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公开(公告)号：CN105247785B
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201480030126.1
申请日：2014-05-21
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/25 , H03H9/02559 , H03H9/02574 , H03H9/02834 , H03H9/02897 , H03H9/02929 , H03H9/02992 , H03H9/1042 , H03H9/1071 , H03H9/14541
Abstract: 在有温度变化的环境中，纵使产生了热应力也维持声表面波装置的内部的气密状态。声表面波装置(1)具备压电基板(11)、电介质膜(12)、IDT电极(13、14)和树脂构件(15)，并具有压电基板(11)和树脂构件(15)直接接触的树脂接触区域(RC)。树脂接触区域(RC)呈包围IDT电极(13、14)那样的形状。由于树脂构件(15)相对于压电基板(11)的密接力较大，因此能抑制压电基板(11)与树脂构件(15)之间的剥离，能维持声表面波装置(1)的内部的气密状态。
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公开(公告)号：CN114731151A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080078560.2
申请日：2020-11-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 电子部件(100)具备基板(110)、形成在基板上的功能元件(120)、第1电极(150)、绝缘体的支承体(160)、覆盖部(190)、第2电极(170)、以及突起部(180)。第1电极(150)配置在基板上，并与功能元件(120)连接。支承体(160)覆盖第1电极(150)，并从基板(110)突出。覆盖部(190)与基板(110)对置地配置，由基板(110)、支承体(160)以及覆盖部(190)形成中空空间(155)。第2电极(170)配置在形成于支承体(160)以及覆盖部(190)的贯通孔，并与第1电极(150)电连接。突起部(180)在上述的贯通孔中形成在第1电极(150)上。
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公开(公告)号：CN105794108A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201480066263.0
申请日：2014-12-18
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/058 , H01L41/0475 , H01L2224/24 , H03H3/08 , H03H9/1071 , H03H9/14541
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂或缺损，并且难以产生特性的恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)在支撑基板(2)上设置多层膜(3)，多层膜(3)包含：压电薄膜(6)、和压电薄膜(6)以外的层，设置被设置在压电薄膜(6)的一面的IDT电极(7)，具备与IDT电极(7)电连接的外部连接端子，俯视下，在设置有IDT电极(7)的区域的外侧的区域，多层膜(3)被局部除去，在多层膜(3)被除去的区域的至少一部分，还具备设置在支撑基板(2)上的第1绝缘层(10、11)。
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公开(公告)号：CN107615658B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201680029063.7
申请日：2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口且难以产生层叠膜中的界面剥离，进而强度高的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠了层叠膜(13)的弹性波装置(1)。设置有第一支承层(8a)，使得包围设置有IDT电极(5a、5d)的区域。在被第一支承层(8a)包围的区域设置有第二支承层(8b)。在第一支承层(8a)、第二支承层(8b)上，固定有覆盖构件(9)，使得封闭由第一支承层(8a)形成的开口部。层叠膜(13)部分地不存在，在不存在层叠膜(13)的区域(R1)的至少一部分设置有绝缘层(12)。第一支承层(8a)以及第二支承层(8b)中的至少一方设置在绝缘层(12)上。
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公开(公告)号：CN105794108B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201480066263.0
申请日：2014-12-18
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂或缺损，并且难以产生特性的恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)在支撑基板(2)上设置多层膜(3)，多层膜(3)包含：压电薄膜(6)、和压电薄膜(6)以外的层，设置被设置在压电薄膜(6)的一面的IDT电极(7)，具备与IDT电极(7)电连接的外部连接端子，俯视下，在设置有IDT电极(7)的区域的外侧的区域，多层膜(3)被局部除去，在多层膜(3)被除去的区域的至少一部分，还具备设置在支撑基板(2)上的第1绝缘层(10、11)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105247785A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201480030126.1
申请日：2014-05-21
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/25 , H03H9/02559 , H03H9/02574 , H03H9/02834 , H03H9/02897 , H03H9/02929 , H03H9/02992 , H03H9/1042 , H03H9/1071 , H03H9/14541
Abstract: 在有温度变化的环境中，纵使产生了热应力也维持声表面波装置的内部的气密状态。声表面波装置(1)具备压电基板(11)、电介质膜(12)、IDT电极(13、14)和树脂构件(15)，并具有压电基板(11)和树脂构件(15)直接接触的树脂接触区域(RC)。树脂接触区域(RC)呈包围IDT电极(13、14)那样的形状。由于树脂构件(15)相对于压电基板(11)的密接力较大，因此能抑制压电基板(11)与树脂构件(15)之间的剥离，能维持声表面波装置(1)的内部的气密状态。
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公开(公告)号：CN114731152A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080079207.6
申请日：2020-11-09
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 电子部件(100)具备基板(110)、形成在基板(110)上的功能元件(120)、支承体(140)、覆盖部(150)和对覆盖部(150)进行覆盖的保护层(160)。支承体(140)在基板(110)上配置于形成了功能元件(120)的区域的周围。覆盖部(150)与基板(110)对置地配置并被支承体(140)支承。通过基板(110)、支承体(140)及覆盖部(150)形成中空空间(190)。功能元件(120)形成在中空空间(190)的内部。若将支承体(140)中与基板(110)侧的面相反的面设为第1面(141)，则保护层(160)的一部分不隔着覆盖部(150)地与支承体(140)的第1面(141)相接。
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公开(公告)号：CN107615658A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680029063.7
申请日：2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口且难以产生层叠膜中的界面剥离，进而强度高的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠了层叠膜(13)的弹性波装置(1)。设置有第一支承层(8a)，使得包围设置有IDT电极(5a、5d)的区域。在被第一支承层(8a)包围的区域设置有第二支承层(8b)。在第一支承层(8a)、第二支承层(8b)上，固定有覆盖构件(9)，使得封闭由第一支承层(8a)形成的开口部。层叠膜(13)部分地不存在，在不存在层叠膜(13)的区域(R1)的至少一部分设置有绝缘层(12)。第一支承层(8a)以及第二支承层(8b)中的至少一方设置在绝缘层(12)上。
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公开(公告)号：CN219577027U
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202320761389.6
申请日：2023-04-07
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 一种弹性波装置、高频模块以及通信装置，抑制特性劣化。支承层(2)在第1方向(D1)上配置在基板(1)与盖层(3)之间。盖层(3)包括树脂(32)以及填料(33)。在以第2方向为法线方向的一个截面(CS1)中，第3方向(D3)上的支承层的边缘(221)与盖层的接点(P11)和填料在第1方向上重叠。在一个截面(CS1)的第1方向上，支承层中的第3方向的长度为最小长度(m4)的第1位置(P1)，位于支承层中的第3方向的长度为最大长度(m5)的第2位置(P2)与支承层中的与盖层接触的第3位置(P3)之间。在一个截面(CS1)的第3方向上，填料的长度(ml)比支承层的最大长度(m5)与最小长度(m4)之差的1/2的长度(m3)长。
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公开(公告)号：CN219678430U
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202320761420.6
申请日：2023-04-07
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 一种弹性波装置、高频模块及通信装置，能减少贯通电极相对于支承层及盖层的相对移动。盖层包括树脂及填料。贯通电极中盖层的贯通部包括第1部分，支承层的贯通部包括第2部分。在以第2方向为法线方向的一个截面中，第1部分的第3方向的宽度在第1位置比距基板的距离长于第1位置的第2位置宽，在第1位置与第2位置之间随着距第1位置的距离变短而逐渐变宽。基板的厚度方向的第1方向与第2方向及第3方向正交，第3方向与第2方向正交。在所述一个截面中，第2部分的第3方向的宽度在第3位置比距基板1的距离长于第3位置的第4位置窄，在第3位置与第4位置之间随着距第3位置的距离变短而逐渐变窄。在从第1方向俯视时第1部分与填料重叠。
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