一种复合强化的银合金靶材及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118007080A

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202410199489.3

    申请日:2024-02-23

    摘要: 本发明提供了一种复合强化的银合金靶材及其制备方法和应用,属于银合金靶材技术领域。本发明通过在银靶材中添加入微量的标准电位较银低的锌、锗、铜和锰元素来改善银靶材的耐蚀性能;并且,锌、锗、铜和锰在银中固溶,具有提高晶粒的强度,可以细化晶粒,避免镀膜表面粗糙产生快速腐蚀而导致的反射率、耐蚀性和耐热性下降的不良后果。实施例结果显示,本发明提供的复合强化的银合金靶材制备的薄膜的晶粒尺寸较小,能够达到39μm;抗氧化性测试能够达到40min,具有较高的抗氧化性;耐热性和耐蚀性测试结果表明具有优异的耐热性和耐蚀性;反射率能够达到96.2%。

    一种银靶材的绑定方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116713548A

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN202310882360.8

    申请日:2023-07-18

    IPC分类号: B23K1/00 B23K1/20

    摘要: 本发明提供了一种银靶材的绑定方法,涉及功能材料制备技术领域。本发明在银靶材与铟、锡、锌锡合金焊料之间增加过渡镍合金薄膜,通过镍合金薄膜的防护作用,阻止了铟、锡以及锌锡合金焊料与纯银靶材的接触和固溶侵蚀,然后再执行正常钎焊工艺,解决了纯银靶材钎焊焊接的问题,可保证焊接结合率和焊接强度达到预期要求。实施例的结果表明,经绑定后,所获得银靶材界面无侵蚀、结合强度高,焊接结合率大于95%,焊接强度大于6MPa。本发明在制造成本、产品性能、规模化生产和环境保护等方面都展现出显著的竞争优势。

    一种超导靶材及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN114105631A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111536005.2

    申请日:2021-12-15

    摘要: 本发明提供了一种超导靶材的制备方法,包括以下步骤:将碳酸钡、氧化铜、氧化钇和造孔剂混合后进行第一压制成型,得到坯体;或者将碳酸钡、氧化铜和氧化钇混合后进行第二压制成型,得到蜂窝状坯体;将所述坯体或蜂窝状坯体在氧气气氛中进行预烧结后破碎,得到粉体;将所述粉体进行第三压制成型和烧结,得到超导靶材。本发明将预烧结的块体制备成蜂窝状,或者加入造孔剂,在预烧结时形成多孔结构,增加氧气交换面积,使碳酸钡充分分解成氧化钡和二氧化碳,转化为Y1Ba2Cu3O7相,有效降低了可逆反应的进行,提高了超导相比例,再配合后续的压制成型和烧结,提高了超导靶材的致密度。

    一种银铜合金靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN110318024B

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:CN201910689041.9

    申请日:2019-07-29

    IPC分类号: C23C14/34 C22C5/08

    摘要: 本发明提供了一种银铜合金靶材及其制备方法,属于溅射靶材技术领域。本发明提供的银铜合金靶材的制备方法,包括以下步骤:将铜和银在保护气氛下进行熔炼,得到液态合金;将所述液态合金进行喷射沉积处理,得到银铜合金铸锭;将所述银铜合金铸锭依次进行均匀化退火、ECAP挤压、低温退火、镦粗变形和轧制处理,得到银铜合金粗锭;将所述银铜合金粗锭进行再结晶退火处理,得到银铜合金靶材。本发明制得的银铜合金靶材具有晶粒尺寸细小、晶粒分布均匀、成分均匀和致密性高的特点。

    一种靶材的制作方法
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109023269B

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN201811146501.5

    申请日:2018-09-29

    IPC分类号: C23C14/34 C23C14/35

    摘要: 本发明公开一种靶材的制作方法。所述制作方法包括:采用电刷镀方式在靶坯的接触面制作第一膜层;采用电刷镀方式在背板的接触面制作第二膜层;所述第二膜层与所述第一膜层材质相同;用自来水将所述靶坯和所述背板冲净、吹干;将所述靶坯和所述背板叠合固定在加热平台上;叠合时所述靶坯的接触面的第一膜层与所述背板的接触面的第二膜层接触;打开所述加热平台,调节温度范围,所述温度范围为高于所述第一膜层和第二膜层的熔点,且小于所述靶坯和所述背板的熔点的温度范围;保温保压1小时后关闭所述加热平台;冷却后,完成所述靶坯与所述背板的结合,完成靶材的制作。采用本发明靶材的制作方法,可以提高靶材的结合率,提高靶材的质量。

    一种离心成型装置以及ITO旋转靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN110370426B

    公开(公告)日:2020-09-29

    申请号:CN201910689033.4

    申请日:2019-07-29

    IPC分类号: B28B1/20 C04B35/457

    摘要: 本发明提供了一种离心成型装置以及制备ITO旋转靶材的方法,属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种离心成型装置,包括离心装置;与所述离心装置相连的电动机;与所述离心装置相连的抽真空装置;所述离心装置内设置有树脂模具;所述树脂模具包括树脂模具前半部和树脂模具后半部,靠近电动机的部分为树脂模具后半部。本发明将注浆成型和离心成型相结合,提高了ITO旋转靶材的成型效率,解决了目前ITO旋转靶材生产过程中成型时间长、生产效率低、生产成本高等问题,可成型较大尺寸的ITO旋转靶材,有利于企业大规模、高效率制备ITO旋转靶材。

    一种镀膜材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN110713382A

    公开(公告)日:2020-01-21

    申请号:CN201911016155.3

    申请日:2019-10-24

    摘要: 本发明提供了一种镀膜材料及其制备方法和应用,属于镀膜材料技术领域。本发明提供的镀膜材料的制备方法,包括以下步骤:将五氧化三钛、三氧化二铝和粘结剂混合,依次进行压制、破碎、压片成型和真空烧结,得到镀膜材料。本发明提供的制备方法制备的镀膜材料不存在粉化现象、折射率高且稳定,镀膜材料良率高,制备方法操作简单,适宜工业化生产。

    一种导电银浆及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN107393629B

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201710822738.X

    申请日:2017-09-13

    发明人: 陈钦忠 陈本宋

    IPC分类号: H01B1/22 H01B13/00

    摘要: 本发明公开了一种导电银浆及其制备方法和应用。本发明利用球型银粉、玻璃粉不同级别粒径的配合,协同外加剂的使用,得到了触变性、导电性、印刷性较好的银浆,可作为汽车挡风玻璃除霜除雾用材料。本发明提供的导电银浆制备方法简单高效,具有较好的市场前景。

    一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法

    公开(公告)号:CN110629171A

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201910912010.5

    申请日:2019-09-25

    IPC分类号: C23C14/34

    摘要: 本发明涉及一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法,包括以下步骤:步骤一:铜背板和靶胚预处理:分别对铜背板和靶胚的绑定面进行喷砂处理;步骤二:高温胶制备:将双组份硅酮弹性体搅拌;步骤三:绑定处理:选取绑定层,将制备好的高温胶均匀涂覆在铜背板和靶胚的绑定面上;将绑定层铺在已经涂好高温胶的铜背板上;将靶胚的涂胶面向下,使靶胚和铜背板完全贴合;对高温胶进行凝固处理,即完成靶材绑定作业。本发明避免了绑定工序高温作业,减轻劳动强度;低温条件下绑定,避免了铜背板变形,满足靶材平面度要求;绑定材质高温胶失效温度高,满足靶材对高熔点绑定层的要求;操作简单,相比于普通绑定技术效率高,成本低。

    一种抽滤成型装置以及制备ITO平面靶材的方法

    公开(公告)号:CN110395978A

    公开(公告)日:2019-11-01

    申请号:CN201910689703.2

    申请日:2019-07-29

    摘要: 本发明提供了一种抽滤成型装置以及制备ITO平面靶材的方法,属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种抽滤成型装置,包括树脂模具;与所述树脂模具的进料口相连通的浆料压注设备;与所述树脂模具的抽滤口相连通的抽滤设备;所述树脂模具的内侧设置有超滤膜。在本发明中,浆料压注设备将ITO浆料压注到树脂模具中,抽滤设备使树脂模具内为负压,在浆料压注设备和抽滤设备的双重加压下,ITO浆料中的水透过超滤膜迅速分离,ITO浆料中的粉体沉积在树脂模具中形成ITO坯体,由于超滤膜的包覆作用,极大的保证了素坯的完整性,提高了素坯的成品率,进而提高了ITO平面靶材的质量。