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公开(公告)号：CN111636055A
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN202010511694.0
申请日：2020-06-08
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种成分均匀的铝钪合金溅射靶材及其制备方法，涉及靶材制备技术领域。本发明在惰性气氛保护下，将纯度≥99.99％的钪锭和铝锭进行机械粉碎和气流粉碎，得到极细铝和极细钪的混合粉末颗粒；极细铝和极细钪的粒径独立为1～50μm，极细钪的质量占混合粉末颗粒质量的1～60％；将混合粉末颗粒在惰性气氛保护下预压成型，再进行真空热压烧结，得到铝钪合金溅射靶材。本发明在惰性保护气氛下采用机械粉碎和气流粉碎的方法获得极细铝和极细钪颗粒，具有纯度高、含氧量低、颗粒尺寸小的特点，以此颗粒来制备铝钪合金溅射靶材，能够提高合金组织均匀性和纯度，得到成分均匀且高纯度的铝钪合金溅射靶材，并且过程简单、成本低。
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公开(公告)号：CN111485207A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010512101.2
申请日：2020-06-08
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种细晶粒均相高钪含量的铝钪合金烧结靶材及其制备方法和应用，涉及功能材料制备技术领域。本发明方法包括以下步骤：(1)将高纯铝块和高纯钪块混合依次进行真空悬浮熔炼和气雾化，得到雾化铝钪合金粉；所述雾化铝钪合金粉中钪的质量含量为10～60％，所述雾化铝钪合金粉的粒径为30～300μm；(2)将所述雾化铝钪合金粉进行压力烧结，得到所述铝钪合金烧结靶材；所述压力烧结的温度为500～1350℃。采用本发明方法可以获得钪含量高且组织细小均匀的铝钪合金烧结靶材，并提高铝钪合金烧结靶材的致密度、降低氧含量，避免微裂纹、气孔等微观缺陷，制备过程简便，安全环保，成本低，适于规模化生产。
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公开(公告)号：CN110576180B
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN201910911271.5
申请日：2019-09-25
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种低氧含量钼粉的制备方法，包括以下步骤：以2‑10微米钼粉为原料，通过冷等静压机150‑300MPa成型，然后用磨盘机破碎至100‑200目并过100目筛，将粉末在1000‑1500℃氢化处理，保温1‑5h，粉末降温至室温后经氮气气氛气流粉碎并过100目筛，获得平均粒度为100目、氧含量为50‑150ppm的钼粉。本发明工艺简单，直接在传统制备技术上延伸工艺，仅需少量投资，产能不受限制；更重要的是，氧含量极低，可把钼粉氧含量从一般的500‑700ppm降低至50‑150ppm。本发明的效果和益处是在制造成本、产品性能、规模化生产和环境友好等方面都展现出显著的竞争优势和利润空间。
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公开(公告)号：CN110576180A
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：CN201910911271.5
申请日：2019-09-25
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种低氧含量钼粉的制备方法，包括以下步骤：以2-10微米钼粉为原料，通过冷等静压机150-300MPa成型，然后用磨盘机破碎至100-200目并过100目筛，将粉末在1000-1500℃氢化处理，保温1-5h，粉末降温至室温后经氮气气氛气流粉碎并过100目筛，获得平均粒度为100目、氧含量为50-150ppm的钼粉。本发明工艺简单，直接在传统制备技术上延伸工艺，仅需少量投资，产能不受限制；更重要的是，氧含量极低，可把钼粉氧含量从一般的500-700ppm降低至50-150ppm。本发明的效果和益处是在制造成本、产品性能、规模化生产和环境友好等方面都展现出显著的竞争优势和利润空间。
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公开(公告)号：CN111590071B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202010493086.1
申请日：2020-06-03
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明涉及粉末冶金制备技术领域，提供了一种钼铌合金靶材及其制备方法。本发明提供的制备方法包括以下步骤：将钼粉和铌粉混合后压制，得到生坯；所述钼粉的平均颗粒尺寸为2～5μm，铌粉的平均颗粒尺寸≤2μm；将所述生坯进行真空烧结处理，得到钼铌烧结体；将所述钼铌烧结体依次进行塑性变形和真空热处理，得到钼铌合金靶材。本发明提供的方法能够制备得到延展性好、致密度高的钼铌合金靶材，实施例结果表明，本发明制备得到的钼铌合金靶材在长度方向上可延伸3～5倍没有裂纹出现，能够从500mm延伸至2800mm，致密度可达99％。且本发明提供的方法无需进行热等静压烧结处理，大幅度的降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN111590071A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010493086.1
申请日：2020-06-03
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
Abstract: 本发明涉及粉末冶金制备技术领域，提供了一种钼铌合金靶材及其制备方法。本发明提供的制备方法包括以下步骤：将钼粉和铌粉混合后压制，得到生坯；所述钼粉的平均颗粒尺寸为2～5μm，铌粉的平均颗粒尺寸≤2μm；将所述生坯进行真空烧结处理，得到钼铌烧结体；将所述钼铌烧结体依次进行塑性变形和真空热处理，得到钼铌合金靶材。本发明提供的方法能够制备得到延展性好、致密度高的钼铌合金靶材，实施例结果表明，本发明制备得到的钼铌合金靶材在长度方向上可延伸3～5倍没有裂纹出现，能够从500mm延伸至2800mm，致密度可达99％。且本发明提供的方法无需进行热等静压烧结处理，大幅度的降低了生产成本。
