公开(公告)号：CN106064339B

公开(公告)日：2020-01-10

申请号：CN201610244328.7

申请日：2016-04-19

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 和田昌树 ,  赤盐典彦 ,  依田辽介

IPC: B24B29/02 ,  B24B47/12

Abstract: 提供了一种双面抛光设备和抛光方法，该双面抛光设备能够令人满意地执行高硬度材料的抛光。使上表面板旋转的第一旋转轴具有筒形，竖直地延伸，并且具有固定至其上端的卡箍；使太阳齿轮旋转的第二旋转轴可旋转地插入穿过筒形的第一旋转轴并竖直地延伸，并且具有固定至其上端的小齿轮；太阳齿轮具有筒形并且可旋转地支撑在第一旋转轴的上端部分的外侧，并具有形成在内周部上的内齿和与托架啮合的形成在外周部上的外齿；并且空隙部形成在第一旋转轴的上部处，并且在该空隙部中布置有行星齿轮，该行星齿轮与设置在用于驱动太阳齿轮的第二旋转轴上的小齿轮和太阳齿轮的内齿啮合，并且将第二旋转轴的旋转传递至太阳齿轮。

公开(公告)号：CN106064339A

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201610244328.7

申请日：2016-04-19

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 和田昌树 ,  赤盐典彦 ,  依田辽介

IPC: B24B29/02 ,  B24B47/12

Abstract: 提供了一种双面抛光设备和抛光方法，该双面抛光设备能够令人满意地执行高硬度材料的抛光。使上表面板旋转的第一旋转轴具有筒形，竖直地延伸，并且具有固定至其上端的卡箍；使太阳齿轮旋转的第二旋转轴可旋转地插入穿过筒形的第一旋转轴并竖直地延伸，并且具有固定至其上端的小齿轮；太阳齿轮具有筒形并且可旋转地支撑在第一旋转轴的上端部分的外侧，并具有形成在内周部上的内齿和与托架啮合的形成在外周部上的外齿；并且空隙部形成在第一旋转轴的上部处，并且在该空隙部中布置有行星齿轮，该行星齿轮与设置在用于驱动太阳齿轮的第二旋转轴上的小齿轮和太阳齿轮的内齿啮合，并且将第二旋转轴的旋转传递至太阳齿轮。

公开(公告)号：CN103506935B

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201310239057.2

申请日：2013-06-17

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 两角洋一 ,  小山晴道 ,  粕尾学 ,  和田昌树

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34 ,  H01L21/304

Abstract: 一种工件研磨装置包括：具有顶面的研磨板，研磨布贴附于该顶面，并且研磨板能够在水平面转动；设置于研磨板上方并且能够上下移动和在水平面转动的顶环，顶环能够对位于研磨板和顶环之间的承载板施压，承载板将工件保持在底面，以将工件压在研磨板上；以及设置于顶环的止动件，止动件在研磨位置止挡并保持载置在研磨板上并且通过转动研磨板而移动到顶环的下侧的承载板。

公开(公告)号：CN103506935A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201310239057.2

申请日：2013-06-17

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 两角洋一 ,  小山晴道 ,  粕尾学 ,  和田昌树

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/04 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34 ,  H01L21/304

Abstract: 一种工件研磨装置包括：具有顶面的研磨板，研磨布贴附于该顶面，并且研磨板能够在水平面转动；设置于研磨板上方并且能够上下移动和在水平面转动的顶环，顶环能够对位于研磨板和顶环之间的承载板施压，承载板将工件保持在底面，以将工件压在研磨板上；以及设置于顶环的止动件，止动件在研磨位置止挡并保持载置在研磨板上并且通过转动研磨板而移动到顶环的下侧的承载板。