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公开(公告)号：CN110166017B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201910065845.1
申请日：2019-01-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够抑制由高阶模造成的无用波且能够抑制高阶模的频率的变动的弹性波装置、多工器、高频前端电路以及通信装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；高声速膜(3)，设置在支承基板(2)上；低声速膜(4)，设置在高声速膜(3)上；压电体层(5)，设置在低声速膜(4)上；以及IDT电极(6)，设置在压电体层(5)上。在高声速膜(3)传播的体波的声速比在压电体层(5)传播的弹性波的声速高，在低声速膜(4)传播的体波的声速比在压电体层(5)传播的弹性波的声速低，高声速膜3包含SiNx，且x＜0.67。
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公开(公告)号：CN105794107A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201480066259.4
申请日：2014-12-18
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/14544 , H03H3/08 , H03H9/02574 , H03H9/02992 , H03H9/0514 , H03H9/0542 , H03H9/0552 , H03H9/1014 , H03H9/1071 , H03H9/132 , H03H9/145
Abstract: 提供难以出现压电薄膜的破裂或剥落的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在支承基板(2)上层叠将包含压电薄膜(6)的多个膜层叠而成的层叠膜(3)，IDT电极(11)设置在压电薄膜(6)的一面，在IDT电极(11)连接布线电极(12)，布线电极(12)具有引出电极部(13)和焊盘电极部(14)，外部连接端子(7)位于焊盘电极部(14)的上方，外部连接端子(7)与焊盘电极部(14)电连接，在支承基板(2)上，在焊盘电极部(14)上接合外部连接端子(7)，使层叠膜(3)中至少压电薄膜(6)不存在于焊盘电极部(14)的下方。
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公开(公告)号：CN110166016B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201811608066.3
申请日：2018-12-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/02
Abstract: 本发明提供一种弹性波装置，该弹性波装置作为高声速膜而具有氮化硅层，其中，不易产生IMD特性的劣化，且不易产生氮化硅层的自毁。一种弹性波装置，在由半导体构成的支承基板(2)上直接或间接地层叠有SiNx层(3)，在SiNx层(3)上直接或间接地层叠有压电膜(5)，弹性波装置具备直接或间接地层叠在压电膜(5)的至少一个主面上的IDT电极(6)，在SiNx层(3)中，x处于1.34以上且1.66以下的范围。
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公开(公告)号：CN115315899A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202180023559.4
申请日：2021-04-01
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 弹性波装置(1)在X轴方向上传播弹性波。弹性波装置(1)具备：弹压电基板(2)；以及第1电极指(4b)，设置在弹压电基板(2)的主面(2a)上，并在Y轴方向上延伸。弹性波装置(1)构成为弹性波声速从第1电极指(4b)的中央朝向Y轴方向上的外侧按中声速、低声速、高声速的顺序分布。弹性波装置(1)还具备配置在压电基板(2)与第1电极指(4b)的前端部之间的第1电介质(41)。第1电介质(41)的Y轴方向上的端面具有第1侧面(S1)和第2侧面(S2)。第1侧面(S1)的倾斜角小于第2侧面(S2)的倾斜角。
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公开(公告)号：CN111066244A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201880054861.4
申请日：2018-07-12
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种不易产生层叠膜的破裂、碎片且支承基板和层叠膜不易剥离的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；层叠膜(3)，设置在支承基板(2)上，在俯视的情况下设置得比支承基板(2)的外缘的至少一部分靠内侧，且包含压电薄膜(6)；IDT电极(16)，设置在层叠膜(3)上；绝缘层(19)，设置在支承基板(2)上以及层叠膜(3)上，从支承基板(2)上到达层叠膜(3)上；连接电极(17)，设置在绝缘层(19)上，与IDT电极(16)电连接；以及外部连接端子，与连接电极(17)电连接，直接或间接地设置在连接电极(17)上，且在俯视的情况下设置在支承基板(2)上且设置在设置有层叠膜(3)的区域的外侧，支承基板(2)中的层叠膜(3)侧的主面在俯视的情况下在层叠膜(3)的外缘的位置具有凹部(12)，凹部(12)被绝缘层(19)覆盖。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110166016A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201811608066.3
申请日：2018-12-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/02
Abstract: 本发明提供一种弹性波装置，该弹性波装置作为高声速膜而具有氮化硅层，其中，不易产生IMD特性的劣化，且不易产生氮化硅层的自毁。一种弹性波装置，在由半导体构成的支承基板(2)上直接或间接地层叠有SiNx层(3)，在SiNx层(3)上直接或间接地层叠有压电膜(5)，弹性波装置具备直接或间接地层叠在压电膜(5)的至少一个主面上的IDT电极(6)，在SiNx层(3)中，x处于1.34以上且1.66以下的范围。
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公开(公告)号：CN107615659B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201680031526.3
申请日：2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂、缺口，且难以产生层叠膜中的界面剥离，进而难以产生布线电极的断线的弹性波装置。在支承基板(2)上层叠有包含压电薄膜(4)的层叠膜(3)的弹性波装置(1)。在设置有IDT电极(5a～5c)的区域的外侧的区域，部分地不存在层叠膜(3)。设置有第一绝缘层(12)，使得从不存在该层叠膜(3)的区域(R)的至少一部分到达压电薄膜(4)上。布线电极(6a)从压电薄膜(4)上到达第一绝缘层(12)上，并到达位于区域(R)的第一绝缘层部分上。
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公开(公告)号：CN110166017A
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201910065845.1
申请日：2019-01-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够抑制由高阶模造成的无用波且能够抑制高阶模的频率的变动的弹性波装置、多工器、高频前端电路以及通信装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；高声速膜(3)，设置在支承基板(2)上；低声速膜(4)，设置在高声速膜(3)上；压电体层(5)，设置在低声速膜(4)上；以及IDT电极(6)，设置在压电体层(5)上。在高声速膜(3)传播的体波的声速比在压电体层(5)传播的弹性波的声速高，在低声速膜(4)传播的体波的声速比在压电体层(5)传播的弹性波的声速低，高声速膜3包含SiNx，且x＜0.67。
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公开(公告)号：CN1572057A
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN03801337.1
申请日：2003-05-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/059 , H01L24/97 , H01L2224/16225 , H01L2924/181 , H01L2924/18161 , H03H9/1085 , H03H9/6469 , H01L2924/00012
Abstract: 一种表面声波装置，在该装置中可防止用于密封在表面声波元件和安装板之间的间隙的密封树脂流入到达表面声波元件的振动部分。在本发明的表面声波装置1中，表面声波元件2通过凸缘4与安装板3连接，表面声波元件2的外周缘用密封树脂5加以密封，确保在表面声波元件2的振动部分6和安装板3之间有振动空间7。在表面声波元件2中，设置了包围凸缘4和振动部分6的外阻挡层和包围振动部分6的内阻挡层，把外阻挡层9的高度h1设定为低于凸缘4的高度h2和形成在安装板3上的电极焊接区8的高度h3的总高度h4，并把内阻挡层10的高度h5设定为低于凸缘4的高度h2。
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公开(公告)号：CN111066244B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN201880054861.4
申请日：2018-07-12
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种不易产生层叠膜的破裂、碎片且支承基板和层叠膜不易剥离的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；层叠膜(3)，设置在支承基板(2)上，在俯视的情况下设置得比支承基板(2)的外缘的至少一部分靠内侧，且包含压电薄膜(6)；IDT电极(16)，设置在层叠膜(3)上；绝缘层(19)，设置在支承基板(2)上以及层叠膜(3)上，从支承基板(2)上到达层叠膜(3)上；连接电极(17)，设置在绝缘层(19)上，与IDT电极(16)电连接；以及外部连接端子，与连接电极(17)电连接，直接或间接地设置在连接电极(17)上，且在俯视的情况下设置在支承基板(2)上且设置在设置有层叠膜(3)的区域的外侧，支承基板(2)中的层叠膜(3)侧的主面在俯视的情况下在层叠膜(3)的外缘的位置具有凹部(12)，凹部(12)被绝缘层(19)覆盖。
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