公开(公告)号：CN113631318A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN201980094158.0

申请日：2019-11-29

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 下地辉昭 ,  伊藤大介 ,  松岛达郎 ,  清水良

IPC: B23K26/08 ,  B23K26/10 ,  H01L21/20 ,  H01L21/268 ,  H01L21/677 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

Abstract: 激光处理装置包括：载台(2)，其可借由从表面喷射气体来悬浮搬运基板(3)；激光振荡器，其将激光(20a)照射至基板(3)；及气体喷射口，其用于喷射惰性气体，且配置于俯视下与激光(20a)的焦点位置重叠的位置。载台(2)的表面由上部结构(5a,5b)所构成，上部结构(5a,5b)配置为彼此分离且相对。于俯视下，上部结构(5a,5b)之间的间隙与激光(20a)的焦点位置重叠。填充组件(8)配置于上部结构(5a,5b)之间，且配置为填补上部结构(5a,5b)之间的间隙。

公开(公告)号：CN109804457A

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201780061352.X

申请日：2017-06-02

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 清水良 ,  佐藤亮介 ,  下地辉昭

IPC: H01L21/268 ,  G09F9/00 ,  H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L21/677 ,  H01L29/786

Abstract: 一种实施方式的激光退火装置(1)包括用于生成激光束(L)的激光振荡器(4)，用于将待由所述激光束(L)照射的工件(W)浮起并传送该工件的浮起型传送台(3)，以及用于测量所述激光束(L)的光束轮廓的光束轮廓测量仪(7)。所述浮起型传送台(3)包括与所述工件(W)相对的传送表面(3a)以及与位于该传送表面(3a)相反一侧的下表面(3b)。所述光束轮廓测量仪(7)位于所述浮起型传送台(3)下表面(3b)下方。所述浮起型传送台(3)包括处于其一部分之内的可卸除部分(12)。通过将所述可卸除部分(12)从所述浮起型传送台(3)卸除，形成开孔(S)，该开孔(3)自所述传送表面(3a)延伸至所述下表面(3b)。所述光束轮廓测量仪(7)用于经所述开孔(S)，对所述激光束(L)的光束轮廓进行测量。