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公开(公告)号：CN103512571B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201310246606.9
申请日：2013-06-20
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5747
摘要： 提出一种转速传感器，其中转速传感器的第一科里奥利质量具有第一和第二分区，转速传感器的第二科里奥利质量具有第三和第四分区，在第一分区对面设置与其构成第一电容的第一电极，在第二分区对面设置与其构成第二电容的第二电极，在第三分区对面设置与其构成第三电容的第三电极，在第四分区对面设置与其构成第四电容的第四电极，第一和第二科里奥利质量在衬底或驱动装置上的连接和各电极的布置和构造使得在围绕第一方向的旋转加速度下通过各分区的与探测方向平行的偏转或对各分区的与探测方向平行的力作用引起的第一和第三电容以及第二和第四电容的变化或者第一和第二电容以及第三和第四电容的变化相互补偿。
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公开(公告)号：CN105530576A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510657196.6
申请日：2015-10-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
发明人： R·舍本
IPC分类号： H04R17/04
摘要： 提出一种方案，该方案能够实现具有非常好的SNR、高的话筒灵敏度和大的频率带宽的MEMS话筒结构元件。MEMS结构元件的话筒结构以层结构实现并且包括至少一个声压敏感的膜(210)、可透声的对应元件(220)和用于感测膜偏转的电容器装置，其中，所述膜(210)和所述对应元件(220)在层结构中上下相叠地并且相互间隔开地布置，并且分别配备有所述电容器装置的至少一个电极。根据本发明，所述膜(210)的所述层结构包括至少一个封闭的薄层(1)和至少一个结构化的厚层(2)，其中，在该厚层(2)中构造有覆盖整个膜表面的网栅结构(100)，该网栅结构确定所述膜(210)的刚性。
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公开(公告)号：CN104902411A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510093841.6
申请日：2015-03-03
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： H04R19/04
CPC分类号： H04R1/08 , B81B7/0061 , B81B7/02 , B81B2201/0257 , B81B2207/012 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H04R1/028 , H04R1/04 , H04R3/00 , H04R2201/003 , H01L2924/00014
摘要： 本发明提出一种用于成本上有利地以及节省空间地实现具有声学上高品质的麦克风功能并且具有至少一个另外的需要介质加载的传感器功能的多传感器模块的方案。所述部件包括至少一个MEMS麦克风构件，其在壳体内安装在至少一个构造在壳体壁中的声孔之上，从而MEMS麦克风构件的麦克风结构的声压加载通过声孔实现并且壳体内部空间作为用于麦克风结构的背侧容积起作用。在麦克风结构中构造有至少一个用于麦克风结构的前侧与背侧之间的缓慢的压力均衡的泄漏路径。根据本发明，在壳体内设置有至少一个另外的MEMS传感器构件，其传感器功能需要介质加载。介质加载通过MEMS麦克风构件的麦克风结构中的至少一个泄漏路径实现。
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公开(公告)号：CN114252652A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111113108.8
申请日：2021-09-23
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： G01P15/08
摘要： 本发明涉及微机械结构及微机械传感器，该微机械结构具有衬底和可相对于衬底运动的震动质量及探测装置和主弹簧。震动质量借助主弹簧与衬底连接。第一方向和垂直于此的第二方向定义衬底主延伸平面。探测装置设置为探测震动质量偏移并具有固定在震动质量上的第一电极和固定在衬底上的第二电极。第一和第二电极在第一和第二方向上具有二维延伸。微机械结构还具有交错的止挡结构，其具有第一、第二弹簧止挡和固定止挡。止挡结构如此构型，使得在震动质量的至少一部分在垂直于第一和第二方向的第三方向上运动超出运行范围时第一弹簧止挡首先机械接触，在进一步运动时第二弹簧止挡随后机械接触，在进一步运动时固定止挡随后机械接触。
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公开(公告)号：CN106375919B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201610584852.9
申请日：2016-07-22
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 提出一些措施，通过这些措施能够符合目的地减小MEMS构件的膜片结构内的机械应力，此外这些措施还使得膜片元件能具有与芯片面积相比较大的膜片面积。该膜片元件构造在MEMS构件的层结构中。该膜片元件覆盖该层结构中的开口并且通过弹簧结构连接到该层结构上。该弹簧结构包括至少一个第一弹簧部件，其基本上平行于该膜片元件取向并且构造在该膜片元件下方的层平面中。该弹簧结构还包括至少一个第二弹簧部件，其基本上垂直于该膜片元件取向。该弹簧结构这样设计，使得该膜片元件的面积大于该膜片元件覆盖的开口的面积。
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公开(公告)号：CN105324634B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201480026951.4
申请日：2014-05-14
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： G01C19/5747
CPC分类号： G01C19/5705 , G01C19/5719 , G01C19/574 , G01C19/5747
摘要： 提出具有衬底的用于探测转速的转速传感器，包括初级振动质量块对和次级振动质量块对，初级振动质量块对具有第一初级质量块和第二初级质量块，次级振动质量块对具有第一次级质量块和第二次级质量块，第一初级质量块和第二初级质量块朝向彼此沿着初级偏转方向相对于衬底运动，第一次级质量块和第二次级质量块沿着次级偏转方向相对于衬底运动，第一和第二初级质量块及第一和第二次级质量块反平行地或彼此平行地根据相应的偏转方向运动，其中，主偏转方向垂直于次级偏转方向延伸，初级振动质量块对和/或次级振动质量块对被驱动，使得转速传感器旋转时科里奥利力引起第一初级质量块和第二初级质量块和/或第一次级质量块和第二次级质量块的偏转。
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公开(公告)号：CN103776437B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201310511795.8
申请日：2013-10-25
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： G01C19/5712 , B81B3/00 , B81B7/02
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： 本发明涉及一种微机械结构，特别是转速传感器，其具有衬底，衬底具有主延伸平面，微机械机构用于探测绕垂直于主延伸平面延伸的第一方向的第一转速、用于探测绕平行于主延伸平面延伸的第二方向的第二转速并且用于探测绕平行于主延伸平面并且垂直于第二方向延伸的第三方向的第三转速，微机械结构具有被驱动绕平行于第一方向的旋转轴线进行扭转振动的扭转振动元件，微机械结构还具有用于探测第一转速的转速传感器装置，扭转振动元件在平行于主延伸平面的平面中完全环绕转速传感器装置，微机械结构具有转速传感器装置在扭转振动元件处的至少一个第一连接件，其特征在于，微机械结构具有转速传感器装置在衬底处的至少一个第二连接件。
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公开(公告)号：CN102735229B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201210088784.9
申请日：2012-03-29
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： G01C19/5656
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： 本发明涉及一种具有第一科氏元件和第二科氏元件的旋转速率传感器和用于运行该旋转速率传感器的方法，其中，所述旋转速率传感器具有带有主延伸平面的衬底，所述旋转速率传感器具有用于平行于第二轴驱动所述第一科氏元件的第一驱动元件，所述旋转速率传感器具有用于平行于第二轴驱动所述第二科氏元件的第二驱动元件，所述旋转速率传感器具有用于检测所述第一科氏元件和所述第二科氏元件由于科氏力而平行于第一轴的偏转的检测装置，所述第二轴垂直于所述第一轴设置，所述第一轴和所述第二轴平行于所述主延伸平面设置，并且所述第一驱动元件和所述第二驱动元件通过驱动耦合元件机械地相互耦合。
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公开(公告)号：CN103630127A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201310165983.X
申请日：2013-05-08
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： G01C19/5733 , G01C19/5747
CPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5747
摘要： 本发明涉及转速传感器，其衬底具有主延伸平面，用于探测围绕或与主延伸平面平行地或垂直地延伸的第一方向的转速，转速传感器具有驱动装置、第一和第二科里奥利质量，第一科里奥利质量的至少一部分和第二科里奥利质量的至少一部分在围绕第一方向的转速的情况下经受与垂直于驱动方向和第一方向延伸的探测方向平行的科里奥利加速度，转速传感器具有第一和第二均衡质量，第一均衡质量通过衬底上的第一连接件具有与第一科里奥利质量的耦合并且第二均衡质量通过衬底上的第二连接件具有与第一科里奥利质量的耦合，第一科里奥利质量的由科里奥利加速度引起的与探测方向平行的偏转导致第一和第二均衡质量的分别反向的偏转。
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公开(公告)号：CN112334779B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201980041550.9
申请日：2019-06-06
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： G01P1/00 , G01P1/02 , G01P15/125 , G01P21/00 , B81B5/00 , G01C19/5783 , G01L9/12 , G01P15/08
摘要： 本发明涉及微机械传感器(100)，具有：‑衬底(10)；‑布置在所述衬底(10)上的罩元件(20)；和‑至少一个垂直于所述罩元件(20)能偏移的振动质量(40)，其中，在腔(30)内部出现相对于周围环境限定下降的内压；其特征在于，‑设有补偿件，该补偿件构造成用于在所述微机械传感器(100)的运行中提供在所述腔(30)中的温度梯度场的均衡。
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