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公开(公告)号：CN107615655B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201680032560.2
申请日：2016-06-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木间智裕
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供在密接层、第1电极层、防扩散层、第2电极层的层叠构造中耐候性优越的弹性波装置。压电基板(2)上设置有IDT电极(3)，IDT电极(3)具有：具有第1及第2主面(11a及11b)和侧面(11c)并且被设置成第2主面(11b)与压电基板(2)相接的密接层(11)、和设置在密接层(11)上的至少2层以上的电极层，具有该至少2层以上的电极层内的第1电极层(12)和第2电极层(14)。第1电极层(12)由密度比Al高的材料组成。第2电极层(14)的密度比第1电极层(12)低。至少2层以上的电极层内的1层电极层的耐候性高于所述密接层(11)、且被设置成覆盖密接层(11)的侧面(11c)。
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公开(公告)号：CN104600189B
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201410558151.9
申请日：2014-10-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木间智裕
IPC: H01L41/047 , H01L41/27 , H03H9/02
CPC classification number: H01L41/0477 , C30B23/025 , C30B25/183 , C30B29/02 , C30B29/52 , H03H9/02992 , H03H9/14573
Abstract: 本发明提供一种弹性波装置及其制造方法，能够提高耐电力性且降低第1、第2电极问的接触电阻。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，其具有主面；和第1电极(11)，其设置在所述压电基板(2)的所述主面上，由从下层至上层层叠了至少3层金属膜而成的第1层叠金属膜构成，至少包含IDT电极(3)，所述第1层叠金属膜包含作为最上层的Ti膜(1lc)，具有按照该Ti膜(1lc)的Ti结晶的(001)面的法线方向与形成所述压电基板(2)的压电体的结晶的Z轴一致的方式在一定方向上取向的结晶方位。
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公开(公告)号：CN104600189A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410558151.9
申请日：2014-10-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木间智裕
IPC: H01L41/047 , H01L41/27 , H03H9/02
CPC classification number: H01L41/0477 , C30B23/025 , C30B25/183 , C30B29/02 , C30B29/52 , H03H9/02992 , H03H9/14573
Abstract: 本发明提供一种弹性波装置及其制造方法，能够提高耐电力性且降低第1、第2电极问的接触电阻。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，其具有主面；和第1电极(11)，其设置在所述压电基板(2)的所述主面上，由从下层至上层层叠了至少3层金属膜而成的第1层叠金属膜构成，至少包含IDT电极(3)，所述第1层叠金属膜包含作为最上层的Ti膜(1lc)，具有按照该Ti膜(1lc)的Ti结晶的(001)面的法线方向与形成所述压电基板(2)的压电体的结晶的Z轴一致的方式在一定方向上取向的结晶方位。
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公开(公告)号：CN107615656B
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201680032649.9
申请日：2016-06-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木间智裕
Abstract: 提供即便在IDT电极被暴晒于等离子体气氛时特性的劣化也难以产生的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电基板(2)和被设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)，IDT电极(3)具有：包括最表层的电极层(3A)的至少1个以上的电极层；和保护最表层的电极层(3A)的保护电极层(3B)，保护电极层(3B)的电阻率比最表层的电极层(3A)大，最表层的电极层(3A)具有位于与压电基板(2)侧相反的一侧的第1主面(3a)、及与第1主面(3a)相连的侧面(3c)，最表层的电极层(3A)中的第1主面(3a)和从第1主面(3a)至侧面(3c)的至少一部分的区域被保护电极层(3B)覆盖，保护电极层(3B)未超越最表层的电极层(3A)的侧面(3c)的下端(P)。
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公开(公告)号：CN107534429B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201680026762.6
申请日：2016-06-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够减小激励弹性波时的IDT电极的形变、能够使得IMD特性良好的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：具有电极形成面(3a)的压电基板(3)、和被设置在电极形成面(3a)上的IDT电极(2)。IDT电极(2)具有：被设置在电极形成面(3a)上的紧贴层(4)、和被设置在紧贴层(4)上的主电极层(6)。紧贴层4具有第1层(4A)、第2层(4B)。第1层(4A)、第2层(4B)具有第1侧面(4Ac)、第2侧面(4Bc)。第1侧面(4Ac)、第2侧面(4Bc)的至少一部分与电极形成面(3a)的法线方向Z形成第1侧面(4Ac)的倾斜角度(θ1)、第2侧面(4Bc)的倾斜角度(θ2)，以使得第2层(4B)紧贴于主电极层(6)的面的面积小于第1层(4A)紧贴于压电基板(3)的面的面积。第2侧面(4Bc)的倾斜角度(θ2)小于第1侧面(4Ac)的倾斜角度(θ1)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107615656A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680032649.9
申请日：2016-06-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木间智裕
Abstract: 提供即便在IDT电极被暴晒于等离子体气氛时特性的劣化也难以产生的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电基板(2)和被设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)，IDT电极(3)具有：包括最表层的电极层(3A)的至少1个以上的电极层；和保护最表层的电极层(3A)的保护电极层(3B)，保护电极层(3B)的电阻率比最表层的电极层(3A)大，最表层的电极层(3A)具有位于与压电基板(2)侧相反的一侧的第1主面(3a)、及与第1主面(3a)相连的侧面(3c)，最表层的电极层(3A)中的第1主面(3a)和从第1主面(3a)至侧面(3c)的至少一部分的区域被保护电极层(3B)覆盖，保护电极层(3B)未超越最表层的电极层(3A)的侧面(3c)的下端(P)。
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公开(公告)号：CN109219925B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN201780034341.2
申请日：2017-04-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木间智裕
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种能够抑制IDT电极中的迁移的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电基板(2)(压电体)和直接地或间接地设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)具有第一金属层(4A～4D)、设置在第一金属层(4D)上的第二金属层(5)、以及设置在第二金属层(5)上的第三金属层(6)。第一金属层(4D)、第二金属层(5)、第三金属层(6)具有侧面部(4Da、5a、6a)。侧面部(4Da)包含作为第二金属层(5)侧的端部的第一端部(4Db)。侧面部(6a)包含作为第二金属层(5)侧的端部的第二端部(6c)。在IDT电极(3)的至少一部分中，从第一端部(4Db)经过第二金属层(5)的侧面部(5a)到达第二端部(6c)的沿面距离比连结第一端部(4Db)和第二端部(6c)的距离长。
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公开(公告)号：CN109219925A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201780034341.2
申请日：2017-04-14
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木间智裕
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种能够抑制IDT电极中的迁移的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电基板(2)(压电体)和直接地或间接地设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)具有第一金属层(4A～4D)、设置在第一金属层(4D)上的第二金属层(5)、以及设置在第二金属层(5)上的第三金属层(6)。第一金属层(4D)、第二金属层(5)、第三金属层(6)具有侧面部(4Da、5a、6a)。侧面部(4Da)包含作为第二金属层(5)侧的端部的第一端部(4Db)。侧面部(6a)包含作为第二金属层(5)侧的端部的第二端部(6c)。在IDT电极(3)的至少一部分中，从第一端部(4Db)经过第二金属层(5)的侧面部(5a)到达第二端部(6c)的沿面距离比连结第一端部(4Db)和第二端部(6c)的距离长。
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公开(公告)号：CN107615655A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680032560.2
申请日：2016-06-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 木间智裕
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供在密接层、第1电极层、防扩散层、第2电极层的层叠构造中耐候性优越的弹性波装置。压电基板(2)上设置有IDT电极(3)，IDT电极(3)具有：具有第1及第2主面(2a及2b)和侧面(11c)并且被设置成第1主面(2a)与压电基板(2)相接的密接层(11)、和设置在密接层(11)上的至少2层以上的电极层，具有该至少2层以上的电极层内的第1电极层(12)和第2电极层(14)。第1电极层(12)由密度比Al高的材料组成。第2电极层(14)的密度比第1电极层(12)低。至少2层以上的电极层内的1层电极层的耐候性高于所述密接层(11)、且被设置成覆盖密接层(11)的侧面(11c)。
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公开(公告)号：CN107534429A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680026762.6
申请日：2016-06-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够减小激励弹性波时的IDT电极的形变、能够使得IMD特性良好的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：具有电极形成面(3a)的压电基板(3)、和被设置在电极形成面(3a)上的IDT电极(2)。IDT电极(2)具有：被设置在电极形成面(3a)上的紧贴层(4)、和被设置在紧贴层(4)上的主电极层(6)。紧贴层4具有第1层(4A)、第2层(4B)。第1层(4A)、第2层(4B)具有第1侧面(4Ac)、第2侧面(4Bc)。第1侧面(4Ac)、第2侧面(4Bc)的至少一部分与电极形成面(3a)的法线方向Z形成第1侧面(4Ac)的倾斜角度(θ1)、第2侧面(4Bc)的倾斜角度(θ2)，以使得第2层(4B)紧贴于主电极层(6)的面的面积小于第1层(4A)紧贴于压电基板(3)的面的面积。第2侧面(4Bc)的倾斜角度(θ2)小于第1侧面(4Ac)的倾斜角度(θ1)。
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