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公开(公告)号：CN106575958B
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201580044328.6
申请日：2015-10-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种使用由无机电介质材料构成的层间绝缘膜且层间绝缘膜上的布线不易产生裂缝、断线的弹性波装置。弹性波装置(1)在压电基板(2)上设置有多个IDT电极，并具备对多个IDT电极进行电连接的多个布线，多个布线具有第一布线(11)和第二布线(12)，由无机电介质材料构成的层间绝缘膜(13)设置为覆盖第一布线(11)的一部分，第二布线(12)的一部分隔着层间绝缘膜(13)而与第一布线(11)的一部分进行立体交叉，在立体交叉部分(B)中第二布线(12)从层间绝缘膜(13)的外侧的区域到达层间绝缘膜(13)上的部分处，设置有第一辅助布线电极(14、15)，其设置在压电基板(2)上，且设置为在俯视时至少一部分与第二布线(12)重叠且到达层间绝缘膜(13)内。
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公开(公告)号：CN109075768A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780022799.6
申请日：2017-02-21
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种不易产生布线电极的损伤的弹性波装置。在压电基板(2)的第一主面(2a)设置有IDT电极(3)以及由金属构成的布线电极(4)。设置有过孔电极(6、6)，使得贯通压电基板(2)。过孔电极(6)与外部连接端子连接。配置有覆盖构件(8)，使得与压电基板(2)的第一主面(2a)构成对IDT电极(3)进行密封的中空空间(13)。具备散热构件(14)，该散热构件(14)设置在布线电极(4)上，从布线电极(4)朝向覆盖构件(8)延伸，并贯通覆盖构件(8)。
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公开(公告)号：CN102334290B
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201080009596.1
申请日：2010-03-03
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/0009 , H03H9/02818 , H03H9/02834 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种表面声波元件及其制造方法，该表面声波元件的能量损耗小、且例如在用于滤波器装置时能抑制在主响应的谐振频率附近产生的寄生频率从而能够提高滤波器装置的通频带附近的频率特性。表面声波元件(10)具备压电性基板(11)、梳齿状电极(12)和绝缘膜(13)。梳齿状电极(12)形成在压电性基板上(11)。绝缘膜(13)以覆盖压电性基板(11)和梳齿状电极(12)的方式形成。在将压电性基板(11)中传播的弹性波的波长设为λ、将从压电性基板(11)的上表面到绝缘膜(13)的上表面为止的厚度尺寸的最大值与最小值之差设为h时，h/λ处于0.01≤h/λ≤0.03的范围内。
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公开(公告)号：CN107615660A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680032834.8
申请日：2016-05-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供散热性优异、衰减特性的劣化难以产生的弹性波滤波器装置。弹性波滤波器装置，在压电基板(2)的第1主面(2a)上设置有IDT电极(3、4)及第1、第2电极连接盘(5a、6a)，通过压电基板(2)、支承层(13)与罩盖构件(14)构成中空部(A)。在压电基板(2)的第2主面(2b)设置有信号端子(7a)、接地端子(8a)和热扩散层(9)。第1、第2电极连接盘(5a、6a)通过第1、第2连接电极(10、11)而分别电连接于信号端子(7a)及接地端子(8a)。热扩散层(9)设置于隔着压电基板(2)而与IDT电极(3、4)的至少一部分重合的位置。
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公开(公告)号：CN105453426A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201480043995.8
申请日：2014-08-11
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02992 , H01L2224/16225 , H03H3/08 , H03H9/02574 , H03H9/0542 , H03H9/059 , H03H9/1064
Abstract: 弹性波装置(1)具有：压电基板(10)、IDT电极(11)、布线(14)、焊盘(20)、下凸块金属(18)、第1电介质层(15)和第2电介质层(16)。IDT电极(11)的至少一部分由第1导电膜(41)构成，布线(14)的至少一部分由具有第1导电膜(41)和第2导电膜(42)的层叠体构成，焊盘(20)的至少一部分由第2导电膜(42)构成。第2电介质层(16)被形成为覆盖第2导电膜(42)与下凸块金属(18)的接触区域(C)以外的区域(NC)。因而，第2导电膜(42)被第2电介质层(16)及下凸块金属(18)覆盖而不会露出到大气中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102334290A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201080009596.1
申请日：2010-03-03
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/0009 , H03H9/02818 , H03H9/02834 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种表面声波元件及其制造方法，该表面声波元件的能量损耗小、且例如在用于滤波器装置时能抑制在主响应的谐振频率附近产生的寄生频率从而能够提高滤波器装置的通频带附近的频率特性。表面声波元件(10)具备压电性基板(11)、梳齿状电极(12)和绝缘膜(13)。梳齿状电极(12)形成在压电性基板上(11)。绝缘膜(13)以覆盖压电性基板(11)和梳齿状电极(12)的方式形成。在将压电性基板(11)中传播的弹性波的波长设为λ、将从压电性基板(11)的上表面到绝缘膜(13)的上表面为止的厚度尺寸的最大值与最小值之差设为h时，h/λ处于0.01≤h/λ≤0.03的范围内。
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公开(公告)号：CN109314500A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201780035673.2
申请日：2017-03-23
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种过孔电极不易从压电体脱落的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)(压电体)，具有相互对置的一个主面(2a)以及另一个主面(2b)；过孔电极(8a)，贯通压电基板(2)；以及布线电极(4a)，设置在压电基板(2)的一个主面(2a)上。过孔电极(8a)的一个端部与布线电极(4a)连接，过孔电极(8a)在布线电极(4a)侧的一个端部具有延伸以使得相接到压电基板(2)的一个主面(2a)上的卡止部(8a2)。
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公开(公告)号：CN105453426B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201480043995.8
申请日：2014-08-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 弹性波装置(1)具有：压电基板(10)、IDT电极(11)、布线(14)、焊盘(20)、下凸块金属(18)、第1电介质层(15)和第2电介质层(16)。IDT电极(11)的至少一部分由第1导电膜(41)构成，布线(14)的至少一部分由具有第1导电膜(41)和第2导电膜(42)的层叠体构成，焊盘(20)的至少一部分由第2导电膜(42)构成。第2电介质层(16)被形成为覆盖第2导电膜(42)与下凸块金属(18)的接触区域(C)以外的区域(NC)。因而，第2导电膜(42)被第2电介质层(16)及下凸块金属(18)覆盖而不会露出到大气中。
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公开(公告)号：CN107534429A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680026762.6
申请日：2016-06-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够减小激励弹性波时的IDT电极的形变、能够使得IMD特性良好的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：具有电极形成面(3a)的压电基板(3)、和被设置在电极形成面(3a)上的IDT电极(2)。IDT电极(2)具有：被设置在电极形成面(3a)上的紧贴层(4)、和被设置在紧贴层(4)上的主电极层(6)。紧贴层4具有第1层(4A)、第2层(4B)。第1层(4A)、第2层(4B)具有第1侧面(4Ac)、第2侧面(4Bc)。第1侧面(4Ac)、第2侧面(4Bc)的至少一部分与电极形成面(3a)的法线方向Z形成第1侧面(4Ac)的倾斜角度(θ1)、第2侧面(4Bc)的倾斜角度(θ2)，以使得第2层(4B)紧贴于主电极层(6)的面的面积小于第1层(4A)紧贴于压电基板(3)的面的面积。第2侧面(4Bc)的倾斜角度(θ2)小于第1侧面(4Ac)的倾斜角度(θ1)。
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公开(公告)号：CN105794108A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201480066263.0
申请日：2014-12-18
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/058 , H01L41/0475 , H01L2224/24 , H03H3/08 , H03H9/1071 , H03H9/14541
Abstract: 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂或缺损，并且难以产生特性的恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)在支撑基板(2)上设置多层膜(3)，多层膜(3)包含：压电薄膜(6)、和压电薄膜(6)以外的层，设置被设置在压电薄膜(6)的一面的IDT电极(7)，具备与IDT电极(7)电连接的外部连接端子，俯视下，在设置有IDT电极(7)的区域的外侧的区域，多层膜(3)被局部除去，在多层膜(3)被除去的区域的至少一部分，还具备设置在支撑基板(2)上的第1绝缘层(10、11)。
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