公开(公告)号：CN102834899A

公开(公告)日：2012-12-19

申请号：CN201180018247.0

申请日：2011-04-08

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 松岛达郎 ,  伊藤大介 ,  佐塚祐贵 ,  时久昌吉 ,  田子洋辅 ,  清水良

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/20

CPC classification number: H01L21/268 ,  B23K26/127

Abstract: 本发明提供一种不必在激光处理装置中设置加载互锁室等、能迅速地搬出、搬入被处理体，而且能在短时间内使处理室内的气氛稳定的激光处理装置。本发明的激光处理装置包括：处理室（2），该处理室（2）收纳被处理体（100），并在进行了调节的气氛下对被处理体（100）照射激光；以及光学系统，该光学系统将激光从外部导向处理室（2）内，处理室（2）具有用于将被处理体（100）从处理室（2）外部装入处理室（2）内部的、可开闭的装入口（7），在处理室（2）内部，包括与装入口（7）相连的加载区域（A）、及与加载区域（A）相连的激光照射区域（B），并具有分隔部，该分隔部将加载区域（A）分隔成装入口侧的空间（A1）和激光照射区域侧的空间（A2），分隔部能使被处理体（100）在装入口侧空间（A1）与激光照射区域侧空间（A2）之间移动。

公开(公告)号：CN113631318A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN201980094158.0

申请日：2019-11-29

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 下地辉昭 ,  伊藤大介 ,  松岛达郎 ,  清水良

IPC: B23K26/08 ,  B23K26/10 ,  H01L21/20 ,  H01L21/268 ,  H01L21/677 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

Abstract: 激光处理装置包括：载台(2)，其可借由从表面喷射气体来悬浮搬运基板(3)；激光振荡器，其将激光(20a)照射至基板(3)；及气体喷射口，其用于喷射惰性气体，且配置于俯视下与激光(20a)的焦点位置重叠的位置。载台(2)的表面由上部结构(5a,5b)所构成，上部结构(5a,5b)配置为彼此分离且相对。于俯视下，上部结构(5a,5b)之间的间隙与激光(20a)的焦点位置重叠。填充组件(8)配置于上部结构(5a,5b)之间，且配置为填补上部结构(5a,5b)之间的间隙。

公开(公告)号：CN113013073A

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN202110189958.X

申请日：2016-01-27

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 藤贵洋 ,  清水良

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/268 ,  H01L21/20 ,  H01L21/02 ,  B65G49/06 ,  B23K26/12

Abstract: 一种气氛形成装置，该气氛形成装置设置于上浮搬运装置，该上浮搬运装置利用气体喷出从而将工件上浮支承并搬运，在包含有进行所述搬运的搬运路径的大域区域中的大域气氛(A)内，具有小域气氛形成部，该小域气氛形成部在包含有所述搬运路径的小域区域内形成与所述大域气氛(A)不同的小域气氛(B)。

公开(公告)号：CN109891554A

公开(公告)日：2019-06-14

申请号：CN201780062257.1

申请日：2017-07-14

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 伊藤大介 ,  小田嶋保 ,  清水良 ,  町田政志 ,  松岛达郎

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786 ,  H01L51/50

Abstract: 一种实施方式的激光照射装置(1)包括用于在照射对象上施加激光(L1)的光学系统模块(20)，其内形成有供所述激光(L1)通过的狭缝(54)的遮光板(51)以及设于所述光学系统模块(20)与遮光板(51)之间的反射光接收部件(61)，其中，所述反射光接收部件(61)能够接收所述激光(L1)当中被所述遮光板(51)反射的反射光(R1)。

公开(公告)号：CN108352347B

公开(公告)日：2022-05-03

申请号：CN201680062296.7

申请日：2016-10-25

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 清水良 ,  泽井美喜 ,  佐塚祐贵 ,  伊藤大介

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/268

Abstract: 一种搬送被处理体的被处理体搬送装置，具有：搬送路径，被处理体在搬送路径中移动；在搬送路径上利用气体使被处理体浮起的气体浮起部；保持通过气体浮起部浮起的被处理体并与被处理体一起在搬送路径上移动的移动保持部；以及位于搬送路径上并具有对被处理体进行规定处理的处理区域的处理区域搬送路径，移动保持部沿着搬送路径的移动方向具有至少两个以上的保持部，各保持部能够在被处理体的移动过程中进行被处理体的保持解除和保持的切换，并进行在处理区域搬送路径中解除保持部对被处理体的保持，在处理区域搬送路径外的搬送路径中进行保持的动作。

公开(公告)号：CN109804457A

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201780061352.X

申请日：2017-06-02

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 清水良 ,  佐藤亮介 ,  下地辉昭

IPC: H01L21/268 ,  G09F9/00 ,  H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L21/677 ,  H01L29/786

Abstract: 一种实施方式的激光退火装置(1)包括用于生成激光束(L)的激光振荡器(4)，用于将待由所述激光束(L)照射的工件(W)浮起并传送该工件的浮起型传送台(3)，以及用于测量所述激光束(L)的光束轮廓的光束轮廓测量仪(7)。所述浮起型传送台(3)包括与所述工件(W)相对的传送表面(3a)以及与位于该传送表面(3a)相反一侧的下表面(3b)。所述光束轮廓测量仪(7)位于所述浮起型传送台(3)下表面(3b)下方。所述浮起型传送台(3)包括处于其一部分之内的可卸除部分(12)。通过将所述可卸除部分(12)从所述浮起型传送台(3)卸除，形成开孔(S)，该开孔(3)自所述传送表面(3a)延伸至所述下表面(3b)。所述光束轮廓测量仪(7)用于经所述开孔(S)，对所述激光束(L)的光束轮廓进行测量。

公开(公告)号：CN107430998A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680011967.7

申请日：2016-01-27

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 藤贵洋 ,  清水良

IPC: H01L21/268 ,  B65G49/06 ,  H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67736 ,  B23K26/123 ,  B23K2103/54 ,  B65G49/06 ,  B65G49/065 ,  H01L21/02 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/20 ,  H01L21/2007 ,  H01L21/268 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67784

Abstract: 一种气氛形成装置，该气氛形成装置设置于上浮搬运装置，该上浮搬运装置利用气体喷出从而将工件上浮支承并搬运，在包含有进行所述搬运的搬运路径的大域区域中的大域气氛(A)内，具有小域气氛形成部，该小域气氛形成部在包含有所述搬运路径的小域区域内形成与所述大域气氛(A)不同的小域气氛(B)。

公开(公告)号：CN111066123A

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201880054960.2

申请日：2018-02-16

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 铃木祐辉 ,  藤贵洋 ,  三上贵弘 ,  山口芳広 ,  清水良

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/20 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

Abstract: 根据一种实施方式的激光照射装置(1)包括用于产生激光的激光生成装置(14)以及用于浮起待施加所述激光的处理对象(16)的浮起单元(10)。所述浮起单元(10)包括第一区域和第二区域，所述第一和第二区域设置为使得在平面视角下，所述激光的焦点与所述第一区域重叠，且所述激光的焦点与所述第二区域不重叠。所述第二区域的表面部分由金属构件形成。

公开(公告)号：CN108352347A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680062296.7

申请日：2016-10-25

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 清水良 ,  泽井美喜 ,  佐塚祐贵 ,  伊藤大介

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/268

CPC classification number: H01L21/268 ,  H01L21/677

Abstract: 一种搬送被处理体的被处理体搬送装置，具有：搬送路径，被处理体在搬送路径中移动；在搬送路径上利用气体使被处理体浮起的气体浮起部；保持通过气体浮起部浮起的被处理体并与被处理体一起在搬送路径上移动的移动保持部；以及位于搬送路径上并具有对被处理体进行规定处理的处理区域的处理区域搬送路径，移动保持部沿着搬送路径的移动方向具有至少两个以上的保持部，各保持部能够在被处理体的移动过程中进行被处理体的保持解除和保持的切换，并进行在处理区域搬送路径中解除保持部对被处理体的保持，在处理区域搬送路径外的搬送路径中进行保持的动作。

公开(公告)号：CN102834899B

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201180018247.0

申请日：2011-04-08

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 松岛达郎 ,  伊藤大介 ,  佐塚祐贵 ,  时久昌吉 ,  田子洋辅 ,  清水良

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/20

CPC classification number: H01L21/268 ,  B23K26/127

Abstract: 本发明提供一种不必在激光处理装置中设置加载互锁室等、能迅速地搬出、搬入被处理体，而且能在短时间内使处理室内的气氛稳定的激光处理装置。本发明的激光处理装置包括：处理室（2），该处理室（2）收纳被处理体（100），并在进行了调节的气氛下对被处理体（100）照射激光；以及光学系统，该光学系统将激光从外部导向处理室（2）内，处理室（2）具有用于将被处理体（100）从处理室（2）外部装入处理室（2）内部的、可开闭的装入口（7），在处理室（2）内部，包括与装入口（7）相连的加载区域（A）、及与加载区域（A）相连的激光照射区域（B），并具有分隔部，该分隔部将加载区域（A）分隔成装入口侧的空间（A1）和激光照射区域侧的空间（A2），分隔部能使被处理体（100）在装入口侧空间（A1）与激光照射区域侧空间（A2）之间移动。