公开(公告)号：CN102959685B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201280001616.X

申请日：2012-04-27

Applicant: 昭和光电株式会社 ,  株式会社日本制钢所

Inventor： 矢幡祯也 ,  相田善明 ,  富樫陵太郎 ,  佐藤亮介 ,  井波俊夫 ,  草间秀晃

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  B23K26/067 ,  B23K26/073 ,  G02B6/00

Abstract: 本发明提供一种纤维传送激光光学系统(1)，其包括：第一光纤(3)，其传送从激光振荡器(2)输出的激光；准直透镜(4)，其校准从第一光纤(3)射出的激光；球面阵列透镜(5)，其利用多个单元(5a)把从准直透镜(4)射出的激光会聚成多点光点；多个第二光纤(6)，其具有比第一光纤(3)小的芯径，使由球面阵列透镜(5)会聚成多点光点的各激光入射，且使射出端(6b)的轴线相互平行而排列成直线状的一列；以及光学系统(7～11)，其把从多个第二光纤(6)射出的激光形成为在照射面(12)上构成直线状的激光。即使传送来自激光振荡器的激光的光纤具有较大的芯径，也能形成短边方向的尺寸较小的线状光束。

公开(公告)号：CN102959685A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201280001616.X

申请日：2012-04-27

Applicant: 昭和光电株式会社 ,  株式会社日本制钢所

Inventor： 矢幡祯也 ,  相田善明 ,  富樫陵太郎 ,  佐藤亮介 ,  井波俊夫 ,  草间秀晃

IPC: H01L21/268 ,  B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  B23K26/08 ,  H01L21/20

Abstract: 本发明提供一种纤维传送激光光学系统(1)，其包括：第一光纤(3)，其传送从激光振荡器(2)输出的激光；准直透镜(4)，其校准从第一光纤(3)射出的激光；球面阵列透镜(5)，其利用多个单元(5a)把从准直透镜(4)射出的激光会聚成多点光点；多个第二光纤(6)，其具有比第一光纤(3)小的芯径，使由球面阵列透镜(5)会聚成多点光点的各激光入射，且使射出端(6b)的轴线相互平行而排列成直线状的一列；以及光学系统(7～11)，其把从多个第二光纤(6)射出的激光形成为在照射面(12)上构成直线状的激光。即使传送来自激光振荡器的激光的光纤具有较大的芯径，也能形成短边方向的尺寸较小的线状光束。

公开(公告)号：CN102099895A

公开(公告)日：2011-06-15

申请号：CN201080002151.0

申请日：2010-02-25

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 富樫陵太郎 ,  佐藤亮介 ,  清野俊明 ,  井波俊夫 ,  草间秀晃

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L21/02532 ,  B23K26/0732 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02686 ,  H01L27/1285

Abstract: 本发明提供一种结晶膜的制造方法及结晶膜制造装置，以1～10次的照射次数，向非晶膜照射由340～358nm的波长所形成的、具有130～240mJ/cm2的能量密度的脉冲激光，将所述非晶膜加热至不超过结晶熔点的温度使其晶化，作为优选，将脉冲激光的脉宽设为5～100ns，将频率设为6～10kHz，将短轴宽度设为1.0mm以下，使该脉冲激光相对地以50～1000mm/秒的扫描速度进行扫描，从而能高效地由非晶膜制作晶粒直径的偏差较小的、均匀而细微的结晶膜而不对基板造成损坏。

公开(公告)号：CN107427961A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201580078678.4

申请日：2015-04-08

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 山下裕大 ,  佐藤亮介 ,  井波俊夫

IPC: B23K26/073 ,  B23K26/402

CPC classification number: B23K26/50 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0732 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/402 ,  B23K26/53 ,  B23K2103/172 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/54 ,  H01L51/003

Abstract: 设定在y方向上以扫描线间隔Py排列的平行的多个x方向的扫描线，使线状激光点(W)的长度方向朝向y方向，使激光点(W)沿着各扫描线相对于加工对象物进行相对移动的同时，每隔宽度方向间距Λ的照射位置进行激光照射。此时，以使相邻的扫描线上的照射位置在x方向上移位位置偏移量Δx，并且使照射的激光强度的累积值大致均等的方式，确定扫描线间隔Py、宽度方向间距Λ以及位置偏移量Δx。第奇数个扫描线上的在照射位置的长轴Cy的延长线上的轮廓的重叠量和中间轴My的延长线上的轮廓的重叠量不出现差异，因此能够使用线状激光点W进行激光照射而不产生强度不够的部分和强度过大的部分。

公开(公告)号：CN107427961B

公开(公告)日：2019-05-14

申请号：CN201580078678.4

申请日：2015-04-08

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 山下裕大 ,  佐藤亮介 ,  井波俊夫

IPC: B23K26/073 ,  B23K26/402

Abstract: 设定在y方向上以扫描线间隔Py排列的平行的多个x方向的扫描线，使线状激光点(W)的长度方向朝向y方向，使激光点(W)沿着各扫描线相对于加工对象物进行相对移动的同时，每隔宽度方向间距Λ的照射位置进行激光照射。此时，以使相邻的扫描线上的照射位置在x方向上移位位置偏移量Δx，并且使照射的激光强度的累积值大致均等的方式，确定扫描线间隔Py、宽度方向间距Λ以及位置偏移量Δx。第奇数个扫描线上的在照射位置的长轴Cy的延长线上的轮廓的重叠量和中间轴My的延长线上的轮廓的重叠量不出现差异，因此能够使用线状激光点W进行激光照射而不产生强度不够的部分和强度过大的部分。

公开(公告)号：CN102099895B

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201080002151.0

申请日：2010-02-25

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 富樫陵太郎 ,  佐藤亮介 ,  清野俊明 ,  井波俊夫 ,  草间秀晃

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L21/02532 ,  B23K26/0732 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02686 ,  H01L27/1285

Abstract: 本发明提供一种结晶膜的制造方法及结晶膜制造装置，以1～10次的照射次数，向非晶膜照射由340～358nm的波长所形成的、具有130～240mJ/cm2的能量密度的脉冲激光，将所述非晶膜加热至不超过结晶熔点的温度使其晶化，作为优选，将脉冲激光的脉宽设为5～100ns，将频率设为6～10kHz，将短轴宽度设为1.0mm以下，使该脉冲激光相对地以50～1000mm/秒的扫描速度进行扫描，从而能高效地由非晶膜制作晶粒直径的偏差较小的、均匀而细微的结晶膜而不对基板造成损坏。

公开(公告)号：CN102067285A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN201080001857.5

申请日：2010-04-26

Applicant: 株式会社日本制钢所

Inventor： 富樫陵太郎 ,  井波俊夫 ,  草间秀晃 ,  河上徹太郎

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786

CPC classification number: H01L21/02683 ,  H01L21/02532 ,  H01L27/1285

Abstract: 本发明在使非晶膜进行晶化时，可以均匀高效地制作细微的结晶。向位于基板(6)的上层的非晶膜(非晶硅膜(6a))照射510～540nm的可见波长范围的连续振荡激光(1a)，将所述非晶膜加热至不超过熔点的温度，使该非晶膜进行晶化。连续振荡激光优选功率密度为55～290kW/cm2、短轴宽度为100μm以下，进一步优选将连续振荡激光相对地以扫描速度50～1000mm/秒进行扫描。可以从非晶膜高效地制作晶粒直径的偏差较小的细微的结晶膜而不使基板损坏。