公开(公告)号：CN113964033A

公开(公告)日：2022-01-21

申请号：CN202110834452.X

申请日：2021-07-21

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 大森贤一 ,  郑石焕 ,  佐藤亮介 ,  奥信夫

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及一种激光退火装置，根据一实施方式，该激光退火装置包括：激光光源；退火光学系统；沿Y方向的线状的照射区域；移动机构，其被配置成使相对于基板的所述照射区域的相对位置沿着X方向变化；照明光源，其被配置成产生用于沿第三方向照明所述基板的照明光；以及检测器，其被配置成检测在被所述照明光照明的基板上在第四方向上反射的检测光，以在沿Y方向的线状的视野中拍摄所述基板的被退火的部位。在YZ平面图中，所述第三方向从竖直方向倾斜，并且所述第四方向从竖直方向倾斜。此外，本发明还涉及一种激光退火方法以及一种用于制造半导体设备的方法。

公开(公告)号：CN107427961B

公开(公告)日：2019-05-14

申请号：CN201580078678.4

申请日：2015-04-08

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 山下裕大 ,  佐藤亮介 ,  井波俊夫

IPC: B23K26/073 ,  B23K26/402

Abstract: 设定在y方向上以扫描线间隔Py排列的平行的多个x方向的扫描线，使线状激光点(W)的长度方向朝向y方向，使激光点(W)沿着各扫描线相对于加工对象物进行相对移动的同时，每隔宽度方向间距Λ的照射位置进行激光照射。此时，以使相邻的扫描线上的照射位置在x方向上移位位置偏移量Δx，并且使照射的激光强度的累积值大致均等的方式，确定扫描线间隔Py、宽度方向间距Λ以及位置偏移量Δx。第奇数个扫描线上的在照射位置的长轴Cy的延长线上的轮廓的重叠量和中间轴My的延长线上的轮廓的重叠量不出现差异，因此能够使用线状激光点W进行激光照射而不产生强度不够的部分和强度过大的部分。

公开(公告)号：CN102099895B

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201080002151.0

申请日：2010-02-25

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 富樫陵太郎 ,  佐藤亮介 ,  清野俊明 ,  井波俊夫 ,  草间秀晃

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L21/02532 ,  B23K26/0732 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02686 ,  H01L27/1285

Abstract: 本发明提供一种结晶膜的制造方法及结晶膜制造装置，以1～10次的照射次数，向非晶膜照射由340～358nm的波长所形成的、具有130～240mJ/cm2的能量密度的脉冲激光，将所述非晶膜加热至不超过结晶熔点的温度使其晶化，作为优选，将脉冲激光的脉宽设为5～100ns，将频率设为6～10kHz，将短轴宽度设为1.0mm以下，使该脉冲激光相对地以50～1000mm/秒的扫描速度进行扫描，从而能高效地由非晶膜制作晶粒直径的偏差较小的、均匀而细微的结晶膜而不对基板造成损坏。

公开(公告)号：CN109804457A

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201780061352.X

申请日：2017-06-02

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 清水良 ,  佐藤亮介 ,  下地辉昭

IPC: H01L21/268 ,  G09F9/00 ,  H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L21/677 ,  H01L29/786

Abstract: 一种实施方式的激光退火装置(1)包括用于生成激光束(L)的激光振荡器(4)，用于将待由所述激光束(L)照射的工件(W)浮起并传送该工件的浮起型传送台(3)，以及用于测量所述激光束(L)的光束轮廓的光束轮廓测量仪(7)。所述浮起型传送台(3)包括与所述工件(W)相对的传送表面(3a)以及与位于该传送表面(3a)相反一侧的下表面(3b)。所述光束轮廓测量仪(7)位于所述浮起型传送台(3)下表面(3b)下方。所述浮起型传送台(3)包括处于其一部分之内的可卸除部分(12)。通过将所述可卸除部分(12)从所述浮起型传送台(3)卸除，形成开孔(S)，该开孔(3)自所述传送表面(3a)延伸至所述下表面(3b)。所述光束轮廓测量仪(7)用于经所述开孔(S)，对所述激光束(L)的光束轮廓进行测量。

公开(公告)号：CN109643647A

公开(公告)日：2019-04-16

申请号：CN201780051430.8

申请日：2017-07-14

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 大森贤一 ,  郑石焕 ,  佐藤亮介 ,  町田政志

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L21/66 ,  H01L29/786

Abstract: 根据本发明实施方式的激光退火装置(1)包括：激光光源(11)，用于发出激光光束(L1)，以使得基底(100)上的非晶膜(101a)结晶化并形成多晶硅膜(101b)；投影透镜(13)，用于会聚所述激光光束，以对硅膜(101)进行照射；探测光源，用于发出探测光束(L2)；光电检测器(25)，用于对透过硅膜(101)的探测光束(L3)进行检测；处理装置(26)，用于计算所述光电检测器所输出的检测信号的检测值的标准差，并根据该标准差，判断所述硅膜(101)的结晶状态。

公开(公告)号：CN103081065A

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：CN201180041647.3

申请日：2011-08-02

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 佐藤亮介 ,  草间秀晃 ,  富樫陵太郎 ,  井崎博大

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/20

CPC classification number: H01L21/02532 ,  B23K26/0608 ,  B23K26/0613 ,  B23K26/0676 ,  H01L21/02686 ,  H01L21/268

Abstract: 本发明能利用激光退火将半导体膜均匀地结晶化。包括输出脉冲激光的脉冲激光振荡装置、和将从该脉冲激光振荡装置输出的所述脉冲激光进行传输并照射于半导体膜的光传输单元，将所述脉冲激光照射于半导体膜，使得在半导体膜照射面，由有效功率密度（J/(秒·cm3)）＝脉冲能量密度（J/cm2）/脉冲宽度（秒）×半导体膜的吸收系数（cm－1）这一公式计算出的有效功率密度在3×1012至1.5×1012的范围内，因此，能使半导体膜结晶化而不引起由完全熔融所产生的异常晶粒生长，可得到偏差较小的均匀结晶。

公开(公告)号：CN102099895A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201080002151.0

申请日：2010-02-25

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 富樫陵太郎 ,  佐藤亮介 ,  清野俊明 ,  井波俊夫 ,  草间秀晃

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L21/02532 ,  B23K26/0732 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02686 ,  H01L27/1285

Abstract: 本发明提供一种结晶膜的制造方法及结晶膜制造装置，以1～10次的照射次数，向非晶膜照射由340～358nm的波长所形成的、具有130～240mJ/cm2的能量密度的脉冲激光，将所述非晶膜加热至不超过结晶熔点的温度使其晶化，作为优选，将脉冲激光的脉宽设为5～100ns，将频率设为6～10kHz，将短轴宽度设为1.0mm以下，使该脉冲激光相对地以50～1000mm/秒的扫描速度进行扫描，从而能高效地由非晶膜制作晶粒直径的偏差较小的、均匀而细微的结晶膜而不对基板造成损坏。

公开(公告)号：CN102959685B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201280001616.X

申请日：2012-04-27

Applicant: 昭和光电株式会社 ,  株式会社日本制钢所

Inventor： 矢幡祯也 ,  相田善明 ,  富樫陵太郎 ,  佐藤亮介 ,  井波俊夫 ,  草间秀晃

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  B23K26/067 ,  B23K26/073 ,  G02B6/00

Abstract: 本发明提供一种纤维传送激光光学系统(1)，其包括：第一光纤(3)，其传送从激光振荡器(2)输出的激光；准直透镜(4)，其校准从第一光纤(3)射出的激光；球面阵列透镜(5)，其利用多个单元(5a)把从准直透镜(4)射出的激光会聚成多点光点；多个第二光纤(6)，其具有比第一光纤(3)小的芯径，使由球面阵列透镜(5)会聚成多点光点的各激光入射，且使射出端(6b)的轴线相互平行而排列成直线状的一列；以及光学系统(7～11)，其把从多个第二光纤(6)射出的激光形成为在照射面(12)上构成直线状的激光。即使传送来自激光振荡器的激光的光纤具有较大的芯径，也能形成短边方向的尺寸较小的线状光束。

公开(公告)号：CN102959685A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201280001616.X

申请日：2012-04-27

Applicant: 昭和光电株式会社 ,  株式会社日本制钢所

Inventor： 矢幡祯也 ,  相田善明 ,  富樫陵太郎 ,  佐藤亮介 ,  井波俊夫 ,  草间秀晃

IPC: H01L21/268 ,  B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  B23K26/08 ,  H01L21/20

Abstract: 本发明提供一种纤维传送激光光学系统(1)，其包括：第一光纤(3)，其传送从激光振荡器(2)输出的激光；准直透镜(4)，其校准从第一光纤(3)射出的激光；球面阵列透镜(5)，其利用多个单元(5a)把从准直透镜(4)射出的激光会聚成多点光点；多个第二光纤(6)，其具有比第一光纤(3)小的芯径，使由球面阵列透镜(5)会聚成多点光点的各激光入射，且使射出端(6b)的轴线相互平行而排列成直线状的一列；以及光学系统(7～11)，其把从多个第二光纤(6)射出的激光形成为在照射面(12)上构成直线状的激光。即使传送来自激光振荡器的激光的光纤具有较大的芯径，也能形成短边方向的尺寸较小的线状光束。

公开(公告)号：CN107427961A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201580078678.4

申请日：2015-04-08

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 山下裕大 ,  佐藤亮介 ,  井波俊夫

IPC: B23K26/073 ,  B23K26/402

CPC classification number: B23K26/50 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0732 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/402 ,  B23K26/53 ,  B23K2103/172 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/54 ,  H01L51/003

Abstract: 设定在y方向上以扫描线间隔Py排列的平行的多个x方向的扫描线，使线状激光点(W)的长度方向朝向y方向，使激光点(W)沿着各扫描线相对于加工对象物进行相对移动的同时，每隔宽度方向间距Λ的照射位置进行激光照射。此时，以使相邻的扫描线上的照射位置在x方向上移位位置偏移量Δx，并且使照射的激光强度的累积值大致均等的方式，确定扫描线间隔Py、宽度方向间距Λ以及位置偏移量Δx。第奇数个扫描线上的在照射位置的长轴Cy的延长线上的轮廓的重叠量和中间轴My的延长线上的轮廓的重叠量不出现差异，因此能够使用线状激光点W进行激光照射而不产生强度不够的部分和强度过大的部分。