公开(公告)号：CN105794107A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201480066259.4

申请日：2014-12-18

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 西条慎 ,  山崎央 ,  山本浩司 ,  甲斐诚二 ,  渡边宗久

IPC: H03H9/145 ,  H03H3/08 ,  H03H9/25

CPC classification number: H03H9/14544 ,  H03H3/08 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02992 ,  H03H9/0514 ,  H03H9/0542 ,  H03H9/0552 ,  H03H9/1014 ,  H03H9/1071 ,  H03H9/132 ,  H03H9/145

Abstract: 提供难以出现压电薄膜的破裂或剥落的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在支承基板(2)上层叠将包含压电薄膜(6)的多个膜层叠而成的层叠膜(3)，IDT电极(11)设置在压电薄膜(6)的一面，在IDT电极(11)连接布线电极(12)，布线电极(12)具有引出电极部(13)和焊盘电极部(14)，外部连接端子(7)位于焊盘电极部(14)的上方，外部连接端子(7)与焊盘电极部(14)电连接，在支承基板(2)上，在焊盘电极部(14)上接合外部连接端子(7)，使层叠膜(3)中至少压电薄膜(6)不存在于焊盘电极部(14)的下方。

公开(公告)号：CN105794108A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201480066263.0

申请日：2014-12-18

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 菊知拓 ,  西条慎 ,  山崎央 ,  福岛正宏 ,  三轮祐司

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25

CPC classification number: H03H9/058 ,  H01L41/0475 ,  H01L2224/24 ,  H03H3/08 ,  H03H9/1071 ,  H03H9/14541

Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂或缺损，并且难以产生特性的恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)在支撑基板(2)上设置多层膜(3)，多层膜(3)包含：压电薄膜(6)、和压电薄膜(6)以外的层，设置被设置在压电薄膜(6)的一面的IDT电极(7)，具备与IDT电极(7)电连接的外部连接端子，俯视下，在设置有IDT电极(7)的区域的外侧的区域，多层膜(3)被局部除去，在多层膜(3)被除去的区域的至少一部分，还具备设置在支撑基板(2)上的第1绝缘层(10、11)。

公开(公告)号：CN105794108B

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201480066263.0

申请日：2014-12-18

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 菊知拓 ,  西条慎 ,  山崎央 ,  福岛正宏 ,  三轮祐司

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25

Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂或缺损，并且难以产生特性的恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)在支撑基板(2)上设置多层膜(3)，多层膜(3)包含：压电薄膜(6)、和压电薄膜(6)以外的层，设置被设置在压电薄膜(6)的一面的IDT电极(7)，具备与IDT电极(7)电连接的外部连接端子，俯视下，在设置有IDT电极(7)的区域的外侧的区域，多层膜(3)被局部除去，在多层膜(3)被除去的区域的至少一部分，还具备设置在支撑基板(2)上的第1绝缘层(10、11)。

公开(公告)号：CN105794107B

公开(公告)日：2018-12-25

申请号：CN201480066259.4

申请日：2014-12-18

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 西条慎 ,  山崎央 ,  山本浩司 ,  甲斐诚二 ,  渡边宗久

IPC: H03H9/145 ,  H03H3/08 ,  H03H9/25

Abstract: 提供难以出现压电薄膜的破裂或剥落的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在支承基板(2)上层叠将包含压电薄膜(6)的多个膜层叠而成的层叠膜(3)，IDT电极(11)设置在压电薄膜(6)的一面，在IDT电极(11)连接布线电极(12)，布线电极(12)具有引出电极部(13)和焊盘电极部(14)，外部连接端子(7)位于焊盘电极部(14)的上方，外部连接端子(7)与焊盘电极部(14)电连接，在支承基板(2)上，在焊盘电极部(14)上接合外部连接端子(7)，使层叠膜(3)中至少压电薄膜(6)不存在于焊盘电极部(14)的下方。