通过多频率运行进行多次分析处理的转速传感器及其方法

    公开(公告)号:CN107850431B

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN201680042101.2

    申请日:2016-05-24

    Abstract: 本发明涉及一种转速传感器,具有带有主延伸平面的衬底、至少一个相对于所述衬底能运动的第一结构、至少一个相对于所述衬底并且相对于所述第一结构能运动的第二结构、至少一个相对于所述衬底并且相对于所述第一结构并且相对于第二结构能运动的第三结和至少一个相对于所述衬底并且相对于所述第一结构并且相对于所述第二结构并且相对于所述第三结构能运动的第四结构,其特征在于,所述转速传感器如此包括驱动装置用于使所述第一结构从所述第一结构的静止位置中基本上平行于驱动方向地偏移并且用于使所述第二结构从所述第二结构的静止位置中基本上平行于所述驱动方向地偏移并且用于使所述第三结构从所述第三结构的静止位置中基本上平行于所述驱动方向地偏移并且用于使所述第四结构从所述第四结构的静止位置中基本上平行于所述驱动方向地偏移,使得所述第一结构和所述第四结构能够在第一频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于所述第二结构和所述第三结构基本上反相地振动,其中,所述第一结构和所述第二结构能够在第二频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于所述第三结构和所述第四结构基本上反相地振动。

    具有分体式中心转动件的多轴转速传感器

    公开(公告)号:CN106352866B

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN201610559524.3

    申请日:2016-07-15

    Abstract: 本发明涉及转速传感器,包括基底、第一驱动结构、第二驱动结构、第一探测结构、第二探测结构、第三探测结构和第四探测结构。该转速传感器包括驱动装置,用于使第一和第二驱动结构从静止位置偏出从而使得它们能被激励成具有基本反相的运动分量的振动。第一和第二探测结构借助耦合结构耦合,使得在第一转速和/或在第二转速的情况下能够探测基本垂直于驱动方向作用到第一探测结构上的第一力作用和作用到第二探测结构上的第二力作用,第一和第二力作用基本反相,第三和第四探测结构借助于耦合结构耦合,使得在第二转速和/或在第三转速的情况下能探测基本垂直于主延伸平面作用到第三探测结构上的第三力作用和作用到第四探测结构上的第四力作用。

    用于确定角误差的方法和光发射设备

    公开(公告)号:CN107179059B

    公开(公告)日:2020-11-17

    申请号:CN201710146678.4

    申请日:2017-03-13

    Abstract: 本发明涉及一种用于在测量可摆转的光偏转装置的摆转角时确定角误差的方法,所述方法具有以下步骤:发射夹成光束角的第一光束和第二光束到所述光偏转装置上;接收由所述光偏转装置偏转的并且由对象反射的第一光束和第二光束;计算所述第一光束的第一传播路程和所述第二光束的第二传播路程;将所述光偏转装置从初始状态直至最终状态摆转,其中,测量所述光偏转装置的相应摆转角并且确定所述第一传播路程与测量到的摆转角的相关性;并且在使用所述光束角、所述第二传播路程和所述第一传播路程与所测摆转角的相关性的情况下,为所测摆转角的集合中的待修正的所测摆转角计算角误差。

    运行器设备、电容式传感器和运行电容式传感器的方法

    公开(公告)号:CN118049981A

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202311529047.2

    申请日:2023-11-16

    Abstract: 本发明涉及一种用于电容式传感器的运行器设备,所述运行器设备具有电子装置,借助所述电子装置,在考虑至少第一恒定电压、在在所述振动质量与所述至少一个电极之间施加第一恒定电压的情况下所述振动质量的第一谐波振荡沿着与所述振动质量和所述至少一个电极在中心相交的空间方向的第一固有频率、第二恒定电压和在在所述振动质量与所述至少一个电极之间施加第二恒定电压的情况下所述振动质量的第二谐波振荡沿着与所述振动质量和所述至少一个电极在中心相交的空间方向的第二固有频率的情况下,能够决定所述振动质量与所述至少一个电极之间的实际间隙间距和/或关于所述电容式传感器的敏感度的实际参量。

    具有三个敏感轴的转速传感器以及制造转速传感器的方法

    公开(公告)号:CN104280565B

    公开(公告)日:2019-11-05

    申请号:CN201410457665.5

    申请日:2014-06-24

    Abstract: 一种用于探测转速传感器的转动运动的转速传感器,其中,所述转速传感器具有第一传感器结构、第二传感器结构以及驱动结构,所述第一传感器结构具有第一振动质量,所述第二传感器结构具有第二振动质量,所述驱动结构与所述第一振动质量和所述第二振动质量耦合,其中,所述第一传感器结构配置用于探测围绕第一旋转轴的第一转速,并且所述第二传感器结构配置用于探测围绕第二旋转轴的第二转速,其中,能够驱动所述第一振动质量进行沿着第一振动方向的第一驱动振动,其中,能够驱动所述第二振动质量进行沿着不同于所述第一振动方向的第二振动方向的第二驱动振动,其中,所述第一旋转轴垂直于所述第一振动方向地布置,并且所述第二旋转轴垂直于所述第二振动方向地布置,其特征在于,所述第二传感器结构配置用于探测围绕不同于所述第二旋转轴的并且垂直于所述第二振动方向的第三旋转轴的第三转速。

    用于检测对象的激光雷达传感器

    公开(公告)号:CN110312947A

    公开(公告)日:2019-10-08

    申请号:CN201880012797.3

    申请日:2018-02-07

    Abstract: 一种用于检测周围环境中的对象的激光雷达传感器,以及一种用于控制激光雷达传感器的方法,其中,所述激光雷达传感器具有光源(101)、偏转镜(104)和光学接收器(102),所述光源用于发射电磁辐射,所述偏转镜用于将所发射的电磁辐射(105)偏转至少一个角(109)作为经偏转的所发射的电磁辐射(105-1)到所述周围环境中,所述光学接收器用于接收已经由对象反射的电磁辐射(106)。本发明的核心在于,所述光学接收器(107)具有留空区域(103),其中,所述留空区域(103)布置在所述光源(101)的主射束轴线(108)上。

    具有带有主延伸平面的衬底的用于探测转速的转速传感器

    公开(公告)号:CN105324634B

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201480026951.4

    申请日:2014-05-14

    CPC classification number: G01C19/5705 G01C19/5719 G01C19/574 G01C19/5747

    Abstract: 提出具有衬底的用于探测转速的转速传感器,包括初级振动质量块对和次级振动质量块对,初级振动质量块对具有第一初级质量块和第二初级质量块,次级振动质量块对具有第一次级质量块和第二次级质量块,第一初级质量块和第二初级质量块朝向彼此沿着初级偏转方向相对于衬底运动,第一次级质量块和第二次级质量块沿着次级偏转方向相对于衬底运动,第一和第二初级质量块及第一和第二次级质量块反平行地或彼此平行地根据相应的偏转方向运动,其中,主偏转方向垂直于次级偏转方向延伸,初级振动质量块对和/或次级振动质量块对被驱动,使得转速传感器旋转时科里奥利力引起第一初级质量块和第二初级质量块和/或第一次级质量块和第二次级质量块的偏转。

    用于确定角误差的方法和光发射设备

    公开(公告)号:CN107179059A

    公开(公告)日:2017-09-19

    申请号:CN201710146678.4

    申请日:2017-03-13

    Abstract: 本发明涉及一种用于在测量可摆转的光偏转装置的摆转角时确定角误差的方法,所述方法具有以下步骤:发射夹成光束角的第一光束和第二光束到所述光偏转装置上;接收由所述光偏转装置偏转的并且由对象反射的第一光束和第二光束;计算所述第一光束的第一传播路程和所述第二光束的第二传播路程;将所述光偏转装置从初始状态直至最终状态摆转,其中,测量所述光偏转装置的相应摆转角并且确定所述第一传播路程与测量到的摆转角的相关性;并且在使用所述光束角、所述第二传播路程和所述第一传播路程与所测摆转角的相关性的情况下,为所测摆转角的集合中的待修正的所测摆转角计算角误差。

    微机械式旋转速率传感器
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101963505B

    公开(公告)日:2014-10-15

    申请号:CN201010236921.X

    申请日:2010-07-21

    CPC classification number: G01C19/5712 G01C19/5747

    Abstract: 本发明提供一种微机械式旋转速率传感器(100,200,300,400,500),具有:第一旋转速率传感器元件(20),它输出第一传感器信号(S1),该第一传感器信号含有关于绕第一旋转轴的旋转的信息;第二旋转速率传感器元件(30),它输出第二传感器信号(S2),该第二传感器信号含有关于绕第二旋转轴的旋转的信息,该第二旋转轴垂直于该第一旋转轴;驱动装置(10),它驱动所述第一旋转速率传感器元件(20);和耦合部件(40),它使所述第一旋转速率传感器元件(20)和所述第二旋转速率传感器元件(30)机械地相互耦合,使得对所述第一旋转速率传感器元件(20)的驱动也引起对所述第二旋转速率传感器元件(30)的驱动。

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