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公开(公告)号:CN106158675B
公开(公告)日:2019-02-26
申请号:CN201510193619.3
申请日:2015-04-22
Applicant: 田中电子工业株式会社
IPC: H01L21/60
Abstract: 本发明的目的在于提供一种银金合金接合线,其即使是高纯度的银金合金接合线,相较于目前为止相同组成成分的银金合金,对于在树脂密封情况下的热冲击性发挥较优异的效果。另外,本发明的目的是提供一种卷绕于滚动条上的银金合金接合线的退绕性良好的银金合金接合线。本发明的银金合金接合线,其特征为:在由银金合金所形成的接合线中,以质量百分比来说,含有10%以上30%以下的金(Au)、含有30ppm以上90ppm以下的钙(Ca),剩余部分由上述元素以外的金属元素的纯度99.99%以上的银(Ag)所形成的合金,在该合金的表层形成氧(O)和钙(Ca)的浓化层,且在该表层的正下层形成金浓化层。
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公开(公告)号:CN107010480A
公开(公告)日:2017-08-04
申请号:CN201610915265.3
申请日:2016-10-20
Applicant: 田中电子工业株式会社
IPC: B65H55/04
Abstract: 本发明的半导体装置用接合线的卷线结构,其中:由序列卷绕的前头卷绕部分、交叉多层卷绕的实卷绕部分、及序列卷绕的尾端卷绕部分所构成的线轴上缠绕有接合线,在该实卷绕部分的两端形状所形成的至少一边斜边,有具有比由线轴端部延伸的下斜边的仰角更为急陡的仰角的中斜边或上斜边的突起部,在该突起部接连波型的锯齿状层,并且该上斜边的顶点的高度比该锯齿状层的平均高度更高。本发明的目的在于提供比现有技术紧固力更强,且在输送时的振动等也不会崩坏的新颖的接合线的卷线结构。此外,本发明之目的在于提供不会浪费线,且可顺利地进行线轴更换作业的接合线的卷线结构。
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公开(公告)号:CN103409654B
公开(公告)日:2015-06-24
申请号:CN201310325540.2
申请日:2013-07-30
Applicant: 田中电子工业株式会社
CPC classification number: H01L2224/11 , H01L2224/1134 , H01L2224/13 , H01L2224/13139 , H01L2924/013 , H01L2924/01079 , H01L2924/01046 , H01L2924/00012
Abstract: 一种用于半导体器件的银-金-钯凸点制作线,所述银-金-钯凸点制作线能够通过缩短熔融球的尾长度而稳定尾长度上的波动。在垂直拉伸-切割的银-金-钯合金凸点制作线中,银-金-钯合金包含1至9质量%的金(Au)和0.5至5质量%的钯(Pd),余量是具有99.995质量%以上的纯度的银(Ag)(不包括所含有的上述元素),并且在熔融球形成之前所述凸点制作线的维氏硬度是80至100Hv。
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公开(公告)号:CN104103616B
公开(公告)日:2017-03-29
申请号:CN201410108153.8
申请日:2014-03-21
Applicant: 田中电子工业株式会社
CPC classification number: H01L24/45 , H01L24/05 , H01L24/43 , H01L24/48 , H01L2223/6611 , H01L2224/05624 , H01L2224/05644 , H01L2224/05664 , H01L2224/05669 , H01L2224/43 , H01L2224/43848 , H01L2224/45015 , H01L2224/45124 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/45565 , H01L2224/45639 , H01L2224/48511 , H01L2224/48624 , H01L2224/48644 , H01L2224/48664 , H01L2224/48669 , H01L2924/00011 , Y10T428/2958 , H01L2924/01046 , H01L2924/01078 , H01L2924/01204 , H01L2924/01045 , H01L2924/01077 , H01L2924/01044 , H01L2924/01029 , H01L2924/01028 , H01L2924/01026 , H01L2924/01012 , H01L2924/0103 , H01L2924/01013 , H01L2924/01049 , H01L2924/01014 , H01L2924/01032 , H01L2924/01004 , H01L2924/01083 , H01L2924/01034 , H01L2924/01058 , H01L2924/01039 , H01L2924/01057 , H01L2924/0102 , H01L2924/01063 , H01L2924/01203 , H01L2924/00 , H01L2924/013 , H01L2924/00014 , H01L2924/01025 , H01L2924/00013 , H01L2924/01079 , H01L2924/0105 , H01L2924/01022 , H01L2924/01052 , H01L2224/45644 , H01L2924/00015 , H01L2224/45664 , H01L2224/45669 , H01L2924/01048
Abstract: 本发明的目的在于提供一种Ag-Pd-Pt三元合金或Ag-Pd-Pt三元系合金的高速信号线用接合线,即使在该接合线的表面形成不稳定的硫化银层时,仍无坚固的硫化银(Ag2S)膜,并可传送稳定的数千兆赫频带等的超高频信号。该高速信号线用接合线是由0.8~2.5质量%的钯(Pd)、0.1~0.7质量%的铂(Pt)、及剩余部分为纯度99.99质量%以上的银(Ag)所构成的三元合金、或于该三元合金中添加微量元素所构成的三元系合金,该接合线的剖面是由表皮膜与芯材构成,该银合金的表皮膜中存在具有高浓度银(Ag)的表面偏析层。
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公开(公告)号:CN104157625B
公开(公告)日:2017-03-01
申请号:CN201410108092.5
申请日:2014-03-21
Applicant: 田中电子工业株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种银-钯-金(Ag-Pd-Au)基合金的高速信号线用接合线,其即使在接合线表面形成不稳定的硫化银层时,仍无坚固的硫化银(Ag2S)膜,并可传输稳定的数千兆赫(giga Hertz,GHz)带等的超高频信号。本发明的解决方法是提供一种高速信号线用接合线,其是由钯(Pd)2.5~4.0质量%、金(Au)1.5~2.5质量%及剩余部分为纯度99.99质量%以上的银(Ag)所构成的三元合金,该接合线剖面是由表皮膜与芯材所构成,该表皮膜是由在连续铸造后所缩径的连续铸造面与表面偏析层所构成,该表面偏析层是由较芯材含量渐增的银(Ag)且含量渐减的金(Au)的合金区域所构成。
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公开(公告)号:CN105321917A
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201510438069.7
申请日:2015-07-23
Applicant: 田中电子工业株式会社
IPC: H01L23/49
CPC classification number: H01L2224/45 , H01L2224/45015 , H01L2224/45139 , H01L2224/45565 , H01L2224/45644 , H01L2224/45664 , H01L2224/45669 , H01L2924/00011 , H01L2924/01046 , H01L2924/01204 , H01L2924/0102 , H01L2924/01057 , H01L2924/01063 , H01L2924/01058 , H01L2924/01032 , H01L2924/01205 , H01L2924/20751 , H01L2924/00012 , H01L2924/01049
Abstract: 本发明涉及表面改质银钯合金线的结构。本发明的表面改质银钯合金线的结构为由芯材和表面改质层构成的表面改质银钯合金线的结构,所述芯材由纯度99.99质量%以上的银(Ag)及金(Au)及纯度99.9质量%以上的钯(Pd)所得的Ag-1~5质量%Pd合金或Ag-1~5质量%Pd-0.05~10质量%(Au或Pt)合金构成,所述表面改质层由纯度99.99质量%以上的金(Au)、钯(Pd)、铂(Pt)或其合金构成,所述表面改质银钯合金线的结构的特征在于,该线表面为与该芯材的晶界一同在该线的长边方向以二十~三十μm宽度的间隔形成交叉的深色环并且在该芯材的大小的纵长沟内埋设有该表面改质层的表面形态。
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公开(公告)号:CN104103616A
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:CN201410108153.8
申请日:2014-03-21
Applicant: 田中电子工业株式会社
CPC classification number: H01L24/45 , H01L24/05 , H01L24/43 , H01L24/48 , H01L2223/6611 , H01L2224/05624 , H01L2224/05644 , H01L2224/05664 , H01L2224/05669 , H01L2224/43 , H01L2224/43848 , H01L2224/45015 , H01L2224/45124 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/45565 , H01L2224/45639 , H01L2224/48511 , H01L2224/48624 , H01L2224/48644 , H01L2224/48664 , H01L2224/48669 , H01L2924/00011 , Y10T428/2958 , H01L2924/01046 , H01L2924/01078 , H01L2924/01204 , H01L2924/01045 , H01L2924/01077 , H01L2924/01044 , H01L2924/01029 , H01L2924/01028 , H01L2924/01026 , H01L2924/01012 , H01L2924/0103 , H01L2924/01013 , H01L2924/01049 , H01L2924/01014 , H01L2924/01032 , H01L2924/01004 , H01L2924/01083 , H01L2924/01034 , H01L2924/01058 , H01L2924/01039 , H01L2924/01057 , H01L2924/0102 , H01L2924/01063 , H01L2924/01203 , H01L2924/00 , H01L2924/013 , H01L2924/00014 , H01L2924/01025 , H01L2924/00013 , H01L2924/01079 , H01L2924/0105 , H01L2924/01022 , H01L2924/01052 , H01L2224/45644 , H01L2924/00015 , H01L2224/45664 , H01L2224/45669 , H01L2924/01048
Abstract: 本发明的目的在于提供一种Ag-Pd-Pt三元合金或Ag-Pd-Pt三元系合金的高速信号线用接合线,即使在该接合线的表面形成不稳定的硫化银层时,仍无坚固的硫化银(Ag2S)膜,并可传送稳定的数千兆赫频带等的超高频信号。该高速信号线用接合线是由0.8~2.5质量%的钯(Pd)、0.1~0.7质量%的铂(Pt)、及剩余部分为纯度99.99质量%以上的银(Ag)所构成的三元合金、或于该三元合金中添加微量元素所构成的三元系合金,该接合线的剖面是由表皮膜与芯材构成,该银合金的表皮膜中存在具有高浓度银(Ag)的表面偏析层。
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公开(公告)号:CN104134644B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201410131290.3
申请日:2014-04-02
Applicant: 田中电子工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种球焊用稀贵金属银合金丝,本发明旨在通过在稀贵金属银合金丝的整个面上设置极薄的碳层,利用该碳的还原作用防止大气对稀贵金属银合金的硫化和氧化,而且,即使是第二次键合时超声波的低热能,也能从键合面上去除与银合金丝表面松散结合的硫化银膜等。本发明的球焊用稀贵金属银合金丝的特征在于,在质量百分比纯度99.9%以上的钯、铂及金中的至少一种的总量占质量百分比0.1~6%、且其他部分由质量百分比纯度99.99%以上的银构成的球焊用稀贵金属银合金丝的表面结构中,该键合丝表面是连铸面经金刚石模具缩径后的拉丝加工面,该拉丝加工面的整个面上形成了总有机碳量为50~3,000μg/m2的有机碳层。
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公开(公告)号:CN106158675A
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:CN201510193619.3
申请日:2015-04-22
Applicant: 田中电子工业株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L24/45 , H01L24/43 , H01L24/48 , H01L24/78 , H01L24/85 , H01L2224/05624 , H01L2224/43 , H01L2224/43848 , H01L2224/45015 , H01L2224/45139 , H01L2224/45144 , H01L2224/456 , H01L2224/48247 , H01L2224/78601 , H01L2224/85045 , H01L2224/85203 , H01L2224/85207 , H01L2224/85439 , H01L2924/00011 , H01L2924/01006 , H01L2924/0102 , H01L2924/013 , H01L2924/12041 , H01L2924/181 , H01L2924/2064 , H01L2924/01079 , H01L2924/01204 , H01L2924/01008 , H01L2924/00015 , H01L2924/20752 , H01L2924/00012 , H01L2924/20753 , H01L2924/00014 , H01L2924/20105 , H01L2924/00 , H01L2924/01049 , H01L2924/01004
Abstract: 本发明的目的在于提供一种银金合金接合线,其即使是高纯度的银金合金接合线,相较于目前为止相同组成成分的银金合金,对于在树脂密封情况下的热冲击性发挥较优异的效果。另外,本发明的目的是提供一种卷绕于滚动条上的银金合金接合线的退绕性良好的银金合金接合线。本发明的银金合金接合线,其特征为:在由银金合金所形成的接合线中,以质量百分比来说,含有10%以上30%以下的金(Au)、含有30ppm以上90ppm以下的钙(Ca),剩余部分由上述元素以外的金属元素的纯度99.99%以上的银(Ag)所形成的合金,在该合金的表层形成氧(O)和钙(Ca)的浓化层,且在该表层的正下层形成金浓化层。
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