公开(公告)号：CN113795608A

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN202080031477.X

申请日：2020-03-31

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 布赖恩·T·韦斯特 ,  米罗斯拉夫·盖洛 ,  严·罗赞松 ,  罗杰·M·约翰逊 ,  马克·科温顺 ,  桑德拉贾·吉姆布林甘姆 ,  西蒙·尼古拉斯·宾斯 ,  维韦克·维尼特

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/34 ,  H01L21/687

Abstract: 本文描述的实施方式提供了用于等离子体处理腔室的基座提升组件及其使用方法。基座提升组件具有压板，压板配置成耦合设置在等离子体处理腔室中的基座的轴。绝对线性编码器耦合到固定框架，其中绝对线性编码器配置成检测压板的增量移动。提升杆附接于压板上。移动组件耦合到固定框架并且可移动地耦合到提升杆，移动组件配置成使提升杆沿第一方向和第二方向移动，其中提升杆的移动导致压板相对于固定框架垂直行进。

公开(公告)号：CN113767463A

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN202080032435.8

申请日：2020-03-23

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 布赖恩·T·韦斯特 ,  桑德拉贾·吉姆布林甘姆 ,  丁克什·胡德利·索曼纳

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H05B1/02

Abstract: 在本文中描述的实施方式涉及基板支撑件和用于控制该基板支撑件的温度的技术。该基板支撑件包含：加热元件和设置在加热元件中的过温开关。该加热元件加热该基板支撑件和设置在该基板支撑件上的基板。该过温开关控制该加热元件和该基板支撑件的温度。该过温开关能够操作以响应于该基板支撑件的温度超过预定温度而切换状态。

公开(公告)号：CN107002222B

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN201580063578.4

申请日：2015-11-04

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 布赖恩·T·韦斯特 ,  诺吉·A·贾金德拉 ,  桑德拉贾·吉姆布林甘姆

IPC: C23C14/22 ,  C23C16/455 ,  C23C16/46 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H02N13/00

Abstract: 提供本公开内容的实施方式，包含一种静电吸盘组件、一种处理腔室和一种保持基板温度的方法。在一个实施方式中，提供有静电吸盘组件，静电吸盘组件包含静电吸盘、冷却板和气体箱。冷却板包含形成于冷却板中的气体通道。气体箱可操作以控制通过气体通道的冷却气体的流量。

公开(公告)号：CN113795608B

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202080031477.X

申请日：2020-03-31

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 布赖恩·T·韦斯特 ,  米罗斯拉夫·盖洛 ,  严·罗赞松 ,  罗杰·M·约翰逊 ,  马克·科温顺 ,  桑德拉贾·吉姆布林甘姆 ,  西蒙·尼古拉斯·宾斯 ,  维韦克·维尼特

IPC: C23C14/50 ,  C23C14/34 ,  H01L21/687

Abstract: 本文描述的实施方式提供了用于等离子体处理腔室的基座提升组件及其使用方法。基座提升组件具有压板，压板配置成耦合设置在等离子体处理腔室中的基座的轴。绝对线性编码器耦合到固定框架，其中绝对线性编码器配置成检测压板的增量移动。提升杆附接于压板上。移动组件耦合到固定框架并且可移动地耦合到提升杆，移动组件配置成使提升杆沿第一方向和第二方向移动，其中提升杆的移动导致压板相对于固定框架垂直行进。

公开(公告)号：CN116802338A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202180088967.8

申请日：2021-01-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 乌代·派 ,  薛原 ,  阿比吉特·拉克斯曼·桑格尔 ,  维杰·班·夏尔马 ,  苏雷什·钱德·赛斯 ,  巴拉特瓦·罗摩克里希南 ,  桑德拉贾·吉姆布林甘姆 ,  纳文·查纳拉亚帕特娜·普坦纳 ,  安库尔·凯达姆 ,  杨毅

IPC: C23C14/34

Abstract: 于此提供了用于使用改进的屏蔽件配置处理基板的方法及设备。例如，一种用于在物理气相沉积腔室中使用的处理配件包括：屏蔽件，包含具有最内径的内壁，内壁被配置成当设置在物理气相沉积腔室中时围绕靶材，其中屏蔽件的表面面积与内径的平面面积的比率为约3至约10。

公开(公告)号：CN107002222A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580063578.4

申请日：2015-11-04

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 布赖恩·T·韦斯特 ,  诺吉·A·贾金德拉 ,  桑德拉贾·吉姆布林甘姆

IPC: C23C14/22 ,  C23C16/455 ,  C23C16/46 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H02N13/00

CPC classification number: C23C16/46 ,  C23C14/50 ,  C23C16/4586 ,  H01J37/32697 ,  H01J37/32715 ,  H01J37/32724 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6831 ,  C23C14/22 ,  C23C16/455 ,  H02N13/00

Abstract: 提供本公开内容的实施方式，包含一种静电吸盘组件、一种处理腔室和一种保持基板温度的方法。在一个实施方式中，提供有静电吸盘组件，静电吸盘组件包含静电吸盘、冷却板和气体箱。冷却板包含形成于冷却板中的气体通道。气体箱可操作以控制通过气体通道的冷却气体的流量。