一种氧化铟/氢氧化锡复合物、ITO靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN118145965A

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202410217607.9

    申请日:2024-02-28

    Abstract: 本发明提供了一种氧化铟/氢氧化锡复合物、ITO靶材的制备方法,属于ITO靶材领域。本发明提供了一种氧化铟/氢氧化锡复合物的制备方法,包括以下步骤:将纳米氧化铟、锡盐溶液、含氢氧根的无机碱和水混合进行沉淀反应,将所得沉淀反应产物进行造粒,得到所述氧化铟/氢氧化锡复合物;所述纳米氧化铟中铟元素与锡盐溶液中锡元素的摩尔比为20~100:1。本发明将纳米氧化铟采用直接引入的方式,避免了需要大量沉淀的操作,而微量掺杂的氢氧化锡采用沉淀的方式获得,可以保证氢氧化锡在氧化铟表面的均匀分布,使得其制备得到的ITO靶材中的氧化锡分布均匀,进而提高了ITO靶材致密度。

    一种超高纯铜锭的制备方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117961009A

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202410317410.2

    申请日:2024-03-20

    Abstract: 本发明提供了一种超高纯铜锭的制备方法,属于超高纯铜熔炼与铸造领域。本发明还提供了一种超高纯铜锭的制备方法,包括以下步骤:将超高纯电解铜放入容器后进行真空熔炼,在所述容器中获得铜熔体;将盛有所述铜熔体的容器从真空熔炼区域以1~20mm/min的速度匀速拉出进行定向凝固,得到所述超高纯铜锭;所述容器的纯度≥5N5,超高纯铜锭的纯度≥7N。真空熔炼使超高纯电解铜中低沸点金属挥发和杂质分解与排出,提高了纯度。定向凝固为熔体凝固定向结晶的过程,而定向结晶利于提高铸锭纯度;采用熔炼‑拉出进行定向凝固的方式避免了熔体的倾倒,提高了成材率;并且本发明通过控制拉出速度避免了铸锭缩孔缩松的现象,提高了成材率。

    一种金属靶材的焊接方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117817092A

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN202410199952.4

    申请日:2024-02-23

    Abstract: 本发明提供了一种金属靶材的焊接方法,属于半导体靶材技术领域。本发明提供了一种金属靶材的焊接方法,包括以下步骤:将背板的焊接面加工成齿形,然后在所述齿形的表面镀焊接材料,得到镀焊接材料的背板;将金属靶材与所述镀焊接材料的背板的焊接面进行爆炸焊接。本发明在背板的焊接面增加齿形设计,然后镀焊接材料能够提高焊接强度;采用爆炸焊接的方法对金属靶材进行快速焊接,能够提高焊接强度,焊接界面均匀一致,界面无过度熔化和分层以及不结合的问题,焊接后靶材晶粒没有明显长大。实验结果表明,本申请提供的焊接方法焊合强度≥80MPa,焊接界面均匀一致,界面无过度熔化和分层以及不结合的问题,焊接后靶材晶粒没有明显长大。

    一种成分均匀的铝钪合金溅射靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN111636055A

    公开(公告)日:2020-09-08

    申请号:CN202010511694.0

    申请日:2020-06-08

    Abstract: 本发明提供了一种成分均匀的铝钪合金溅射靶材及其制备方法,涉及靶材制备技术领域。本发明在惰性气氛保护下,将纯度≥99.99%的钪锭和铝锭进行机械粉碎和气流粉碎,得到极细铝和极细钪的混合粉末颗粒;极细铝和极细钪的粒径独立为1~50μm,极细钪的质量占混合粉末颗粒质量的1~60%;将混合粉末颗粒在惰性气氛保护下预压成型,再进行真空热压烧结,得到铝钪合金溅射靶材。本发明在惰性保护气氛下采用机械粉碎和气流粉碎的方法获得极细铝和极细钪颗粒,具有纯度高、含氧量低、颗粒尺寸小的特点,以此颗粒来制备铝钪合金溅射靶材,能够提高合金组织均匀性和纯度,得到成分均匀且高纯度的铝钪合金溅射靶材,并且过程简单、成本低。

    一种铝钪合金溅射靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN111636054A

    公开(公告)日:2020-09-08

    申请号:CN202010511640.4

    申请日:2020-06-08

    Abstract: 本发明提供了一种铝钪合金溅射靶材的制备方法,涉及靶材制备技术领域。本发明提供的铝钪合金溅射靶材的制备方法,包括以下步骤:将铝源和钪源混合,将所得铝钪合金配料进行真空熔炼,得到铝钪熔融合金液;利用惰性气流将所述铝钪熔融合金液进行真空气雾化,得到铝钪合金粉;将所述铝钪合金粉依次进行外包套和热等静压成型,得到铝钪合金溅射靶坯;将所述铝钪合金溅射靶坯进行绑定机加工,得到铝钪合金溅射靶材。本发明利用惰性气流进行真空气雾化,隔绝了铝钪熔融合金液与氧的接触,制备的铝钪合金粉球形度高、氧含量低,晶粒组织、粒度和微观结构均匀;采用热等静压成型得到的铝钪合金溅射靶材致密度高、化学成分均匀、无偏析等缺陷。

    一种银合金靶材及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118460971A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410200421.2

    申请日:2024-02-23

    Abstract: 本发明提供了一种银合金靶材及其制备方法和应用,属于有机发光二极管(OLED)器件的阳极材料技术领域。本发明在纯银中添加锌和钕,锌在银中的固溶度较高,添加锌可以形成固溶强化,增加银的强度,稀土钕元素在银合金中除了典型的固溶强化作用外,还能够改善银合金的凝固,从而产生细化晶粒的效果,并且在热处理过程中,钕元素也能起到细化晶粒的效果,同时在溅射成膜时,钕原子有钉扎作用,从而提高薄膜的粘附性能,控制锌和钕的含量,使得银合金靶材适合于溅射镀膜工艺,制备得到同时具有良好导电率、反射率、粘附性、表面粗糙度和可靠性的银合金薄膜和ITO/Ag合金/ITO薄膜。

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