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公开(公告)号：CN117120663A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202280025633.0
申请日：2022-03-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 阿卜杜拉·扎法尔 , 威廉·约翰·杜兰德 , 种心原 , 肯里克·乔伊 , 胡蔚泽 , 陈劲文 , 阿米尔·巴亚提 , 米歇尔·桑佩德罗 , 菲利普·A·克劳斯 , 阿道夫·米勒·艾伦
IPC: C23C16/448
Abstract: 本文提供了用于处理基板的方法及设备。例如，被构造为与处理腔室一起使用的气体供应器包括安瓿及传感器组件，该安瓿储存前驱物并包括用于接收载气的输入端和用于向该处理腔室提供载气和前驱物的混合物的输出端，且该传感器组件包括检测器及红外源以及气体测量空间，该红外源可操作地连接至该混合物流经的壳体的外部，且该气体测量空间设置在该壳体内并沿着该壳体的内壁，使得该混合物中的该前驱物的浓度可以由该检测器测量并传送至控制器。
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