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公开(公告)号：CN106375919B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201610584852.9
申请日：2016-07-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 提出一些措施，通过这些措施能够符合目的地减小MEMS构件的膜片结构内的机械应力，此外这些措施还使得膜片元件能具有与芯片面积相比较大的膜片面积。该膜片元件构造在MEMS构件的层结构中。该膜片元件覆盖该层结构中的开口并且通过弹簧结构连接到该层结构上。该弹簧结构包括至少一个第一弹簧部件，其基本上平行于该膜片元件取向并且构造在该膜片元件下方的层平面中。该弹簧结构还包括至少一个第二弹簧部件，其基本上垂直于该膜片元件取向。该弹簧结构这样设计，使得该膜片元件的面积大于该膜片元件覆盖的开口的面积。
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公开(公告)号：CN107484092A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710416275.7
申请日：2017-06-06
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H04R17/00
Abstract: 本发明涉及一种传感器和/或变换器设备，具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构，通过该压电层分别至少部分填充在弯曲结构的至少两个电极之间的中间容积，其中，弯曲结构具有电子器件装置，该电子器件装置设计成，在弯曲结构的各两个电极之间这样施加至少一个预给定或确定的激励电压，使得可以至少部分补偿由于在弯曲结构中的固有应力梯度而引起的弯曲结构的变形。本发明同样涉及一种用于运行具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构的传感器和/或变换器设备的方法以及一种用于校准具有至少一个包括至少一个压电层的弯曲结构的麦克风的方法。
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公开(公告)号：CN108282730B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201810010150.9
申请日：2018-01-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明建立一种微机械声换能器组件和一种相应的制造方法。微机械声换能器组件设有衬底(S)，该衬底具有正面(V)和背面(R)和带有空腔边缘区域(KR)的空腔(K)；在所述正面(V)上弹性悬挂的至少一个压电的振动梁(Z1‑Z6)，该振动梁在所述空腔(K)上延伸；和偏转限界装置(E1‑E3)，所述偏转限界装置设置在所述振动梁(Z1‑Z6)中的每个振动梁的端部边缘区域(ST1‑ST6)上并且如此构型，使得所述偏转限界装置使相应的所述端部边缘区域(ST1‑ST6)与所述空腔边缘区域(KR)或者另一振动梁(Z1‑Z6)的对置的端部边缘区域(ST1‑ST6)处于相互作用中，以便将相应的所述振动梁(Z1‑Z6)的偏转限制在极限偏转内。
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公开(公告)号：CN115667878A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180040169.8
申请日：2021-05-17
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 提出一种颗粒数传感器(16)，其具有激光器(18)、第一光学元件(20)和第二光学元件(23)并且具有探测设备(26)，其中，所述第一光学元件(20)将从所述激光器(18)入射的激光辐射(10)聚焦到激光光斑(22)中，其中，所述第二光学元件(23)将从所述激光光斑(22)出射的温度辐射(14)聚焦到温度辐射光斑(29)中，所述探测设备被经聚焦的温度辐射(14)照射。颗粒数传感器的特征在于，所述探测设备(26)具有对温度辐射(14)敏感的第二面(26.2)，所述第二面不被从所述激光光斑(22)出射的温度辐射(14)照射。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104969045A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201380054956.3
申请日：2013-08-20
IPC: G01J5/02 , G01J5/20 , H01L27/144
CPC classification number: H01L31/02019 , G01J5/023 , G01J5/0235 , G01J5/024 , G01J5/20 , G01J2005/204 , H01L27/1446
Abstract: 一种用于制造半导体装置的方法包括在互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺期间在衬底(100)上形成至少一个牺牲层(106，108，110)。在所述至少一个牺牲层的顶部上沉积吸收体层(130)。去除所述至少一个牺牲层(106，108，110)的在所述吸收体层下方的一部分以形成间隙(G1)，所述吸收体层的一部分悬挂在所述间隙上方。所述牺牲层能够是CMOS工艺的氧化物，所述氧化物被利用选择性氢氟酸气相干式蚀刻释放工艺去除以形成间隙。所述牺牲层也能够是聚合物层，其中，所述聚合物层被利用氧气等离子体蚀刻工艺去除以形成间隙。
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公开(公告)号：CN113272640A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN201980088074.6
申请日：2019-10-11
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 一种颗粒传感器(16)，所述颗粒传感器用于在使用激光诱导白炽光原理的情况下探测流动流体中的颗粒(12)或气溶胶。所述颗粒传感包括激光器(18)并且具有设置用于探测热辐射(14)的第一探测器(26)。提出，所述颗粒传感器(16)具有布置在所述激光器(18)的射束路径中的至少一个光学元件(20)，所述光学元件布置和设置用于将从所述激光器(18)发出的激光(10)聚束到光点(22)，并且所述第一探测器(26)如此设置和布置，使得所述第一探测器探测从所述光点(22)发出的热辐射(14)，所述颗粒传感器(16)具有第二探测器(28)，所述第二探测器设置和布置用于探测反向散射的激光(34)。
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公开(公告)号：CN106375914B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201610584853.3
申请日：2016-07-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: MEMS构件(51)，在其层结构中构造有至少一个声压敏感的膜片元件(531)，其覆盖所述层结构中的开口或空腔，所述膜片元件(531)的偏移借助膜片元件(531)的连接区域中的至少一个压敏电路元件(58)来感测，提出应能够在所述膜片元件偏移时符合目的地影响膜片面上的应力分布的设计措施。尤其提出将所述机械应力符合目的地传导到膜片元件的预先给定区域中的措施，以便增强测量信号。为此，所述膜片元件(531)应包括至少一个预定弯曲区域(55)，其通过所述膜片元件(531)的结构化(571)限定并且在声作用下与邻接的膜片区段(56)相比更强烈地变形。
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公开(公告)号：CN108282730A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810010150.9
申请日：2018-01-05
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明建立一种微机械声换能器组件和一种相应的制造方法。微机械声换能器组件设有衬底(S)，该衬底具有正面(V)和背面(R)和带有空腔边缘区域(KR)的空腔(K)；在所述正面(V)上弹性悬挂的至少一个压电的振动梁(Z1-Z6)，该振动梁在所述空腔(K)上延伸；和偏转限界装置(E1-E3)，所述偏转限界装置设置在所述振动梁(Z1-Z6)中的每个振动梁的端部边缘区域(ST1-ST6)上并且如此构型，使得所述偏转限界装置使相应的所述端部边缘区域(ST1-ST6)与所述空腔边缘区域(KR)或者另一振动梁(Z1-Z6)的对置的端部边缘区域(ST1-ST6)处于相互作用中，以便将相应的所述振动梁(Z1-Z6)的偏转限制在极限偏转内。
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公开(公告)号：CN106375919A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201610584852.9
申请日：2016-07-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 提出一些措施，通过这些措施能够符合目的地减小MEMS构件的膜片结构内的机械应力，此外这些措施还使得膜片元件能具有与芯片面积相比较大的膜片面积。该膜片元件构造在MEMS构件的层结构中。该膜片元件覆盖该层结构中的开口并且通过弹簧结构连接到该层结构上。该弹簧结构包括至少一个第一弹簧部件，其基本上平行于该膜片元件取向并且构造在该膜片元件下方的层平面中。该弹簧结构还包括至少一个第二弹簧部件，其基本上垂直于该膜片元件取向。该弹簧结构这样设计，使得该膜片元件的面积大于该膜片元件覆盖的开口的面积。
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