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公开(公告)号：CN111548144B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202010493265.5
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： C04B35/453 , C04B35/622 , C04B35/638
摘要： 本发明提供了一种不易结瘤的ITO溅射靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：将脱脂后的ITO靶坯依次进行第一烧结和第二烧结，冷却后得到不易结瘤的ITO溅射靶材；所述第一烧结和第二烧结均在氧气通入的条件下进行；所述第一烧结的温度为1250～1350℃，保温时间为3～5h；所述第二烧结的过程包括：自第一烧结的温度开始升温，每升高100℃保温4～6h，在温度达到1600～1650℃后，保温6～10h。采用本发明方法制备的ITO溅射靶材，靶材致密，晶粒尺寸均匀，且无偏析，具有优异的抗结瘤性能。
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公开(公告)号：CN110370426B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201910689033.4
申请日：2019-07-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： B28B1/20 , C04B35/457
摘要： 本发明提供了一种离心成型装置以及制备ITO旋转靶材的方法，属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种离心成型装置，包括离心装置；与所述离心装置相连的电动机；与所述离心装置相连的抽真空装置；所述离心装置内设置有树脂模具；所述树脂模具包括树脂模具前半部和树脂模具后半部，靠近电动机的部分为树脂模具后半部。本发明将注浆成型和离心成型相结合，提高了ITO旋转靶材的成型效率，解决了目前ITO旋转靶材生产过程中成型时间长、生产效率低、生产成本高等问题，可成型较大尺寸的ITO旋转靶材，有利于企业大规模、高效率制备ITO旋转靶材。
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公开(公告)号：CN110395978A
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201910689703.2
申请日：2019-07-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： C04B35/457 , C04B35/622 , B28B1/26
摘要： 本发明提供了一种抽滤成型装置以及制备ITO平面靶材的方法，属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种抽滤成型装置，包括树脂模具；与所述树脂模具的进料口相连通的浆料压注设备；与所述树脂模具的抽滤口相连通的抽滤设备；所述树脂模具的内侧设置有超滤膜。在本发明中，浆料压注设备将ITO浆料压注到树脂模具中，抽滤设备使树脂模具内为负压，在浆料压注设备和抽滤设备的双重加压下，ITO浆料中的水透过超滤膜迅速分离，ITO浆料中的粉体沉积在树脂模具中形成ITO坯体，由于超滤膜的包覆作用，极大的保证了素坯的完整性，提高了素坯的成品率，进而提高了ITO平面靶材的质量。
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公开(公告)号：CN111592339A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010493267.4
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： C04B35/01 , C04B35/622 , C04B35/626 , C04B35/634 , C23C14/35
摘要： 本发明涉及靶材制备技术领域，尤其涉及一种ITO靶材及其制备方法。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：分别对氧化铟粉和氧化锡粉进行球磨，得到氧化铟浆料和氧化锡浆料；将所述氧化铟浆料、氧化锡浆料和粘结剂置于储存罐中，利用隔膜泵使储存罐中的物料在超声波浆料分散机和储存罐之间进行循环分散，得到混合浆料；将所述混合浆料注入模具中，进行成型，脱模后得到生坯，对所述生坯依次进行干燥、脱脂和烧结，得到ITO靶材。采用本发明方法制备的ITO靶材，相对于传统混合球磨方式制备的ITO靶材，密度更高、电阻率更低，且在保证性能的同时，采用本发明的制备方法能够减少Zr污染并缩短球磨时间。
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公开(公告)号：CN110395978B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201910689703.2
申请日：2019-07-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： B28B1/26
摘要： 本发明提供了一种抽滤成型装置以及制备ITO平面靶材的方法，属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种抽滤成型装置，包括树脂模具；与所述树脂模具的进料口相连通的浆料压注设备；与所述树脂模具的抽滤口相连通的抽滤设备；所述树脂模具的内侧设置有超滤膜。在本发明中，浆料压注设备将ITO浆料压注到树脂模具中，抽滤设备使树脂模具内为负压，在浆料压注设备和抽滤设备的双重加压下，ITO浆料中的水透过超滤膜迅速分离，ITO浆料中的粉体沉积在树脂模具中形成ITO坯体，由于超滤膜的包覆作用，极大的保证了素坯的完整性，提高了素坯的成品率，进而提高了ITO平面靶材的质量。
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公开(公告)号：CN110370426A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910689033.4
申请日：2019-07-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： B28B1/20 , C04B35/457
摘要： 本发明提供了一种离心成型装置以及制备ITO旋转靶材的方法，属于光电材料成型技术领域。本发明提供了一种离心成型装置，包括离心装置；与所述离心装置相连的电动机；与所述离心装置相连的抽真空装置；所述离心装置内设置有树脂模具；所述树脂模具包括树脂模具前半部和树脂模具后半部，靠近电动机的部分为树脂模具后半部。本发明将注浆成型和离心成型相结合，提高了ITO旋转靶材的成型效率，解决了目前ITO旋转靶材生产过程中成型时间长、生产效率低、生产成本高等问题，可成型较大尺寸的ITO旋转靶材，有利于企业大规模、高效率制备ITO旋转靶材。
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公开(公告)号：CN111609698A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010493054.1
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法，属于靶坯干燥领域。本发明提供的装置，利用了微波加热器和红外加热设备，使用了微波干燥和红外干燥混合干燥的方法，提高干燥的速率；横向移动导轨使靶坯在干燥过程中可以横向往复匀速运动，从而达到均匀干燥的目的，避免了微波干燥或红外干燥不均匀导致靶坯开裂的情况；且本发明所提供的装置是干燥脱脂一体炉，在同一个炉子可以同时完成干燥和脱脂两道工艺，简化了工艺，节省了工厂场地设备的投入。
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公开(公告)号：CN111606704A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010493048.6
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： C04B35/457 , C04B35/622 , C04B37/00 , B28D1/22 , B08B3/04 , B08B3/08 , B08B3/10
摘要： 本发明提供了一种ITO蒸镀料及其制备方法，属于蒸发镀膜材料技术领域。本发明将铟锡氧化物四边形板材组装为四边形板材组装块体，然后平行于所述四边形板材组装块体的一对平行边对其从上到下进行第一多刀切割，然后平行于所述四边形板材组装块体的另一对平行边对其从上到下进行第二多刀切割，即可得到切割料，将该切割料加热后，热熔胶熔化，然后分离热熔胶，即可将大部分热熔胶去除，然后进行第一水洗、碱洗和第二水洗，得到纯净、且规格相同的蒸镀料。本发明将四边形板材组装为四边形板材组装块体，使得常用于切片和切粒的多刀切割技术可应用于ITO蒸镀料的制备，所得ITO蒸镀料的规格相同，且制备方法简单，具有较高的生产效率。
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公开(公告)号：CN111605037A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010493046.7
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： B28B1/26 , B28B7/34 , B28B7/18 , B28B7/30 , B28B11/24 , C04B35/457 , C04B35/622
摘要： 本发明涉及靶材制备技术领域，提供了一种高压注浆成型装置以及一种ITO旋转靶材的制备方法。本发明提供的高压注浆成型装置包括成型装置、高压注浆装置和抽滤装置；所述的成型装置设置真空抽滤室、树脂外模和可伸缩的树脂内模。本发明将高压注浆与抽滤成型相结合，不仅能提高成型的效率和成功率，还能提高坯体的致密度；本发明提供的装置中具有可伸缩的树脂内模，通过逐节脱模的方法，可以减少每一次脱模的摩擦力，使脱模的成功率更高，同时也可通过该模具成型更大尺寸的旋转靶材，解决了目前企业中大型靶材无法脱模的问题。
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公开(公告)号：CN111548144A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010493265.5
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： C04B35/453 , C04B35/622 , C04B35/638
摘要： 本发明提供了一种不易结瘤的ITO溅射靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：将脱脂后的ITO靶坯依次进行第一烧结和第二烧结，冷却后得到不易结瘤的ITO溅射靶材；所述第一烧结和第二烧结均在氧气通入的条件下进行；所述第一烧结的温度为1250～1350℃，保温时间为3～5h；所述第二烧结的过程包括：自第一烧结的温度开始升温，每升高100℃保温4～6h，在温度达到1600～1650℃后，保温6～10h。采用本发明方法制备的ITO溅射靶材，靶材致密，晶粒尺寸均匀，且无偏析，具有优异的抗结瘤性能。
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