不使用昂贵的坩埚。该方法包含下述步骤：将籽晶和原料放置于坩埚中；将坩埚设置于圆筒形加热器中；加热坩埚；和在圆筒形加热器中产生温度梯度以使熔体顺序结晶。所述坩埚由具有特定的线性膨胀系数的材料构成，该材料能够防止由坩埚的线性膨胀系数和蓝宝石单晶沿垂直于其生长轴的方向的线性膨胀系数之间的差导致的相互应力在坩埚和蓝宝石单晶中产生，或该材料能够防止由在蓝宝石单晶中的相互应力导致的坩埚的变形而不产生晶体缺陷。

公开(公告)号：CN101905442B

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201010191064.6

申请日：2010-06-02

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 古川昌德

IPC: B24B37/08

CPC classification number: B24B37/28

Abstract: 本发明涉及晶圆的双面研磨装置、双面研磨方法及该装置的载体。该双面研磨装置能够均一地研磨晶圆并且能够有效地防止晶圆的外缘受损。该双面研磨装置包括：下研磨板和上研磨板，其用于研磨晶圆的两面；载体，其具有主体部，在该主体部中形成有用于保持晶圆的通孔。通孔在载体的上表面和下表面中的边缘被涂覆有涂覆层，该涂覆层由耐磨材料组成，并且具有规定的宽度和规定的厚度。树脂垫圈被设置到所述通孔的内周面，该树脂垫圈具有规定的宽度，并且该树脂垫圈的厚度与所述载体的主体部的厚度相同。所述晶圆被保持在所述树脂垫圈中。