半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN107799652A

    公开(公告)日:2018-03-13

    申请号:CN201710785299.X

    申请日:2017-09-04

    Inventor: 植木诚 长谷卓

    Abstract: 一种半导体器件及其制造方法。具体涉及电阻变化元件,其包括彼此间隔开的第一和第二电极,与第一电极相邻的金属材料层,与金属材料层和第一电极相邻的氧化物层,和连续布置在第二和第一电极之间和在第二电极和氧化物层之间的电阻变化层。电阻变化层由金属氧化物制成。金属材料层由金属或金属化合物制成。氧化物层由形成金属材料层的材料的氧化物制成。第一电极由钌、氧化钌、铱、氧化铱、铂、金或铜制成。形成氧化物层的氧化物的氧化物形成自由能高于形成电阻变化层的氧化物的氧化物形成自由能。

    半导体装置、传感器终端以及半导体装置控制方法

    公开(公告)号:CN109976426A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201811492887.5

    申请日:2018-12-07

    Abstract: 本公开的实施例涉及半导体装置、传感器终端以及半导体装置控制方法。当在操作状态下温度改变时,需要确保在预定操作频率下的操作。半导体装置包括:被施加有衬底偏压的偏压施加部;用于检测温度的温度传感器;以及用于向偏压施加部施加与由温度传感器检测到的温度相对应的衬底偏压的衬底偏压生成器。偏压施加部在由衬底偏压生成器施加衬底偏压时,偏压施加部在操作状态与停止状态之间变换。衬底偏压生成器向偏压施加部施加被配置成在所述温度传感器检测到的温度的条件下、不使用于偏压施加部的操作频率的上限小于预定值的衬底偏压。

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