公开(公告)号：CN117120663A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280025633.0

申请日：2022-03-09

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿卜杜拉·扎法尔 ,  威廉·约翰·杜兰德 ,  种心原 ,  肯里克·乔伊 ,  胡蔚泽 ,  陈劲文 ,  阿米尔·巴亚提 ,  米歇尔·桑佩德罗 ,  菲利普·A·克劳斯 ,  阿道夫·米勒·艾伦

IPC: C23C16/448

Abstract: 本文提供了用于处理基板的方法及设备。例如，被构造为与处理腔室一起使用的气体供应器包括安瓿及传感器组件，该安瓿储存前驱物并包括用于接收载气的输入端和用于向该处理腔室提供载气和前驱物的混合物的输出端，且该传感器组件包括检测器及红外源以及气体测量空间，该红外源可操作地连接至该混合物流经的壳体的外部，且该气体测量空间设置在该壳体内并沿着该壳体的内壁，使得该混合物中的该前驱物的浓度可以由该检测器测量并传送至控制器。

公开(公告)号：CN116895565A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310344089.2

申请日：2023-03-31

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 李世芳 ,  郝煜栋 ,  种心原 ,  王成清

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  G06N20/00

Abstract: 提供了用于制造系统中基于温度的计量校准的方法及系统。获得在制造系统中完成基板工艺的一个或多个部分之后与基板相关联的对应于一个或多个第一温度的第一计量数据。根据与基板相关联的校准数据确定在完成基板工艺之后与基板相关联的对应于第二温度的第二计量数据。所述第二温度不同于所述一个或多个第一温度中的每一个。根据第二计量数据确定满足与基板工艺相关联的修改标准，响应于上述确定而修改基板工艺配方。