公开(公告)号：US20060091322A1

公开(公告)日：2006-05-04

申请号：US10978028

申请日：2004-10-29

申请人： Michel Despont ,  Urs Duerig ,  Jane Frommer ,  Bernd Gotsmann ,  James Hedrick ,  Craig Hawker ,  Robert Miller

发明人： Michel Despont ,  Urs Duerig ,  Jane Frommer ,  Bernd Gotsmann ,  James Hedrick ,  Craig Hawker ,  Robert Miller

IPC分类号： G21G5/00 ,  B05D3/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  G01Q80/00 ,  Y10S977/849 ,  Y10S977/85 ,  Y10S977/851 ,  Y10S977/855 ,  Y10S977/857

摘要： A resist medium in which features are lithographically produced by scanning a surface of the medium with an AFM probe positioned in contact therewith. The resist medium comprises a substrate; and a polymer resist layer within which features are produced by mechanical action of the probe. The polymer contains thermally reversible crosslinkages.

摘要翻译： 抗蚀剂介质，其特征是通过用与其接触的AFM探针扫描介质的表面来光刻制造。 抗蚀剂介质包括基底; 以及聚合物抗蚀剂层，其中通过探针的机械作用产生特征。 聚合物含有热可逆交联。

公开(公告)号：US06297502B1

公开(公告)日：2001-10-02

申请号：US09258817

申请日：1999-02-26

申请人： Suzanne Philippa Jarvis ,  Mark Alfred Lantz ,  Urs Duerig

发明人： Suzanne Philippa Jarvis ,  Mark Alfred Lantz ,  Urs Duerig

IPC分类号： G01N1310

CPC分类号： G01Q10/065 ,  G01Q60/38 ,  Y10S977/851 ,  Y10S977/865

摘要： A method for controlling a force acting on a scanning probe of a cantilever by setting bandwidth of a feedback loop constituted by detecting minute displacement of the cantilever and controlling a force of the scanning probe to be greater than a primary resonant frequency of the cantilever.

摘要翻译： 通过设置通过检测悬臂的微小位移构成的反馈回路的带宽并且将扫描探针的力控制为大于悬臂的初级共振频率来控制作用在悬臂的扫描探针上的力的方法。

公开(公告)号：US20070196645A1

公开(公告)日：2007-08-23

申请号：US11358774

申请日：2006-02-21

申请人： Urs Duerig ,  Jane Frommer ,  Bernd Gotsmann ,  Erik Hagberg ,  James Hedrick ,  Armin Knoll ,  Victor Lee ,  Teddie Magbitang ,  Robert Miller ,  Russell Pratt ,  Charles Wade ,  Johannes Windeln

发明人： Urs Duerig ,  Jane Frommer ,  Bernd Gotsmann ,  Erik Hagberg ,  James Hedrick ,  Armin Knoll ,  Victor Lee ,  Teddie Magbitang ,  Robert Miller ,  Russell Pratt ,  Charles Wade ,  Johannes Windeln

IPC分类号： B32B27/00

CPC分类号： G11B9/149 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/1454 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/31721

摘要： An approach is presented for designing a polymeric layer for nanometer scale thermo-mechanical storage devices. Cross-linked polyimide oligomers are used as the recording layers in atomic force data storage device, giving significantly improved performance when compared to previously reported cross-linked and linear polymers. The cross-linking of the polyimide oligomers may be tuned to match thermal and force parameters required in read-write-erase cycles. Additionally, the cross-linked polyimide oligomers are suitable for use in nano-scale imaging.

摘要翻译： 提出了一种用于设计用于纳米级热机械存储装置的聚合物层的方法。 交联聚酰亚胺低聚物用作原子力数据存储装置中的记录层，与先前报道的交联和线性聚合物相比，显着提高了性能。 可以调整聚酰亚胺低聚物的交联以匹配读写擦除周期中所需的热和强度参数。 另外，交联聚酰亚胺低聚物适用于纳米级成像。

公开(公告)号：US20050037560A1

公开(公告)日：2005-02-17

申请号：US10894889

申请日：2004-07-20

申请人： Urs Duerig ,  Bernd Gotsmann ,  Walter Haeberle ,  Mark Lantz

发明人： Urs Duerig ,  Bernd Gotsmann ,  Walter Haeberle ,  Mark Lantz

IPC分类号： G01Q60/24 ,  H01L21/00

CPC分类号： G11B9/1409 ,  B82Y10/00 ,  B82Y35/00 ,  G11B9/149 ,  G11B11/007 ,  Y10T428/24843

摘要： A data storage medium is introduced. The data storage medium from which information is reproduced by scanning a surface of the medium with a tip positioned in contact therewith comprises a recording layer within which data values are determined by the topographical state at the data item location. The material of said recording layer comprises a component that is generating an etchant. The etchant removes the naturally occurring surface oxide layer of the tip which keeps the tip sharp and works against tip wear.

摘要翻译： 引入数据存储介质。 通过用与其接触的尖端扫描介质的表面来再现信息的数据存储介质包括其中数据值由数据项位置处的地形状态确定的记录层。 所述记录层的材料包括产生蚀刻剂的组分。 蚀刻剂去除尖端的天然存在的表面氧化物层，其保持尖端尖锐并且抵抗尖端磨损。

公开(公告)号：US20050281174A1

公开(公告)日：2005-12-22

申请号：US11158844

申请日：2005-06-22

申请人： Bernd Gotsmann ,  Urs Duerig ,  Charalamoos Pozidie ,  Hugo Rothuizen ,  Gerd Binnig

发明人： Bernd Gotsmann ,  Urs Duerig ,  Charalamoos Pozidie ,  Hugo Rothuizen ,  Gerd Binnig

IPC分类号： G11B7/00 ,  G11B7/24 ,  G11B9/00 ,  G11B11/05 ,  G11B11/22 ,  G11B13/00

CPC分类号： G11B9/14 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/1409 ,  G11B9/1445 ,  G11B9/1454 ,  G11B11/05 ,  G11B11/22 ,  G11B13/00 ,  G11B2005/0021

摘要： The present invention provides data storage devices, systems and methods. An example device includes: a storage medium for storing data in the form of marks; and at least one probe. The probe(s) and storage medium are operable to move relative to each other, with each probe comprising a tip facing the storage medium and having a force creating unit associated thereto. The force creating units are operable to create a force acting between the tip and said storage medium. The data storage device is operable to erase an indentation mark in the storage medium by way of controlling the force creating unit for creating at least one erase force pulse with a force rise time being less than or equal to the order of 1 microsecond.

摘要翻译： 本发明提供数据存储装置，系统和方法。 示例性设备包括：用于以标记的形式存储数据的存储介质; 和至少一个探针。 探针和存储介质可操作以相对于彼此移动，其中每个探针包括面向存储介质的尖端并且具有与其相关联的力产生单元。 力产生单元可操作以产生作用在尖端和所述存储介质之间的力。 数据存储装置可操作以通过控制力产生单元来消除存储介质中的凹痕标记，用于产生具有小于或等于1微秒级的力上升时间的至少一个擦除力脉冲。

公开(公告)号：US20050130551A1

公开(公告)日：2005-06-16

申请号：US10501516

申请日：2002-11-21

申请人： Graham Cross ,  Michel Despont ,  Urs Duerig ,  Gregoire Genolet ,  Reto Schlittler

发明人： Graham Cross ,  Michel Despont ,  Urs Duerig ,  Gregoire Genolet ,  Reto Schlittler

IPC分类号： B81B3/00 ,  B82B3/00 ,  C01B31/02 ,  G01B7/34 ,  G01Q70/12 ,  G01Q70/16 ,  G11B9/00 ,  G11C23/00 ,  H01J9/04 ,  H01J9/12

CPC分类号： G11C23/00 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/12 ,  G01Q70/16 ,  G11B9/1409 ,  G11B9/1418 ,  G11C13/025 ,  G11C2213/81 ,  Y10S977/732 ,  Y10S977/733

摘要： A method for forming a microstructures is described. The method comprises: depositing a seed material on a substrate; growing a nanotube from the seed material; depositing microstructure material on the substrate to embed the nanotube in the microstructure material; and, detaching the substrate to release the microstructure. The resulting mictostructure comprises a body portion and a nanotube embedded in the body portion.

摘要翻译： 描述了形成微结构的方法。 该方法包括：将种子材料沉积在基底上; 从种子材料生长纳米管; 将微结构材料沉积在衬底上以将纳米管嵌入微结构材料中; 并且分离基板以释放微结构。 所得到的微结构包括主体部分和嵌入在主体部分中的纳米管。

公开(公告)号：US20050047307A1

公开(公告)日：2005-03-03

申请号：US10652421

申请日：2003-08-29

申请人： Jane Frommer ,  Robert Miller ,  Craig Hawker ,  Urs Duerig ,  Bernd Gotsmann ,  Peter Vettiger ,  Mark Lantz

发明人： Jane Frommer ,  Robert Miller ,  Craig Hawker ,  Urs Duerig ,  Bernd Gotsmann ,  Peter Vettiger ,  Mark Lantz

IPC分类号： G11B9/00 ,  G11B9/10

CPC分类号： G11B9/14 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/1409 ,  G11B9/1472 ,  G11B9/149

摘要： A data storage medium from which information is reproduced by scanning a surface of the medium with a probe-based tip, such as an Atomic Force Microscope (AFM) tip positioned in contact therewith. The medium comprises a substrate; and a polymer recording surface within which data bit values are determined by the topographical state at the bit location. The polymer contains thermally reversible crosslinkages. The data bit value is a function of the depth of the pit at the bit location.

摘要翻译： 一种数据存储介质，通过用诸如与其接触的原子力显微镜（AFM）尖端的基于探针的尖端扫描介质的表面，再现信息。 介质包括基底; 以及聚合物记录表面，其中数据位值由位位置处的形貌状态确定。 聚合物含有热可逆交联。 数据位值是位位置处凹坑深度的函数。

公开(公告)号：US20050018588A1

公开(公告)日：2005-01-27

申请号：US10852668

申请日：2004-05-24

申请人： Urs Duerig ,  Bernd Gotsmann ,  Mark Lantz ,  Peter Vettiger

发明人： Urs Duerig ,  Bernd Gotsmann ,  Mark Lantz ,  Peter Vettiger

IPC分类号： G11B3/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G11B3/001

摘要： A data storage device is introduced. The data storage device comprises a write head. The write head comprises a heating element and a tip. The write head scans a data storage medium, wherein in an operation mode of the data storage device the tip is in contact with a surface of the data storage medium and heat is applied to the tip by means of the heating element. In order to achieve a good thermal contact between the tip and the data storage medium, the tip comprises a carbon element that is at least partially in contact with the surface in that operation mode. Such a write head can also be applied in the field of scanning probe lithography.

摘要翻译： 引入数据存储装置。 数据存储装置包括写头。 写头包括加热元件和尖端。 写头扫描数据存储介质，其中在数据存储设备的操作模式中，尖端与数据存储介质的表面接触，并且借助于加热元件将热量施加到尖端。 为了在尖端和数据存储介质之间实现良好的热接触，尖端包括在该操作模式下至少部分地与表面接触的碳元素。 这样的写头也可以应用于扫描探针光刻领域。

公开(公告)号：US06791433B1

公开(公告)日：2004-09-14

申请号：US09616020

申请日：2000-07-13

申请人： Urs Duerig ,  Peter Bloechl ,  Oliver Folini

发明人： Urs Duerig ,  Peter Bloechl ,  Oliver Folini

IPC分类号： H03H746

CPC分类号： G10L15/02 ,  H04R25/505 ,  H04R2225/43

摘要： Scheme for processing an input signal A(t) by N resonators (17), each having parameters characterizing it, to generate N individual output signals. Then each of the N individual output signals is weighted using a corresponding weight to generate N individual weighted output signals which are superposed to obtain M output signals C(t). One of the parameters or the weight depend on a time signal P(t).

摘要翻译： 用于通过N个谐振器（17）处理输入信号A（t）的方案，每个谐振器具有表​​征其的参数，以产生N个单独的输出信号。 然后使用相应的权重对N个独立输出信号中的每一个进行加权，以产生叠加以获得M个输出信号C（t）的N个个体加权输出信号。 参数或重量之一取决于时间信号P（t）。

公开(公告)号：US20080013437A1

公开(公告)日：2008-01-17

申请号：US11332137

申请日：2006-01-13

申请人： Thomas Albrecht ,  Michel Despont ,  Urs Duerig ,  Mark Lantz ,  Hugo Rothuizen ,  Dorothea Wiesmann Rothuizen

发明人： Thomas Albrecht ,  Michel Despont ,  Urs Duerig ,  Mark Lantz ,  Hugo Rothuizen ,  Dorothea Wiesmann Rothuizen

IPC分类号： G11B3/00

CPC分类号： G01Q70/14 ,  G01Q80/00 ,  G11B9/1409 ,  G11B11/007

摘要： A data storage device comprises a storage medium for storing data in the form of marks and at least one probe for scanning the storage medium. The storage medium may be comprised in a substrate. The probe comprises a cantilever that comprises terminals serving as electrical contacts an being during operation of the probe mechanically fixed to a probe-holding structure, which may be a common frame of the data storage device. A probe further comprises a supporting structure, to which the terminals are mechanically directly coupled or coupled via hinges and which extends away from the terminals. A tip with a nanoscale apex is provided. A beam structure comprises a heating resistor and is attached at ends to the supporting structure. The beam structure is thinned at least in a direction parallel to an axis of the tip compared to an area of the supporting structure abutting the beam structure.

摘要翻译： 数据存储装置包括用于以标记形式存储数据的存储介质和用于扫描存储介质的至少一个探针。 存储介质可以包含在基板中。 探头包括悬臂，其包括用作电触点的端子，所述端子在机械地固定到探头保持结构的探头的操作期间，探头保持结构可以是数据存储装置的公共框架。 探头还包括支撑结构，端子通过铰链机械地直接联接或耦合到该支撑结构，并且远离端子延伸。 提供具有纳米级顶点的尖端。 梁结构包括加热电阻器，并且在端部附接到支撑结构。 与支撑结构邻接梁结构的区域相比，梁结构至少在平行于尖端的轴线的方向上变薄。