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公开(公告)号：CN100400235C
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200310102917.4
申请日：2003-10-24
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Inventor： 守屋纪彦
IPC: B24B37/04
CPC classification number: B24B37/08 , B24B37/345
Abstract: 该研磨机能进给合适的量的研磨料并防止一工件附着在一上研磨板上。该研磨机包括：研磨工件的一上表面的上研磨板，该上研磨板具有多个用于将研磨料进给到工件的研磨料孔；研磨工件的一下表面的一下研磨板；加压并发送研磨料的一研磨料进给单元；将诸研磨料孔分别连接至该研磨料供应单元的多根研磨料通道；分别设置在诸研磨料通道上以对研磨料量流进行控制的多个阀机构；以及用于控制诸所述阀机构的一控制部分。
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公开(公告)号：CN100408270C
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN03157784.9
申请日：2003-08-29
Applicant: 不二越机械工业株式会社
IPC: B24B39/06 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/08
Abstract: 本发明抛光机可以均匀地把压力从上抛光片施加到容纳在载体通孔中的工件之上。该抛光机包括：多个围绕上抛光片的重心设置并夹在抛光片之间的载体。不绕自己的轴线回转的载体的圆周运动是分别独立地进行的。诸载体的承载的诸工件的重心同时移近上抛光片的重心也同时从重心处移开，且诸工件重心所移动的距离是相等的。
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公开(公告)号：CN102380820B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201110262576.1
申请日：2011-08-30
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Inventor： 守屋纪彦
IPC: B24B37/20
CPC classification number: B24B37/30
Abstract: 一种研磨设备，其能够使同心加压区之间的边界区域中的压力分布连续地变化并且均匀地研磨工件。研磨设备包括：研磨头，其用于保持工件；研磨板，其具有研磨面，研磨面附着有研磨布；以及驱动机构，其用于使研磨头相对于研磨板移动。研磨头包括：保持板，其具有环状侧壁；弹性片构件，其被固定到保持板的边缘，弹性片构件具有能够将工件压到研磨板的研磨布上的底面；压力室，规定压力的流体被供给到压力室以对弹性片构件加压，压力室形成于保持板的底面和弹性片构件的顶面之间；密封环，其将压力室同心地分隔为多个分室，密封环具有倾斜地接触弹性片构件的密封唇；及流体供给部，其用于将流体分别供给到多个分室。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102001036B
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201010268504.3
申请日：2010-08-30
Applicant: 不二越机械工业株式会社
CPC classification number: B24B37/30
Abstract: 一种研磨装置，其能够提高研磨工件的精度。借助于由第二加压部件产生且被施加到承载件的压力和第一流体室的由供给到第一流体室的流体产生的内压利用弹性片将工件压到研磨布上，以研磨工件。已经被向下供给到第一流体室中的流体在第一流体室中水平地向外流动，与盘状构件的凹部的侧壁碰撞而向上流动，然后流体从流体出口向外排出，由此，流体供给构件跟随弹性片的运动并且保持与弹性片平行，流体供给构件在第一流体室中被定心。
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公开(公告)号：CN1498724A
公开(公告)日：2004-05-26
申请号：CN200310102917.4
申请日：2003-10-24
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Inventor： 守屋纪彦
IPC: B24B37/04
CPC classification number: B24B37/08 , B24B37/345
Abstract: 该研磨机能进给合适的量的研磨料并防止一工件附着在一上研磨板上。该研磨机包括：研磨工件的一上表面的上研磨板，该上研磨板具有多个用于将研磨料进给到工件的研磨料孔；研磨工件的一下表面的一下研磨板；加压并发送研磨料的一研磨料进给单元；将诸研磨料孔分别连接至该研磨料供应单元的多根研磨料通道；分别设置在诸研磨料通道上以对研磨料量流进行控制的多个阀机构；以及用于控制诸所述阀机构的一控制部分。
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公开(公告)号：CN102380820A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110262576.1
申请日：2011-08-30
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Inventor： 守屋纪彦
IPC: B24B37/20
CPC classification number: B24B37/30
Abstract: 一种研磨设备，其能够使同心加压区之间的边界区域中的压力分布连续地变化并且均匀地研磨工件。研磨设备包括：研磨头，其用于保持工件；研磨板，其具有研磨面，研磨面附着有研磨布；以及驱动机构，其用于使研磨头相对于研磨板移动。研磨头包括：保持板，其具有环状侧壁；弹性片构件，其被固定到保持板的边缘，弹性片构件具有能够将工件压到研磨板的研磨布上的底面；压力室，规定压力的流体被供给到压力室以对弹性片构件加压，压力室形成于保持板的底面和弹性片构件的顶面之间；密封环，其将压力室同心地分隔为多个分室，密封环具有倾斜地接触弹性片构件的密封唇；及流体供给部，其用于将流体分别供给到多个分室。
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公开(公告)号：CN102001036A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010268504.3
申请日：2010-08-30
Applicant: 不二越机械工业株式会社
IPC: B24B37/04
CPC classification number: B24B37/30
Abstract: 一种研磨装置，其能够提高研磨工件的精度。借助于由第二加压部件产生且被施加到承载件的压力和第一流体室的由供给到第一流体室的流体产生的内压利用弹性片将工件压到研磨布上，以研磨工件。已经被向下供给到第一流体室中的流体在第一流体室中水平地向外流动，与盘状构件的凹部的侧壁碰撞而向上流动，然后流体从流体出口向外排出，由此，流体供给构件跟随弹性片的运动并且保持与弹性片平行，流体供给构件在第一流体室中被定心。
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公开(公告)号：CN1488470A
公开(公告)日：2004-04-14
申请号：CN03157784.9
申请日：2003-08-29
Applicant: 不二越机械工业株式会社
IPC: B24B39/06 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/08
Abstract: 本发明抛光机可以均匀地把压力从上抛光片施加到容纳在载体通孔中的工件之上。该抛光机包括：多个围绕上抛光片的重心设置并夹在抛光片之间的载体。不绕自己的轴线回转的载体的圆周运动是分别独立地进行的。诸载体的承载的诸工件的重心同时移近上抛光片的重心也同时从重心处移开，且诸工件重心所移动的距离是相等的。
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