-
公开(公告)号：CN110383027B
公开(公告)日：2021-12-21
申请号：CN201880015292.2
申请日：2018-02-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械压力传感器(100)，所述微机械压力传感器具有：‑压力传感器芯(10)，该压力传感器芯具有传感器膜片(14)和构造在所述传感器膜片(14)上方的腔(11)；和‑压力传感器框架(20)；其中，‑用于将所述压力传感器芯(10)机械附接到所述压力传感器框架(20)上的弹簧元件(15)这样构造，使得机械稳固性最大化并且从所述压力传感器框架(20)到所述压力传感器芯(10)上的应力耦入最小化。
-
公开(公告)号：CN110383027A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880015292.2
申请日：2018-02-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械压力传感器(100)，所述微机械压力传感器具有：-压力传感器芯(10)，该压力传感器芯具有传感器膜片(14)和构造在所述传感器膜片(14)上方的腔(11)；和-压力传感器框架(20)；其中，-用于将所述压力传感器芯(10)机械附接到所述压力传感器框架(20)上的弹簧元件(15)这样构造，使得机械稳固性最大化并且从所述压力传感器框架(20)到所述压力传感器芯(10)上的应力耦入最小化。
-
公开(公告)号：CN105324634B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201480026951.4
申请日：2014-05-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5705 , G01C19/5719 , G01C19/574 , G01C19/5747
Abstract: 提出具有衬底的用于探测转速的转速传感器，包括初级振动质量块对和次级振动质量块对，初级振动质量块对具有第一初级质量块和第二初级质量块，次级振动质量块对具有第一次级质量块和第二次级质量块，第一初级质量块和第二初级质量块朝向彼此沿着初级偏转方向相对于衬底运动，第一次级质量块和第二次级质量块沿着次级偏转方向相对于衬底运动，第一和第二初级质量块及第一和第二次级质量块反平行地或彼此平行地根据相应的偏转方向运动，其中，主偏转方向垂直于次级偏转方向延伸，初级振动质量块对和/或次级振动质量块对被驱动，使得转速传感器旋转时科里奥利力引起第一初级质量块和第二初级质量块和/或第一次级质量块和第二次级质量块的偏转。
-
公开(公告)号：CN105347293A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201510644000.X
申请日：2015-07-30
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01C19/5712 , G01C19/5621 , G01C19/5656 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , G01P15/125 , B81B7/02 , B81B3/0054 , B81C1/00658
Abstract: 一种微机械传感器，其具有衬底和可相对于所述衬底运动的质量元件，衬底具有主延伸面，可运动的质量元件通过弹簧结构与衬底耦合，弹簧结构具有第一和第二弹簧元件，第一和第二弹簧元件逐段地基本上彼此平行地延伸并且逐段地彼此耦合，弹簧结构包括用于正交补偿的第一和第二补偿元件，第一补偿元件与第一弹簧元件连接，第二补偿元件与第二弹簧元件连接，第一弹簧元件具有沿着横向方向延伸的第一弹簧结构宽度，第二弹簧元件具有沿着所述横向方向延伸的第二弹簧结构宽度，第一补偿元件在第一部分区域中平行于所述横向方向沿着第一宽度延伸，第二补偿元件在第二部分区域中平行于所述横向方向沿着第二宽度延伸。
-
公开(公告)号：CN119176517A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202410806262.0
申请日：2024-06-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械装置，包括具有主延伸平面(x、y)的衬底(1)，在所述衬底上的薄的第一功能层(5)，在所述第一功能层上的厚的第二功能层(10)，其中，在所述第二功能层中形成固定的功能元件(110)和能运动的功能元件(120)，其中，所述能运动的功能元件能够在平行于所述主延伸平面的第一方向上偏转。本发明的核心在于，所述微机械装置在所述第一功能层中具有固定的止挡元件(51)，所述能运动的功能元件也在所述第一功能层中形成，并且在那里具有能运动的止挡元件(52)，其中，所述能运动的止挡元件能够在所述能运动的功能元件沿第一方向偏转时作用到所述固定的止挡元件上。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110642218B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN201910566253.8
申请日：2019-06-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5733 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件(1)，尤其是转速传感器，具有具有主延伸平面的衬底(10)和至少一个质量振子(12)，质量振子(12)通过一个或多个弹簧元件(13)相对于衬底(10)能振动地支承，其中，至少一个弹簧元件(13)具有第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)，第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)在垂直于主延伸平面的垂直方向(18)上叠置地布置并且在该垂直方向(18)上彼此间隔开。本发明涉及一种制造微机械构件(1)的方法。
-
公开(公告)号：CN111164400B
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN201880064494.6
申请日：2018-07-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械压力传感器设备和一种相应的制造方法。所述微机械压力传感器设备配备有：第一膜片(3)和邻接到该第一膜片上的第一腔(4)；布置在所述第一膜片(3)中和/或上的第一弯曲感测装置(6)，该第一弯曲感测装置用于感测所述第一膜片(3)的由于作用在该第一膜片上的外部压力变化并且由于所述压力传感器设备的内部机械弯曲所引起的弯曲；第二膜片(9)和邻接到该第二膜片上的第二腔(5)；和布置在所述第二膜片(9)中和/或上的第二弯曲感测装置(11)，该第二弯曲感测装置用于感测所述第二膜片(9)的由于所述压力传感器设备的所述内部机械弯曲所引起的弯曲；其中，所述第二膜片(9)这样构型，使得所述第二膜片不能由于所述外部压力变化而弯曲。
-
公开(公告)号：CN107797274B
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN201710799383.7
申请日：2017-09-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明实现用于光的二维偏转的一种微机械装置和一种方法。该装置具有：反射镜组件(12)，该反射镜组件具有用于使照射到反射镜面(13)上的光偏转的反射镜面(13)；其中，反射镜组件(12)能够围绕第一轴线(D1)旋转地布置在第一框架组件(14)内部并且固定在第一框架组件(14)上；其中，第一框架组件(14)能够围绕第二轴线(D2)旋转地布置在致动结构(16)内部并且固定在致动结构(16)上；其中，致动结构(16)具有至少四个压电致动组件(18‑i)；其中，至少四个压电致动组件(18‑i)的位置不仅关于第一轴线(D1)而且关于第二轴线(D2)对称地布置。
-
公开(公告)号：CN111164400A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201880064494.6
申请日：2018-07-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械压力传感器设备和一种相应的制造方法。所述微机械压力传感器设备配备有：第一膜片(3)和邻接到该第一膜片上的第一腔(4)；布置在所述第一膜片(3)中和/或上的第一弯曲感测装置(6)，该第一弯曲感测装置用于感测所述第一膜片(3)的由于作用在该第一膜片上的外部压力变化并且由于所述压力传感器设备的内部机械弯曲所引起的弯曲；第二膜片(9)和邻接到该第二膜片上的第二腔(5)；和布置在所述第二膜片(9)中和/或上的第二弯曲感测装置(11)，该第二弯曲感测装置用于感测所述第二膜片(9)的由于所述压力传感器设备的所述内部机械弯曲所引起的弯曲；其中，所述第二膜片(9)这样构型，使得所述第二膜片不能由于所述外部压力变化而弯曲。
-
公开(公告)号：CN105209857B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201480028191.0
申请日：2014-05-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712
CPC classification number: G01C19/5712
Abstract: 本发明提出一种转速传感器，其用于探测转速传感器围绕旋转轴线的旋转运动，其中旋转轴线在转速传感器的驱动平面内延伸，其中转速传感器具有第一旋转元件、第二旋转元件和能够平行于驱动平面运动的驱动结构，其中第一旋转元件可以围绕第一旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第一旋转振动，其中第二旋转元件可以围绕第二旋转中心被驱动成平行于驱动平面的第二旋转振动，其特征在于，驱动结构与第一旋转元件并且与第二旋转元件耦合，其中驱动结构配置用于产生第一旋转振动与第二旋转振动的相反相位的驱动模式。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
19
records
(took 0.024 seconds)
