用于石墨烯与绝缘体和器件的集成的石墨烯氟化作用

    公开(公告)号:CN106463478B

    公开(公告)日:2020-10-02

    申请号:CN201480078805.6

    申请日:2014-06-13

    Abstract: 本公开内容的实施例描述了包括氟化的石墨烯的层的多层石墨烯组件、包含这样的结构的管芯和系统、以及制造的方法。氟化的石墨烯向其它石墨烯层提供了绝缘界面,同时维持非氟化的石墨烯层的期望的特性。所述组件为在集成电路器件中利用石墨烯以及将石墨烯与其它材料界面接合提供新的选项。可以描述和/或要求保护其它实施例。

Patent Agency Ranking