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公开(公告)号：CN119136947A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202380037787.6
申请日：2023-04-03
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Inventor： 菅野祐也
IPC: B24B37/00 , B24B1/00 , B24B37/10 , H01L21/304
Abstract: 课题在于，提供考虑工件表面的凹凸分布而对工件表面进行表面改性、提高了短时间内的加工性的研磨装置和研磨方法。作为解决手段，一种研磨装置(10)，其进行工件(W)的研磨，其特征在于，所述研磨装置(10)具有气穴产生射出装置(50)，气穴产生射出装置(50)具有在内部流通第1液流(A)的内筒(54)，内筒(54)具有气穴产生部(54a)，气穴产生射出装置(50)构成为：使第1液流(A)中产生气穴，使第1液流(A)与工件(W)碰撞。
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公开(公告)号：CN113930841B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202111202574.3
申请日：2017-04-19
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供能够实现氧化镓晶体的大型化、高品质化的氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)由具备基体(12)、炉主体(14)、盖体(18)、发热体(20)、坩埚支承轴(24)和坩埚(30)的垂直布里奇曼炉构成，本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)的特征在于，坩埚(30)为Pt系合金制的坩埚，炉主体(14)的内壁形成为由两个以上具有所需高度的环状的耐热部件(32b)层叠而成的耐热壁(32)，并且，环状的耐热部件(32b)通过将两个以上的分割片(32a)接合而形成为环状。
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公开(公告)号：CN113795725A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202080032525.7
申请日：2020-04-09
Applicant: 不二越机械工业株式会社
IPC: G01B11/06 , H01L21/304
Abstract: 具有：单片型波长扫描半导体激光光源(12)，其具有激光源(14)、控制激光源(14)的激光控制单元(16)以及处理器(18)，该处理器(18)构成为利用激光控制单元(16)来控制激光源(14)，以振荡出相对于时间按照设定图谱变化的波长的激光；光学系统(20、22)，其将激光引导并照射到晶片(24)；检测部(26)，其检测反射光的干涉光信号；A/D转换器(28)，其将由检测部(26)检测出的干涉光信号转换成数字信号；以及运算部(30)，其通过分析来自所述A/D转换器(28)的数字信号来计算晶片(24)的厚度，其特征在于，处理器(18)使激光控制单元(16)根据时钟信号进行动作，从激光源(14)振荡出相对于时间按照设定图谱进行波长扫描的激光，A/D转换器(28)与所述时钟信号同步地生成采样时钟或将时钟信号直接用作采样时钟，对干涉光信号进行A/D转换。
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公开(公告)号：CN107304481B
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN201710256274.0
申请日：2017-04-19
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供能够实现氧化镓晶体的大型化、高品质化的氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)由具备基体(12)、炉主体(14)、盖体(18)、发热体(20)、坩埚支承轴(24)和坩埚(30)的垂直布里奇曼炉构成，本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)的特征在于，坩埚(30)为Pt系合金制的坩埚，炉主体(14)的内壁形成为由两个以上具有所需高度的环状的耐热部件(32b)层叠而成的耐热壁(32)，并且，环状的耐热部件(32b)通过将两个以上的分割片(32a)接合而形成为环状。
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公开(公告)号：CN111041556A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201910935595.2
申请日：2019-09-29
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社 , 丰田自动车株式会社
Abstract: 本发明提供能够生长不着色且杂质少的高纯度的氧化镓单晶的氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法以及用于它们的氧化镓晶体生长用的坩埚。一种在大气气氛下使用Ir含量为20～30wt％的Pt-Ir系合金坩埚，应用VB法、HB法或VGF法来生长氧化镓晶体的制造装置和制造方法，其特征在于，该制造装置(10)由垂直布里奇曼炉构成，该垂直布里奇曼炉具备：基体(12)；炉主体(14)；盖体(18)；发热体(20)；坩埚支承轴(30)；和坩埚(34)，上述坩埚(34)是Ir含量为20～30wt％的Pt-Ir系合金制的坩埚(34)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107073682B
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201580057427.8
申请日：2015-10-02
Applicant: 信越半导体股份有限公司 , 不二越机械工业株式会社
IPC: B24B37/34 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种平台搬运台车，其用以搬运从研磨装置卸除的平台、或要安装至前述研磨装置上的前述平台，所述平台搬运台车的特征在于，具备：平台保持部，用以保持前述平台；支持台，从下侧来支持该平台保持部；升降机构，实行前述平台保持部的升降；以及，倾斜机构，使保持有前述平台的前述平台保持部倾斜；并且，能够在利用前述倾斜机构来使保持有前述平台的前述平台保持部倾斜的状态下，搬运前述平台。由此，提供一种平台搬运台车，其能够缩小搬运平台时所需的宽度，因而能够缩小用以搬运平台的通路的宽度。
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公开(公告)号：CN106064339B
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201610244328.7
申请日：2016-04-19
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Abstract: 提供了一种双面抛光设备和抛光方法，该双面抛光设备能够令人满意地执行高硬度材料的抛光。使上表面板旋转的第一旋转轴具有筒形，竖直地延伸，并且具有固定至其上端的卡箍；使太阳齿轮旋转的第二旋转轴可旋转地插入穿过筒形的第一旋转轴并竖直地延伸，并且具有固定至其上端的小齿轮；太阳齿轮具有筒形并且可旋转地支撑在第一旋转轴的上端部分的外侧，并具有形成在内周部上的内齿和与托架啮合的形成在外周部上的外齿；并且空隙部形成在第一旋转轴的上部处，并且在该空隙部中布置有行星齿轮，该行星齿轮与设置在用于驱动太阳齿轮的第二旋转轴上的小齿轮和太阳齿轮的内齿啮合，并且将第二旋转轴的旋转传递至太阳齿轮。
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公开(公告)号：CN104907917B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201510111674.3
申请日：2015-03-13
Applicant: 不二越机械工业株式会社
IPC: B24B37/00 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/04 , B24B57/02 , C23F1/08 , C23F1/12 , C23F1/14 , H01J37/32055 , H01J37/32073 , H01J37/32348 , H01L21/02024 , H01L21/30625 , H01L21/67075 , H01L21/67092 , H01L29/1602 , H01L29/1608 , H01L29/2003
Abstract: 本发明提供种工件研磨方法和工件研磨装置。本发明的方法能够以高研磨效率研磨高硬度工件。该方法包括如下步骤:将工件的表面压在转动研磨板的研磨部上;以及在执行该加压步骤时供给研磨液。该方法的特征在于,将通过气体放电而已经被活性化的活性化气体转变成气泡并混入研磨液中。
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公开(公告)号：CN107921605A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680047958.3
申请日：2016-08-03
Applicant: 信越半导体股份有限公司 , 不二越机械工业株式会社
IPC: B24B37/00 , B24B37/12 , B24B57/02 , H01L21/304
CPC classification number: B24B37/107 , B24B37/00 , B24B37/12 , B24B57/02 , H01L21/304 , Y02P70/177
Abstract: 本发明的研磨装置具备：平台，贴附有研磨布；研磨头，用以保持晶圆；槽体，用以储藏研磨剂；研磨剂供给机构，将储藏在槽体内的研磨剂供给至研磨布；废液承接器，回收自平台上流下的研磨剂；以及循环机构，被连接至废液承接器，将利用废液承接器所回收的研磨剂供给至槽体内；并且，利用研磨剂供给机构来将研磨剂自槽体内供给至研磨布，并利用废液承接器来回收自平台上流下的已使用后的研磨剂，并且将已回收后的研磨剂供给至槽体内，由此，一边使研磨剂循环，一边使利用研磨头所保持的晶圆的表面与研磨布作滑动接触来进行研磨；其中，所述研磨装置的特征在于，废液承接器被固定在平台上。由此，提供一种研磨装置，当回收再利用的研磨剂时，其能抑制与其他溶液的混合而抑制回收效率的恶化，而且维修也容易。
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公开(公告)号：CN106944916A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201611123561.6
申请日：2016-12-08
Applicant: 不二越机械工业株式会社 , 国立研究开发法人产业技术综合研究所
Abstract: 本发明提供工件加工装置以及用于该工件加工装置的药液收纳袋，能够防止药液的干燥、凝聚、沉淀等，也能够实现小型化。一种工件加工装置(5)，其具有将药液供给至处理部(6)的药液供给部(7)和进行工件的加工或者处理的所述处理部(6)，其特征在于，药液供给部(7)具有：多个药液收纳袋(50)，其填充有药液；袋保持部(52)，其安装并保持有多个药液收纳袋(50)；以及送液部，其装卸自如地连接有多个药液收纳袋(50)，将药液从药液收纳袋(50)送入到处理部(6)，药液收纳袋(50)呈将柔性树脂片重合并将周缘部熔接而成的袋状，并且具有与外部连通的端口部(53)，在端口部(53)上安装有带阀的接头(54)。
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