多晶硅棒及其制造装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102300808B

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN201080005912.8

    申请日:2010-02-23

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本发明提供多晶硅棒及其制造装置。该多晶硅棒可用于浮动区域硅精炼法(FZ法)或者切克劳斯基单晶生长法(CZ法)的再装填,直胴部成为容易输送的形状,输送性优良。该多晶硅棒利用化学气相析出法使硅在由立设在电极上的一对硅棒和将硅棒的一端连结起来的架桥线构成的硅芯材上析出并生长而获得,在立设在电极上的上述硅棒的直胴部上沿长度方向具有直径分布,最小直径被调整为最大直径的60~95%的大小。