本发明提供了一种复合强化的银合金靶材及其制备方法和应用，属于银合金靶材技术领域。本发明通过在银靶材中添加入微量的标准电位较银低的锌、锗、铜和锰元素来改善银靶材的耐蚀性能；并且，锌、锗、铜和锰在银中固溶，具有提高晶粒的强度，可以细化晶粒，避免镀膜表面粗糙产生快速腐蚀而导致的反射率、耐蚀性和耐热性下降的不良后果。实施例结果显示，本发明提供的复合强化的银合金靶材制备的薄膜的晶粒尺寸较小，能够达到39μm；抗氧化性测试能够达到40min，具有较高的抗氧化性；耐热性和耐蚀性测试结果表明具有优异的耐热性和耐蚀性；反射率能够达到96.2%。