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公开(公告)号：CN111041556A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201910935595.2
申请日：2019-09-29
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社 , 丰田自动车株式会社
Abstract: 本发明提供能够生长不着色且杂质少的高纯度的氧化镓单晶的氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法以及用于它们的氧化镓晶体生长用的坩埚。一种在大气气氛下使用Ir含量为20～30wt％的Pt-Ir系合金坩埚，应用VB法、HB法或VGF法来生长氧化镓晶体的制造装置和制造方法，其特征在于，该制造装置(10)由垂直布里奇曼炉构成，该垂直布里奇曼炉具备：基体(12)；炉主体(14)；盖体(18)；发热体(20)；坩埚支承轴(30)；和坩埚(34)，上述坩埚(34)是Ir含量为20～30wt％的Pt-Ir系合金制的坩埚(34)。
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公开(公告)号：CN114808105A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210092056.9
申请日：2022-01-26
Applicant: 不二越机械工业株式会社 , 国立大学法人信州大学
Abstract: 本发明的课题在于提供一种金属氧化物单晶制造装置，其能够防止在氧化气氛的高温炉内生成的以氮氧化物为例的有害物质向炉周围的扩散。本发明的金属氧化物单晶制造装置(10)是在氧化气氛下以1500℃以上的温度将炉(14)内加热的金属氧化物单晶制造装置(10)，其具备：对炉(14)内进行加热的发热体(34)；设置在上述炉(14)中的下部侧、将上述炉(14)的内外连通的吸气管(24)；设置在上述炉(14)中的上部侧、将上述炉(14)的内外连通的排气管(26)；设置在比上述炉(14)靠上方的位置的管道(36)；以及设置在上述管道(36)的中途的排气扇(38)和有害物质除去装置(40)。
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公开(公告)号：CN107304481A
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201710256274.0
申请日：2017-04-19
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
CPC classification number: C30B11/002 , C30B11/003 , C30B11/007 , C30B29/16 , H01L21/02565 , H01L21/02625 , C30B11/001 , C30B11/006
Abstract: 本发明的课题在于提供能够实现氧化镓晶体的大型化、高品质化的氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)由具备基体(12)、炉主体(14)、盖体(18)、发热体(20)、坩埚支承轴(24)和坩埚(30)的垂直布里奇曼炉构成，本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)的特征在于，坩埚(30)为Pt系合金制的坩埚，炉主体(14)的内壁形成为由两个以上具有所需高度的环状的耐热部件(32b)层叠而成的耐热壁(32)，并且，环状的耐热部件(32b)通过将两个以上的分割片(32a)接合而形成为环状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113930841A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111202574.3
申请日：2017-04-19
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供能够实现氧化镓晶体的大型化、高品质化的氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)由具备基体(12)、炉主体(14)、盖体(18)、发热体(20)、坩埚支承轴(24)和坩埚(30)的垂直布里奇曼炉构成，本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)的特征在于，坩埚(30)为Pt系合金制的坩埚，炉主体(14)的内壁形成为由两个以上具有所需高度的环状的耐热部件(32b)层叠而成的耐热壁(32)，并且，环状的耐热部件(32b)通过将两个以上的分割片(32a)接合而形成为环状。
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公开(公告)号：CN108531990A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810132067.9
申请日：2018-02-09
Applicant: 不二越机械工业株式会社 , 国立大学法人信州大学
Abstract: 本发明提供实现发热体的长寿命化、实现成本的降低化的单晶制造装置。本发明的单晶制造装置(10)是在氧化气氛中制造金属氧化物的单晶的单晶制造装置(10)，其具备：基体(12)；配设在该基体(12)上的具有耐热性的筒状的炉主体(14)；将该炉主体(14)封闭的盖体(16)；配设于炉主体(14)内的发热体(20)；利用高频感应加热对该发热体(20)进行加热的高频线圈(22)；以及由发热体(20)进行加热的坩埚(28)，单晶制造装置(10)的特征在于，发热体(20)由Pt系合金构成，在整个面上施有氧化锆涂层。
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公开(公告)号：CN107858753A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201710831003.3
申请日：2017-09-15
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
CPC classification number: C30B29/30 , C30B11/002 , C30B11/003 , C30B11/02
Abstract: 本发明提供钽酸锂晶体的制造装置和钽酸锂晶体的制造方法，该制造装置能够使用铂制坩埚制造高品质的钽酸锂晶体。本发明的钽酸锂晶体的制造装置(10)由垂直布里奇曼炉或垂直梯度凝固炉构成，该垂直布里奇曼炉或垂直梯度凝固炉具备：基体(12)；配设于基体(12)上的具有耐热性的筒状的炉主体(14)；将炉主体(14)封闭的盖体(18)；配设于炉主体(14)内的发热体(20)；贯通基体(12)并以上下自由移动的方式设置的坩埚支承轴(24)；和配设于坩埚支承轴(24)上并由发热体(20)进行加热的坩埚(30)，所述钽酸锂晶体的制造装置(10)的特征在于，坩埚(30)为铂制的坩埚(30)。
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公开(公告)号：CN113930841B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202111202574.3
申请日：2017-04-19
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供能够实现氧化镓晶体的大型化、高品质化的氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)由具备基体(12)、炉主体(14)、盖体(18)、发热体(20)、坩埚支承轴(24)和坩埚(30)的垂直布里奇曼炉构成，本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)的特征在于，坩埚(30)为Pt系合金制的坩埚，炉主体(14)的内壁形成为由两个以上具有所需高度的环状的耐热部件(32b)层叠而成的耐热壁(32)，并且，环状的耐热部件(32b)通过将两个以上的分割片(32a)接合而形成为环状。
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公开(公告)号：CN107304481B
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN201710256274.0
申请日：2017-04-19
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供能够实现氧化镓晶体的大型化、高品质化的氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)由具备基体(12)、炉主体(14)、盖体(18)、发热体(20)、坩埚支承轴(24)和坩埚(30)的垂直布里奇曼炉构成，本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)的特征在于，坩埚(30)为Pt系合金制的坩埚，炉主体(14)的内壁形成为由两个以上具有所需高度的环状的耐热部件(32b)层叠而成的耐热壁(32)，并且，环状的耐热部件(32b)通过将两个以上的分割片(32a)接合而形成为环状。
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