引线接合结构和其中使用的接合线及半导体装置

    公开(公告)号:CN114502754B

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202080064592.7

    申请日:2020-03-09

    Abstract: 本发明即使将抑制了材料成本的接合线与电极进行接合也抑制电阻率的上升,并且即使在严酷的环境下也长时间确保接合线与电极的接合可靠性。引线接合结构1具有含有铝的电极2、接合线3和与电极2接合的球压缩部6。接合线3具有以银作为主要成分的芯材4和以金作为主要成分的覆盖层5,含有选自硫、碲、硒、砷及锑中的至少1种第15及16族元素,相对于引线整体,金浓度为2.0质量%~7.0质量%,第15及16族元素浓度合计为4质量ppm~80质量ppm,在电极2与球压缩部6的接合界面附近处具有金浓度相对于铝与银与金的合计成为5.0原子%以上的金富集接合区域。

    球焊用的贵金属被覆银线及其制造方法、及使用球焊用的贵金属被覆银线的半导体装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN111344847A

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201880072440.4

    申请日:2018-04-19

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种贵金属被覆银接合线,其在以接合线将半导体芯片的电极与引线框架等的电极连接的半导体装置中,即使在汽车等严苛的高温高湿条件下亦可抑制接合界面的腐蚀,而避免发生导电不良。本发明的球焊用的贵金属被覆银线,是在由纯银或银合金所构成的芯材上具备贵金属被覆层的贵金属被覆银线,其特征为:线材包含至少1种硫族元素,贵金属被覆层具备钯中间层及金表皮层,钯相对于线材整体的含量为0.01质量%以上5.0质量%以下,金相对于线材整体的含量为1.0质量%以上6.0质量%以下,且硫族元素相对于线材整体的含量为0.1质量ppm以上100质量ppm以下。

    钯覆盖铜接合线、引线接合结构、半导体装置及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN113646450B

    公开(公告)日:2022-09-16

    申请号:CN202080012102.9

    申请日:2020-02-06

    Abstract: 本发明提供钯覆盖铜接合线、其接合结构、半导体装置及半导体装置的制造方法,所述钯覆盖铜接合线在第一接合时不产生缩孔,接合可靠性高,即使是在高温、高湿的环境中也能够长时间稳定地维持优异的接合可靠性。一种引线接合结构,其中,接合线是具有铜芯材和Pd层、且含有硫族元素的Pd覆盖铜接合线,相对于铜与Pd与硫族元素的合计,Pd的浓度为1.0质量%~4.0质量%,硫族元素浓度合计为50质量ppm以下,S浓度为5质量ppm~2质量ppm、或Se浓度为5质量ppm~20质量ppm或Te浓度为15质量ppm~50质量ppm以下,在半导体芯片的含有Al的电极与球接合部的接合面附近,具有Pd浓度相对于Al与铜与Pd的合计成为2.0质量%以上的Pd富集接合区域。

    钯覆盖铜接合线及其制造方法

    公开(公告)号:CN113169077B

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN201880099771.7

    申请日:2018-11-30

    Abstract: 本发明提供一种钯覆盖铜接合线,其在第一接合时不产生缩孔,接合可靠性高,即使是在高温、高湿的环境中也能够长时间维持优异的接合可靠性。一种钯覆盖铜接合线,其中,相对于铜与钯与硫族元素的合计,钯的浓度为1.0质量%~4.0质量%,硫族元素浓度合计为50质量ppm以下,硫浓度为5质量ppm~12质量ppm、或硒浓度为5质量ppm~20质量ppm或碲浓度为15质量ppm~50质量ppm,在形成于引线前端的无空气球的距离前端部表面为5.0nm~100.0nm的范围内,具有钯的浓度相对于铜与钯的合计成为平均6.5原子%~30.0原子%的钯富集区域。

    高速信号线用接合线
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104157625B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201410108092.5

    申请日:2014-03-21

    Abstract: 本发明的目的是提供一种银-钯-金(Ag-Pd-Au)基合金的高速信号线用接合线,其即使在接合线表面形成不稳定的硫化银层时,仍无坚固的硫化银(Ag2S)膜,并可传输稳定的数千兆赫(giga Hertz,GHz)带等的超高频信号。本发明的解决方法是提供一种高速信号线用接合线,其是由钯(Pd)2.5~4.0质量%、金(Au)1.5~2.5质量%及剩余部分为纯度99.99质量%以上的银(Ag)所构成的三元合金,该接合线剖面是由表皮膜与芯材所构成,该表皮膜是由在连续铸造后所缩径的连续铸造面与表面偏析层所构成,该表面偏析层是由较芯材含量渐增的银(Ag)且含量渐减的金(Au)的合金区域所构成。

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