公开(公告)号：CN103506935B

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201310239057.2

申请日：2013-06-17

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 两角洋一 ,  小山晴道 ,  粕尾学 ,  和田昌树

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34 ,  H01L21/304

Abstract: 一种工件研磨装置包括：具有顶面的研磨板，研磨布贴附于该顶面，并且研磨板能够在水平面转动；设置于研磨板上方并且能够上下移动和在水平面转动的顶环，顶环能够对位于研磨板和顶环之间的承载板施压，承载板将工件保持在底面，以将工件压在研磨板上；以及设置于顶环的止动件，止动件在研磨位置止挡并保持载置在研磨板上并且通过转动研磨板而移动到顶环的下侧的承载板。

公开(公告)号：CN103506935A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201310239057.2

申请日：2013-06-17

Applicant: 不二越机械工业株式会社

Inventor： 两角洋一 ,  小山晴道 ,  粕尾学 ,  和田昌树

IPC: B24B37/04 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/04 ,  B24B37/27 ,  B24B37/34 ,  H01L21/304

Abstract: 一种工件研磨装置包括：具有顶面的研磨板，研磨布贴附于该顶面，并且研磨板能够在水平面转动；设置于研磨板上方并且能够上下移动和在水平面转动的顶环，顶环能够对位于研磨板和顶环之间的承载板施压，承载板将工件保持在底面，以将工件压在研磨板上；以及设置于顶环的止动件，止动件在研磨位置止挡并保持载置在研磨板上并且通过转动研磨板而移动到顶环的下侧的承载板。