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公开(公告)号：CN117630413A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311138391.9
申请日：2023-09-01
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： C·纳格尔
IPC: G01P15/08 , G01P15/097
Abstract: 传感器组件(1)具有衬底(2)、振动质量(5)和布置在所述衬底(2)与所述振动质量(5)之间的功能层(14)。所述振动质量(5)与所述衬底(2)连接，使得所述振动质量(5)能够至少沿着第一方向偏移，所述第一方向垂直于所述衬底(2)伸展。在所述功能层(14)内并且在所述振动质量(5)与所述衬底(2)之间构造有至少一个止挡(16)，所述止挡弹动地构造并且能够沿着所述第一方向偏移。
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公开(公告)号：CN110088606B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN201780078649.7
申请日：2017-10-23
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提出一种用于感测测量气体的至少一个特性、尤其用于感测测量气体室中的测量气体的颗粒的传感器。传感器包括至少一个传感器元件，该传感器元件具有载体和与载体连接并且能暴露给测量气体的测量电极。传感器还具有至少一个控制装置，该控制装置具有至少一个特性测量装置。特性测量装置与测量电极的至少一个第一端部连接并且设置成用于感测至少一个电信号。传感器还具有至少一个限流电阻，该限流电阻与测量电极的至少一个第二端部连接。传感器还具有至少一个电势源，该电势源通过限流电阻与第二端部连接并且设置成用于给第二端部加载以能变化的电势。
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公开(公告)号：CN112983611A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011437863.7
申请日：2020-12-11
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于SCR催化净化器的诊断方法，在该SCR催化净化器中根据两个积分之商来确定（26）该SCR催化净化器的储存效率。第一积分是经建模的在SCR催化净化器下游的氮氧化物量与所测量到的在SCR催化净化器下游的氮氧化物量和氨量之和的差的积分。第二积分是被配料到SCR催化净化器中的氨量或者被过量配料到SCR催化净化器中的氨量的积分。
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公开(公告)号：CN113365937A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080011763.X
申请日：2020-01-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： C·纳格尔
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明提供一种MEMS传感器，该MEMS传感器包括衬底、至少三个功能层，所述功能层上下相叠地并且彼此间隔开地与衬底连接，并且其中，至少三个功能层中的第一功能层以能够偏移的方式布置，其中，在第一功能层处布置有第一电极，该第一电极具有至少两个区域，其中，第一电极的第一区域与至少三个功能层中的第二功能层的第二电极形成第一电容，并且其中，第一电极的第二区域与第三功能层的第三电极的至少一个区域形成第二电容，并且其中，这样布置电极，使得在第一电容的电极的间距改变时，以相反的方式改变第二电容的电极的间距。
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公开(公告)号：CN111807311A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010284231.5
申请日：2020-04-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及用于电容式传感器设备的微机械构件，其具有衬底(10)；由直接或间接布置在衬底(10)上的第一半导体层和/或金属层(16)形成的固定的第一电极(12)；和相对于第一电极(12)能调节的借助膜片(22)悬置在第一电极(12)上方的第二电极(14)，至少第二电极(14)由第二半导体层和/或金属层(24)形成，第二半导体层和/或金属层布置在第一半导体层和/或金属层(16)的离开衬底(10)指向的侧上，盖装置(26)覆盖膜片(22)，盖装置(26)由第三半导体层和/或金属层(28)形成，其布置在第二半导体层和/或金属层(24)的离开衬底(10)指向的侧上。本发明也涉及电容式传感器设备和用于微机械构件和电容式传感器设备的制造方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113365937B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202080011763.X
申请日：2020-01-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： C·纳格尔
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明提供一种MEMS传感器，该MEMS传感器包括衬底、至少三个功能层，所述功能层上下相叠地并且彼此间隔开地与衬底连接，并且其中，至少三个功能层中的第一功能层以能够偏移的方式布置，其中，在第一功能层处布置有第一电极，该第一电极具有至少两个区域，其中，第一电极的第一区域与至少三个功能层中的第二功能层的第二电极形成第一电容，并且其中，第一电极的第二区域与第三功能层的第三电极的至少一个区域形成第二电容，并且其中，这样布置电极，使得在第一电容的电极的间距改变时，以相反的方式改变第二电容的电极的间距。
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公开(公告)号：CN119374578A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202410986814.0
申请日：2024-07-23
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C21/16 , B81B7/02 , G01P15/125
Abstract: 提出了一种微机械惯性传感器及用于其运行的方法，所述微机械惯性传感器至少包括：传感器元件；具有基体平面的基体；检测装置，用于检测由于传感器元件围绕基本上平行于基体平面延伸的旋转轴倾斜或变形而产生的机械偏转，其中，由于倾斜或变形而产生的机械偏转沿着基本上垂直于基体平面延伸的检测方向产生，其中，检测装置具有牢固地与基体锚固的第一电极结构和第二电极结构，其中，检测装置由检测到的传感器元件围绕旋转轴的机械倾斜或变形产生测量信号。
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公开(公告)号：CN119224372A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202410852826.4
申请日：2024-06-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P15/097 , G01P1/00 , G01P21/00
Abstract: 本发明涉及一种微机电加速度传感器(1)，具有衬底(2)、第一传感器芯(4)和第二传感器芯(5)。传感器芯(4、5)侧向彼此并排地布置在所述衬底(2)的上侧(3)上并且分别具有振动质量(6)、固定电极(7)和可运动电极(8)。固定电极(7)布置在所述衬底(2)的上侧(3)上。可运动电极(8)与振动质量(6)固定地连接。所述固定电极(7)和所述可运动电极(8)垂直于所述衬底(2)并且相互平行延伸地布置并且直接相邻的固定电极(7)和可运动电极(8)分别形成电容器(9)。振动质量(6)分别通过弹簧元件(10)和锚定部(11)悬挂在所述衬底(2)之上，使得所述振动质量(6)能够沿平行于所述衬底(2)和垂直于所述固定电极(7)的第一方向偏转。所述振动质量(6)分别沿偏转方向并且在至少一个固定元件(22)的相对侧上与所述固定元件(22)具有不同的距离。所述第一传感器芯(4)和所述第二传感器芯(5)相同地构造并且所述第二传感器芯(5)相对于所述第一传感器芯(4)具有180°的方位角偏移。
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公开(公告)号：CN111807311B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202010284231.5
申请日：2020-04-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及用于电容式传感器设备的微机械构件，其具有衬底(10)；由直接或间接布置在衬底(10)上的第一半导体层和/或金属层(16)形成的固定的第一电极(12)；和相对于第一电极(12)能调节的借助膜片(22)悬置在第一电极(12)上方的第二电极(14)，至少第二电极(14)由第二半导体层和/或金属层(24)形成，第二半导体层和/或金属层布置在第一半导体层和/或金属层(16)的离开衬底(10)指向的侧上，盖装置(26)覆盖膜片(22)，盖装置(26)由第三半导体层和/或金属层(28)形成，其布置在第二半导体层和/或金属层(24)的离开衬底(10)指向的侧上。本发明也涉及电容式传感器设备和用于微机械构件和电容式传感器设备的制造方法。
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公开(公告)号：CN114252652A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111113108.8
申请日：2021-09-23
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明涉及微机械结构及微机械传感器，该微机械结构具有衬底和可相对于衬底运动的震动质量及探测装置和主弹簧。震动质量借助主弹簧与衬底连接。第一方向和垂直于此的第二方向定义衬底主延伸平面。探测装置设置为探测震动质量偏移并具有固定在震动质量上的第一电极和固定在衬底上的第二电极。第一和第二电极在第一和第二方向上具有二维延伸。微机械结构还具有交错的止挡结构，其具有第一、第二弹簧止挡和固定止挡。止挡结构如此构型，使得在震动质量的至少一部分在垂直于第一和第二方向的第三方向上运动超出运行范围时第一弹簧止挡首先机械接触，在进一步运动时第二弹簧止挡随后机械接触，在进一步运动时固定止挡随后机械接触。
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