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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106062921A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201580008206.1
申请日：2015-02-16
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 西蒙·尼古拉斯·宾斯 , 布赖恩·T·韦斯特 , 罗纳德·维恩·肖尔 , 罗杰·M·约翰逊 , 迈克尔·S·考克斯
IPC: H01L21/02 , H01L21/203
CPC classification number: H01J37/3476 , H01J37/32935 , H01J37/3405 , H01J37/3414 , H01J37/3479
Abstract: 处理腔室包括腔室主体、一或多个监控装置，及一或多个天线，腔室主体具有设置于腔室主体上的腔室盖组件，一或多个监控装置与腔室盖组件耦接，一或多个天线邻近于与一或多个监控装置通信的腔室盖组件设置。
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公开(公告)号：CN106062921B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201580008206.1
申请日：2015-02-16
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 西蒙·尼古拉斯·宾斯 , 布赖恩·T·韦斯特 , 罗纳德·维恩·肖尔 , 罗杰·M·约翰逊 , 迈克尔·S·考克斯
IPC: H01L21/02 , H01L21/203
Abstract: 处理腔室包括腔室主体、一或多个监控装置，及一或多个天线，腔室主体具有设置于腔室主体上的腔室盖组件，一或多个监控装置与腔室盖组件耦接，一或多个天线邻近于与一或多个监控装置通信的腔室盖组件设置。
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公开(公告)号：CN113795608A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202080031477.X
申请日：2020-03-31
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 布赖恩·T·韦斯特 , 米罗斯拉夫·盖洛 , 严·罗赞松 , 罗杰·M·约翰逊 , 马克·科温顺 , 桑德拉贾·吉姆布林甘姆 , 西蒙·尼古拉斯·宾斯 , 维韦克·维尼特
IPC: C23C14/50 , C23C14/34 , H01L21/687
Abstract: 本文描述的实施方式提供了用于等离子体处理腔室的基座提升组件及其使用方法。基座提升组件具有压板，压板配置成耦合设置在等离子体处理腔室中的基座的轴。绝对线性编码器耦合到固定框架，其中绝对线性编码器配置成检测压板的增量移动。提升杆附接于压板上。移动组件耦合到固定框架并且可移动地耦合到提升杆，移动组件配置成使提升杆沿第一方向和第二方向移动，其中提升杆的移动导致压板相对于固定框架垂直行进。
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公开(公告)号：CN113795608B
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202080031477.X
申请日：2020-03-31
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 布赖恩·T·韦斯特 , 米罗斯拉夫·盖洛 , 严·罗赞松 , 罗杰·M·约翰逊 , 马克·科温顺 , 桑德拉贾·吉姆布林甘姆 , 西蒙·尼古拉斯·宾斯 , 维韦克·维尼特
IPC: C23C14/50 , C23C14/34 , H01L21/687
Abstract: 本文描述的实施方式提供了用于等离子体处理腔室的基座提升组件及其使用方法。基座提升组件具有压板，压板配置成耦合设置在等离子体处理腔室中的基座的轴。绝对线性编码器耦合到固定框架，其中绝对线性编码器配置成检测压板的增量移动。提升杆附接于压板上。移动组件耦合到固定框架并且可移动地耦合到提升杆，移动组件配置成使提升杆沿第一方向和第二方向移动，其中提升杆的移动导致压板相对于固定框架垂直行进。
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