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公开(公告)号：CN103688339B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201280035407.7
申请日：2012-07-20
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/205 , H01L21/02
CPC classification number: C23C16/4408 , C23C16/4481 , Y10T137/6416 , Y10T137/86911
Abstract: 本发明提供用于产生化学前驱物的装置和方法。所述装置包括连接到安瓿的入口管线和连接到安瓿的出口管线。所述入口管线具有入口阀门以控制进入安瓿内的载气的流量，以及所述出口管线具有出口阀门以控制引出安瓿的流量。旁通阀门允许载气绕过所述安瓿以及净化所述出口阀门，而无需使气体流入安瓿内。
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公开(公告)号：CN103688339A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201280035407.7
申请日：2012-07-20
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/205 , H01L21/02
CPC classification number: C23C16/4408 , C23C16/4481 , Y10T137/6416 , Y10T137/86911 , C23C16/448 , C23C16/455
Abstract: 本发明提供用于产生化学前驱物的装置和方法。所述装置包括连接到安瓿的入口管线和连接到安瓿的出口管线。所述入口管线具有入口阀门以控制进入安瓿内的载气的流量，以及所述出口管线具有出口阀门以控制引出安瓿的流量。旁通阀门允许载气绕过所述安瓿以及净化所述出口阀门，而无需使气体流入安瓿内。
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公开(公告)号：CN101960564B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN200980107476.2
申请日：2009-03-17
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C16/4481 , C23C16/45561
Abstract: 本发明的实施方式提供一种用于产生可用在气相沉积处理系统中的气态化学前驱物的装置和方法。在一个实施方式中，该装置含有阀歧管组件，该阀歧管组件包括具有至少一个嵌入式电加热器的阀组件主体，贯穿该阀组件主体的入口通道，第一气动阀和第一手动阀，该第一气动阀和第一手动阀耦合到阀组件主体并被设置成控制入口通道内的流体流动，贯穿阀组件主体的出口通道，和第二气动阀和第二手动阀，该第二气动阀和第二手动阀耦合到阀组件主体并被设置成控制在出口通道内的流体流动。阀歧管组件还含有连接至入口和出口通道并连接在其间的旁通通道，和含有被设置成控制旁通通道内流体流动的旁通阀。
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公开(公告)号：CN104335326A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201380029684.1
申请日：2013-06-05
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 戴维·K·卡尔森 , 埃罗尔·安东尼奥·C·桑切斯 , 肯里克·乔伊 , 玛塞勒·E·约瑟夫森 , 丹尼斯·德马斯 , 埃姆雷·库瓦利奇 , 穆罕默德·图格鲁利·萨姆特
IPC: H01L21/02
CPC classification number: F25B21/02 , C23C16/448 , C23C16/4482 , H01L21/02
Abstract: 在此提供用于热管理在基板处理中使用的前驱物的设备。在一些实施方式中，一种用于热管理在基板处理中使用的前驱物的设备可包括：主体，所述主体具有开口，所述开口依一定尺寸设计以接纳储存容器，所述储存容器内设置有液体或固体前驱物，所述主体由导热材料制造；一或多个热电装置，所述一或多个热电装置邻近所述开口而耦接至所述主体；以及散热体，所述散热体耦接至所述一或多个热电装置。
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公开(公告)号：CN117926220A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311838381.6
申请日：2017-03-28
Applicant: 应用材料公司
IPC: C23C16/448 , C23C16/44 , C23C16/18 , C23C16/455 , F16K31/12 , F16K31/60
Abstract: 描述一种用于向处理腔室供应气体的设备和方法。设备包括入口管线和出口管线，它们各自有两个阀，与安瓿流体连通。旁通管线连接最靠近安瓿的入口阀和出口阀。设备和使用方法允许从处理腔室的输送管线中去除前驱物残余物。
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公开(公告)号：CN117120663A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202280025633.0
申请日：2022-03-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 阿卜杜拉·扎法尔 , 威廉·约翰·杜兰德 , 种心原 , 肯里克·乔伊 , 胡蔚泽 , 陈劲文 , 阿米尔·巴亚提 , 米歇尔·桑佩德罗 , 菲利普·A·克劳斯 , 阿道夫·米勒·艾伦
IPC: C23C16/448
Abstract: 本文提供了用于处理基板的方法及设备。例如，被构造为与处理腔室一起使用的气体供应器包括安瓿及传感器组件，该安瓿储存前驱物并包括用于接收载气的输入端和用于向该处理腔室提供载气和前驱物的混合物的输出端，且该传感器组件包括检测器及红外源以及气体测量空间，该红外源可操作地连接至该混合物流经的壳体的外部，且该气体测量空间设置在该壳体内并沿着该壳体的内壁，使得该混合物中的该前驱物的浓度可以由该检测器测量并传送至控制器。
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公开(公告)号：CN104335326B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201380029684.1
申请日：2013-06-05
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 戴维·K·卡尔森 , 埃罗尔·安东尼奥·C·桑切斯 , 肯里克·乔伊 , 玛塞勒·E·约瑟夫森 , 丹尼斯·德马斯 , 埃姆雷·库瓦利奇 , 穆罕默德·图格鲁利·萨姆特
IPC: H01L21/02
CPC classification number: F25B21/02 , C23C16/448 , C23C16/4482
Abstract: 在此提供用于热管理在基板处理中使用的前驱物的设备。在一些实施方式中，一种用于热管理在基板处理中使用的前驱物的设备可包括：主体，所述主体具有开口，所述开口依一定尺寸设计以接纳储存容器，所述储存容器内设置有液体或固体前驱物，所述主体由导热材料制造；一或多个热电装置，所述一或多个热电装置邻近所述开口而耦接至所述主体；以及散热体，所述散热体耦接至所述一或多个热电装置。
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