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公开(公告)号：CN106575958B
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201580044328.6
申请日：2015-10-08
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种使用由无机电介质材料构成的层间绝缘膜且层间绝缘膜上的布线不易产生裂缝、断线的弹性波装置。弹性波装置(1)在压电基板(2)上设置有多个IDT电极，并具备对多个IDT电极进行电连接的多个布线，多个布线具有第一布线(11)和第二布线(12)，由无机电介质材料构成的层间绝缘膜(13)设置为覆盖第一布线(11)的一部分，第二布线(12)的一部分隔着层间绝缘膜(13)而与第一布线(11)的一部分进行立体交叉，在立体交叉部分(B)中第二布线(12)从层间绝缘膜(13)的外侧的区域到达层间绝缘膜(13)上的部分处，设置有第一辅助布线电极(14、15)，其设置在压电基板(2)上，且设置为在俯视时至少一部分与第二布线(12)重叠且到达层间绝缘膜(13)内。
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公开(公告)号：CN111448470A
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201880078092.1
申请日：2018-11-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 第一导电体部(60)包括第一基部(61)以及从与绝缘层正交的方向观察到的外形面积比第一基部(61)的外形面积小的第一狭小部(62)。第一基部(61)与第一狭小部(62)在与绝缘层正交的方向上排列设置。由与第一导电体部(60)不同的材料构成的构件(80)在从与绝缘层正交的方向观察时设置在被第一狭小部(62)的外形与第一基部(61)的外形包围的区域。
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公开(公告)号：CN111448470B
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN201880078092.1
申请日：2018-11-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 第一导电体部(60)包括第一基部(61)以及从与绝缘层正交的方向观察到的外形面积比第一基部(61)的外形面积小的第一狭小部(62)。第一基部(61)与第一狭小部(62)在与绝缘层正交的方向上排列设置。由与第一导电体部(60)不同的材料构成的构件(80)在从与绝缘层正交的方向观察时设置在被第一狭小部(62)的外形与第一基部(61)的外形包围的区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111433620A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201880078121.4
申请日：2018-11-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 第一磁性体构件(40)位于比第一磁阻元件的外周缘靠内侧的区域。第二磁阻元件位于比第一磁阻元件的内周缘靠内侧的区域且被第一磁性体构件(40)覆盖，或者位于比第一磁阻元件的外周缘靠外侧的区域且被第二磁性体构件覆盖。第一导电体部(60)包括第一基部(61)以及从与绝缘层正交的方向观察到的外形面积比第一基部(61)的外形面积小的第一狭小部(62)。在第一导电体部(60)中，第一基部(61)与第一狭小部(62)在与绝缘层正交的方向上排列设置。
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公开(公告)号：CN107534429A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680026762.6
申请日：2016-06-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够减小激励弹性波时的IDT电极的形变、能够使得IMD特性良好的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：具有电极形成面(3a)的压电基板(3)、和被设置在电极形成面(3a)上的IDT电极(2)。IDT电极(2)具有：被设置在电极形成面(3a)上的紧贴层(4)、和被设置在紧贴层(4)上的主电极层(6)。紧贴层4具有第1层(4A)、第2层(4B)。第1层(4A)、第2层(4B)具有第1侧面(4Ac)、第2侧面(4Bc)。第1侧面(4Ac)、第2侧面(4Bc)的至少一部分与电极形成面(3a)的法线方向Z形成第1侧面(4Ac)的倾斜角度(θ1)、第2侧面(4Bc)的倾斜角度(θ2)，以使得第2层(4B)紧贴于主电极层(6)的面的面积小于第1层(4A)紧贴于压电基板(3)的面的面积。第2侧面(4Bc)的倾斜角度(θ2)小于第1侧面(4Ac)的倾斜角度(θ1)。
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公开(公告)号：CN111433620B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN201880078121.4
申请日：2018-11-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 第一磁性体构件(40)位于比第一磁阻元件的外周缘靠内侧的区域。第二磁阻元件位于比第一磁阻元件的内周缘靠内侧的区域且被第一磁性体构件(40)覆盖，或者位于比第一磁阻元件的外周缘靠外侧的区域且被第二磁性体构件覆盖。第一导电体部(60)包括第一基部(61)以及从与绝缘层正交的方向观察到的外形面积比第一基部(61)的外形面积小的第一狭小部(62)。在第一导电体部(60)中，第一基部(61)与第一狭小部(62)在与绝缘层正交的方向上排列设置。
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公开(公告)号：CN107534429B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201680026762.6
申请日：2016-06-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够减小激励弹性波时的IDT电极的形变、能够使得IMD特性良好的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：具有电极形成面(3a)的压电基板(3)、和被设置在电极形成面(3a)上的IDT电极(2)。IDT电极(2)具有：被设置在电极形成面(3a)上的紧贴层(4)、和被设置在紧贴层(4)上的主电极层(6)。紧贴层4具有第1层(4A)、第2层(4B)。第1层(4A)、第2层(4B)具有第1侧面(4Ac)、第2侧面(4Bc)。第1侧面(4Ac)、第2侧面(4Bc)的至少一部分与电极形成面(3a)的法线方向Z形成第1侧面(4Ac)的倾斜角度(θ1)、第2侧面(4Bc)的倾斜角度(θ2)，以使得第2层(4B)紧贴于主电极层(6)的面的面积小于第1层(4A)紧贴于压电基板(3)的面的面积。第2侧面(4Bc)的倾斜角度(θ2)小于第1侧面(4Ac)的倾斜角度(θ1)。
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公开(公告)号：CN106575958A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580044328.6
申请日：2015-10-08
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/145 , H03H3/08 , H03H9/02897 , H03H9/1071 , H03H9/25 , H03H9/54 , H03H9/6433
Abstract: 本发明提供一种使用由无机电介质材料构成的层间绝缘膜且层间绝缘膜上的布线不易产生裂缝、断线的弹性波装置。弹性波装置(1)在压电基板(2)上设置有多个IDT电极，并具备对多个IDT电极进行电连接的多个布线，多个布线具有第一布线(11)和第二布线(12)，由无机电介质材料构成的层间绝缘膜(13)设置为覆盖第一布线(11)的一部分，第二布线(12)的一部分隔着层间绝缘膜(13)而与第一布线(11)的一部分进行立体交叉，在立体交叉部分(B)中第二布线(12)从层间绝缘膜(13)的外侧的区域到达层间绝缘膜(13)上的部分处，设置有第一辅助布线电极(14、15)，其设置在压电基板(2)上，且设置为在俯视时至少一部分与第二布线(12)重叠且到达层间绝缘膜(13)内。
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