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公开(公告)号：CN108931133A
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201811145904.8
申请日：2018-09-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： F27B14/06 , F27B14/08 , C04B35/64 , C04B35/453 , C04B35/46 , C04B35/457 , C04B35/495
摘要： 本发明公开了一种离心烧结制造靶材的装置，包括外壳体、设置于所述外壳体内部的电阻加热套、模具和驱动电机，其中，所述模具设置于所述电阻加热套的内部加热腔内，所述模具底部设置有一旋转底座，所述驱动电机设置于所述外壳体底部，所述驱动电机的转动轴与所述旋转底座连接；所述外壳体的首端设置为开合门结构，通过所述开合门能够实现所述加热腔的开合；本发明提供的离心烧结制造靶材的装置能够制造出高密度管靶材，节省原材料，省去掏孔工序，提高良率，大大降低成本。
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公开(公告)号：CN105483628A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201510978711.0
申请日：2015-12-24
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
CPC分类号： C23C14/3407 , B22F2998/10 , C22C1/05 , C23C14/3414 , B22F1/0003 , B22F3/04 , B22F3/10 , B22F9/04
摘要： 本发明涉及一种高纯高密硅锆合金靶材，按原子百分比计，合金组成为：Si 88-98at％，Zr 2-15at％，硅酸锆球则与硅锆原料配比为1:1。本发明还公开了一种高纯高密硅锆合金靶材的制备方法，其制备的硅锆合金靶材，通入气体反应溅射成膜后发现其比用纯硅靶材反应溅射成膜后的耐摩擦性能提高4-6倍，且在其它方面的性能基本上与纯硅靶材相同，甚至更为突出，大大提高了薄膜的实用性。
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公开(公告)号：CN109023269B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201811146501.5
申请日：2018-09-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明公开一种靶材的制作方法。所述制作方法包括：采用电刷镀方式在靶坯的接触面制作第一膜层；采用电刷镀方式在背板的接触面制作第二膜层；所述第二膜层与所述第一膜层材质相同；用自来水将所述靶坯和所述背板冲净、吹干；将所述靶坯和所述背板叠合固定在加热平台上；叠合时所述靶坯的接触面的第一膜层与所述背板的接触面的第二膜层接触；打开所述加热平台，调节温度范围，所述温度范围为高于所述第一膜层和第二膜层的熔点，且小于所述靶坯和所述背板的熔点的温度范围；保温保压1小时后关闭所述加热平台；冷却后，完成所述靶坯与所述背板的结合，完成靶材的制作。采用本发明靶材的制作方法，可以提高靶材的结合率，提高靶材的质量。
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公开(公告)号：CN108931133B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN201811145904.8
申请日：2018-09-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： F27B14/06 , F27B14/08 , C04B35/64 , C04B35/453 , C04B35/46 , C04B35/457 , C04B35/495
摘要： 本发明公开了一种离心烧结制造靶材的装置，包括外壳体、设置于所述外壳体内部的电阻加热套、模具和驱动电机，其中，所述模具设置于所述电阻加热套的内部加热腔内，所述模具底部设置有一旋转底座，所述驱动电机设置于所述外壳体底部，所述驱动电机的转动轴与所述旋转底座连接；所述外壳体的首端设置为开合门结构，通过所述开合门能够实现所述加热腔的开合；本发明提供的离心烧结制造靶材的装置能够制造出高密度管靶材，节省原材料，省去掏孔工序，提高良率，大大降低成本。
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公开(公告)号：CN109023269A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201811146501.5
申请日：2018-09-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明公开一种靶材的制作方法。所述制作方法包括：采用电刷镀方式在靶坯的接触面制作第一膜层；采用电刷镀方式在背板的接触面制作第二膜层；所述第二膜层与所述第一膜层材质相同；用自来水将所述靶坯和所述背板冲净、吹干；将所述靶坯和所述背板叠合固定在加热平台上；叠合时所述靶坯的接触面的第一膜层与所述背板的接触面的第二膜层接触；打开所述加热平台，调节温度范围，所述温度范围为高于所述第一膜层和第二膜层的熔点，且小于所述靶坯和所述背板的熔点的温度范围；保温保压1小时后关闭所述加热平台；冷却后，完成所述靶坯与所述背板的结合，完成靶材的制作。采用本发明靶材的制作方法，可以提高靶材的结合率，提高靶材的质量。
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公开(公告)号：CN105483628B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201510978711.0
申请日：2015-12-24
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种高纯高密硅锆合金靶材，所述高纯高密硅锆合金靶材按原子百分比计，合金组成为：Si 88‑98at％，Zr 2‑15at％，硼粉余量，各组分原子百分比是百分百；硅酸锆球则与硅锆原料重量配比为1:1。本发明还公开了一种高纯高密硅锆合金靶材的制备方法，其制备的硅锆合金靶材，通入气体反应溅射成膜后发现其比用纯硅靶材反应溅射成膜后的耐摩擦性能提高4‑6倍，且在其它方面的性能基本上与纯硅靶材相同，甚至更为突出，大大提高了薄膜的实用性。
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公开(公告)号：CN208378982U
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201820495608.X
申请日：2018-04-09
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 本实用新型公开了一种磁控溅射靶材用水路背板，包括上背板和下背板，所述上背板下端面设置有第一环形水路槽，所述第一环形水路槽前端连通有第一入水口和第一出水口，所述下背板上端面设置有第二环形水路槽，所述第二环形水路槽前端连通有第二入水口和第二出水口，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽为镜像设置的双线单螺旋环形槽，所述第一环形水路槽和第二环形水路槽结合形成总水路槽，所述第一入水口、第一出水口和第二入水口、第二入水口结合形成总入水口和总出水口；本实用新型的总水路槽为双线单螺旋环形槽形成环形回路，这样可以确保与上背板和下背板的最大化接触面积，又保持水压稳定，确保冷却良好。
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公开(公告)号：CN208920851U
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201821598675.0
申请日：2018-09-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： F27B14/06 , F27B14/08 , C04B35/64 , C04B35/453 , C04B35/46 , C04B35/457 , C04B35/495
摘要： 本实用新型公开了一种离心烧结制造靶材的装置，包括外壳体、设置于所述外壳体内部的电阻加热套、模具和驱动电机，其中，所述模具设置于所述电阻加热套的内部加热腔内，所述模具底部设置有一旋转底座，所述驱动电机设置于所述外壳体底部，所述驱动电机的转动轴与所述旋转底座连接；所述外壳体的首端设置为开合门结构，通过所述开合门能够实现所述加热腔的开合；本实用新型提供的离心烧结制造靶材的装置能够制造出高密度管靶材，节省原材料，省去掏孔工序，提高良率，大大降低成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206264107U
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201621416111.1
申请日：2016-12-22
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： B28B1/26
摘要： 本实用新型涉及一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置，包括上模具、下模具、半透膜滤布和真空抽滤机，所述上模具嵌套于所述下模具中，所述半透膜滤布设置于所述上模具和所述下模具之间，所述上模具底部设置有网格，所述下模具底部设置有一连接口，所述真空抽滤机包括抽滤瓶和真空泵，所述抽滤瓶入口端通过所述连接口与所述下模具连通，所述抽滤瓶出口端与所述真空泵连通。本实用新型相比普通石膏注浆成型该装置操作方便，成型速度快，并可生产出高密度陶瓷靶材生胚。
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公开(公告)号：CN206905980U
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201720855730.9
申请日：2017-07-14
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： G01M3/20
摘要： 本实用新型提供了一种磁控溅射靶材用水路背板的测漏装置，包括水路背板，所述水路背板的顶面中心位置内凹设有背板水路口，所述背板水路口上端的水路背板上设有上模，且背板水路口下端对应设有下模，所述上模上端连通连通气管接头，所述气管接头通过气管密封连接具有气压调节阀的惰性气体瓶，所述上模的两端贯穿设有上模螺孔，所述上模螺孔内通过螺纹结构贯穿设有螺丝，所述螺丝依次贯穿上模、水路背板和下膜，该螺丝下端固定在下模的下模螺孔内，且位于下模下方的螺丝上配合有螺母。本实用新型装置连接操作简便，工作不用受环境约束,可以随意移动，而氦气质谱检测仪高速分子泵需要相对静止的工作环境，对环境要求高。
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